半導(dǎo)體晶圓制造潔凈廠房的微振控制方案-江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有限公司

微振控制在現(xiàn)行國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50472中有關(guān)微振控制的規(guī)定主要有：潔凈廠房的微振控制設(shè)施的設(shè)計分階段進行，應(yīng)包括設(shè)計、施工和投產(chǎn)等各階段的微振測試、廠房建筑結(jié)構(gòu)微振控制設(shè)計、動力設(shè)備隔振設(shè)計和精密儀器隔振設(shè)計等。

一 對有微振控制要求的潔凈廠房設(shè)計時應(yīng)考慮:

1 在結(jié)構(gòu)選型、隔振縫設(shè)置、壁板與地面及頂棚連接處，應(yīng)按微振控制要求設(shè)計。

2 潔凈室與周圍輔助性站房內(nèi)有強烈振動的設(shè)備及其連接管道，應(yīng)采取主動隔振措施。

3應(yīng)確定潔凈廠房內(nèi)外各類振源對潔凈廠房精密設(shè)備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響，以決定是否采取被動隔振措施。

二 精密設(shè)備、精密儀器儀表的容許振動值，應(yīng)由生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門提供。當(dāng)生產(chǎn)工藝和設(shè)備制造部門難以提供容許振動值時，可參照《隔振設(shè)計規(guī)范》GBJ 22執(zhí)行。

三 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動隔振設(shè)計應(yīng)具備下列條件:

1 周圍振源對其綜合影響的振動數(shù)據(jù)。

2 設(shè)備、儀器儀表的型號、規(guī)格及輪廓尺寸圖。

3 設(shè)備、儀器儀表的質(zhì)量、質(zhì)心位置及質(zhì)量慣性矩。

4 設(shè)備、儀器儀表的底座外輪廓圖、附屬裝置、管道位置及坑、溝、孔洞尺寸、地腳螺栓及預(yù)埋件位置等。

5設(shè)備、儀器儀表的調(diào)平要求。

6 設(shè)備、儀器儀表的容許振動值。

7 所選用或設(shè)計的隔振器或隔振裝置的技術(shù)參數(shù)、外形尺寸及安裝條件。

四 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動隔振設(shè)計應(yīng)考慮:

1 隔振臺座的剛度。

2 設(shè)備、儀器儀表運行時，由于質(zhì)量及質(zhì)心位置的變化引起隔振臺座傾斜的校正措施。

3 隔振系統(tǒng)各向阻尼比不應(yīng)小于0.15。

4 隔振措施不應(yīng)影響潔凈室內(nèi)的氣流流型。

五 精密設(shè)備、精密儀器儀表的被動隔振措施宜采用能自動校正傾斜的空氣彈簧隔振裝置。對供應(yīng)空氣彈簧用的氣源應(yīng)進行凈化處理。