南大光電全力推進ArF光刻膠

7月17日，南大光電在互動平臺透露，公司設立光刻膠事業(yè)部，并成立了全資子公司“寧波南大光電材料有限公司”，全力推進“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目”落地實施。目前該項目完成的研發(fā)技術正在等待驗收中，預計2019年底建成一條光刻膠生產(chǎn)線，項目產(chǎn)業(yè)化基地建設順利。

南大光電是一家專業(yè)從事高純電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術企業(yè)，公司于2012年8月7日在深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板掛牌上市。

憑借30多年來的技術積累優(yōu)勢，公司先后攻克了國家863計劃MO源全系列產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化、國家“02—專項”高純電子氣體（砷烷、磷烷）研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化、ALD/CVD前驅體產(chǎn)業(yè)化等多個困擾我國數(shù)十年的項目，填補了多項國內空白。2017年，南大光電承擔了集成電路芯片制造用關鍵核心材料之一的193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目。

通過承擔國家重大技術攻關項目并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，南大光電形成了MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅體材料和光刻膠四大業(yè)務板塊。

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