對于打算利用壓電平臺進行高精度調(diào)節(jié)的一些用戶，在了解到壓電平臺的納米級高精度時，第一時間是一種“求之心切”的心態(tài)，想立刻將它集成到自己的系統(tǒng)里，然而在得知壓電平臺的微米級運動范圍時又“望而卻步”。

針對這種想用而又卻步的使用者，專門設(shè)計了壓電宏微復(fù)合平臺，這種平臺既得到了壓電平臺的納米級高精度，又擁有了幾十毫米甚至米級的運動范圍！ ?

注：分辨率的數(shù)值越低，分辨率越高。 ? ? ? ?

壓電宏微復(fù)合平臺組成介紹

壓電宏微復(fù)合平臺是將壓電平臺與手調(diào)或其他電動平移臺相結(jié)合，且該結(jié)合不會損失壓電平臺的高分辨率。利用手調(diào)平移臺的壓電宏微復(fù)合平臺，一般手調(diào)行程為13mm，且它的分辨率達10μm，在壓電平臺精調(diào)行程范圍內(nèi)。在手動進行粗調(diào)后，再利用壓電平臺進行納米級的精調(diào)。 ?

如上圖所示，壓電宏微復(fù)合平臺由壓電平臺、千分尺（或其他電動調(diào)節(jié)臺）及移動臺面組成，看似簡單的結(jié)構(gòu)，然而在設(shè)計、生產(chǎn)制造及裝配時卻有著非常高的難度。壓電平臺必須與千分尺及移動臺面完美的結(jié)合，任何一處細節(jié)，都要考慮周全，即使只是一處的螺絲。 壓電宏微復(fù)合平臺的運動自由度在1至3維間自由選擇，組合式結(jié)構(gòu)使其在三維運動時軸間無耦合。 芯明天具有兩種標(biāo)準(zhǔn)壓電宏微復(fù)合平臺，分別為P83、P84系列，兩者粗調(diào)行程相同，都為13mm，精調(diào)行程分別為25μm和100μm，下圖為芯明天P83系列，P84系列與P83系列外形近似。 ?

參數(shù)、尺寸、外形皆可定制

芯明天標(biāo)準(zhǔn)品壓電宏微復(fù)合平臺中粗調(diào)行程標(biāo)準(zhǔn)為13mm，壓電精調(diào)行程為25μm或100μm可選。而對于壓電宏微復(fù)合平臺的參數(shù)等“別有他求”時，是可通過定制來得到的，例如宏動粗調(diào)平臺的尺寸、外形、參數(shù)，以及壓電平臺的尺寸、外形、參數(shù)等，皆可定制。 下圖中為定制型壓電宏微復(fù)合平臺，采用壓電平臺與電機平臺相結(jié)合，未使用千分尺。它是XY二維運動，每軸的粗調(diào)行程達50mm/軸以上，精調(diào)行程68μm/軸。 ?

下圖是又一款定制型壓電宏微復(fù)合平臺，它是采用Z向運動壓電平臺與XY手調(diào)平臺相結(jié)合，Z向壓電行程達260μm以上，并且中心具有通孔。在完成XY手動調(diào)節(jié)位置后，可進行Z向的高精度位置調(diào)節(jié)，非常適用于顯微成像等場景。 ?

壓電千分尺

而壓電千分尺是沒有移動臺面的壓電宏微復(fù)合平臺，對于一些用戶，已經(jīng)有自己的移動臺面，只需壓電千分尺這種宏微致動的促動器，對于這種需求，就可以直接選擇芯明天的壓電千分尺，并且可定制設(shè)計接口。? ?

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