在半導(dǎo)體行業(yè)，隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和芯片尺寸的縮小，對生產(chǎn)環(huán)境的純度和清潔度要求日益嚴(yán)苛。半導(dǎo)體制造過程涉及多個關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)，包括但不限于光刻、蝕刻、沉積、離子注入和化學(xué)機械研磨等。這些環(huán)節(jié)對環(huán)境中的微粒、化學(xué)污染物和金屬雜質(zhì)的控制極為重要，因為這些污染物的存在會嚴(yán)重影響芯片的性能和生產(chǎn)良率。
為了確保生產(chǎn)環(huán)境的高純度，半導(dǎo)體工廠必須采用先進(jìn)的過濾系統(tǒng)，以有效去除生產(chǎn)過程中涉及的液體和氣體介質(zhì)中的顆粒物、化學(xué)蒸氣和氣體雜質(zhì)。這些過濾系統(tǒng)必須能夠承受極端的化學(xué)反應(yīng)條件和高溫環(huán)境，因為半導(dǎo)體制造工藝常常在這些苛刻條件下進(jìn)行。因此，過濾材料必須具備卓越的耐化學(xué)性和耐高溫性，以確保在這些極端條件下也能提供持續(xù)穩(wěn)定的過濾性能。
Dexmet延展過濾支撐網(wǎng)是專為半導(dǎo)體微電子行業(yè)等苛刻環(huán)境設(shè)計的高性能過濾解決方案。采用精密制造技術(shù)，精確控制濾網(wǎng)的厚度、孔徑和圖案，滿足高精度過濾需求。主要材料為耐化學(xué)和耐高溫的PFA和PTFE，確保在極端條件下提供持續(xù)穩(wěn)定的過濾性能。Dexmet支持高度定制化，以優(yōu)化超細(xì)膜層結(jié)構(gòu)，防止變形，保持過濾效率。定制化能力使其成為滿足特定應(yīng)用需求的理想選擇。
與此同時，Dexmet延展過濾支撐網(wǎng)作為增強過濾膜支撐材料，在終端過濾折疊式或螺旋纏繞濾芯中作為分離層/進(jìn)料層/排水層，發(fā)揮關(guān)鍵作用。
Dexmet延展過濾支撐網(wǎng)的特點
● 強化微粒過濾與污染控制：通過精密的網(wǎng)眼結(jié)構(gòu)，有效攔截微粒和污染物，從而減少晶片污染并提升半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和良率。
● 均勻的化學(xué)品分布與流動一致性：確保在半導(dǎo)體制造過程中化學(xué)品和氣體的均勻分布和穩(wěn)定流動，對于材料的均勻沉積和蝕刻過程至關(guān)重要。
● 動態(tài)流動條件下的穩(wěn)定性和耐用性：在波動或高流速條件下保持結(jié)構(gòu)完整性和穩(wěn)定性，減少介質(zhì)塌陷或移位的風(fēng)險，同時提高過濾器的使用壽命，降低維護(hù)和更換頻率，從而降低運營成本。
● 化學(xué)和氣體過濾中的有效分離：提供高效、穩(wěn)定的過濾性能，確保在化學(xué)氣相沉積（CVD）和蝕刻等關(guān)鍵工藝中實現(xiàn)有效分離，降低污染風(fēng)險。
● 清理與維護(hù)的便捷性：一體成型的延展網(wǎng)結(jié)構(gòu)消除了交叉點，簡化了清理過程，允許直接用水清洗或擦除，提高生產(chǎn)效率并減少停機時間。
● 高過濾效率與空間利用率：Dexmet延展網(wǎng)的過濾面積高達(dá)70%，而編織網(wǎng)僅有30-50%。更大的接觸過濾面積，顯著提高了過濾效率和空間利用率，從而加快了過濾速度。
● 產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和可擴展性：從試驗到大規(guī)模生產(chǎn)，Dexmet延展網(wǎng)提供一致的效果和效率，確保了產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性和生產(chǎn)過程的可擴展性。另外，作為能夠生產(chǎn)PFA和PTFE延展網(wǎng)的少數(shù)制造商之一，Dexmet的產(chǎn)品已被全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體公司廣泛認(rèn)可和信賴。
總的來說，Dexmet延展過濾支撐網(wǎng)憑借其卓越的耐化學(xué)性和耐高溫性，精密定制的能力以及在各種動態(tài)條件下的穩(wěn)定性，已成為半導(dǎo)體微電子行業(yè)中不可或缺的高性能過濾解決方案。它不僅強化了微粒過濾和污染控制，還確保了化學(xué)品分布的均勻性和流動的一致性，有效提高了半導(dǎo)體制造過程中的工藝控制精度。
在動態(tài)流動條件下，Dexmet延展網(wǎng)展現(xiàn)了出色的穩(wěn)定性和結(jié)構(gòu)完整性，為過濾器提供了可靠的支持，避免了介質(zhì)塌陷或移位。此外，在化學(xué)和氣體過濾中展現(xiàn)出的有效分離能力，進(jìn)一步降低了污染風(fēng)險，保證了半導(dǎo)體設(shè)備的高純度，為半導(dǎo)體行業(yè)提供了一種長期、穩(wěn)定和經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。
