介紹
MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）加速度計是使用MEMS技術(shù)制造的加速度計。由于使用了微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)，其尺寸大大減小，MEMS加速度計的尺寸只有指甲的一小部分。MEMS加速度計具有體積小、重量輕、能耗低等優(yōu)點。
ER-MA-6是一種慣性傳感器，可以測量重力引起的線性加速度。本產(chǎn)品是一款大范圍、超高精度、高可靠性、低功耗的MEMS加速度計。
特點
大量程、超高精度、高可靠性、低功耗
二階非線性：<10μg/g2
零偏穩(wěn)定性（1s平滑）（1σ）：<15ug
零偏穩(wěn)定性（10s平滑）：<5ug
零偏不穩(wěn)定性（艾倫方差）：<2ug
應(yīng)用
慣性測量：慣性制導(dǎo)、過載測量、組合導(dǎo)航
傾斜測量：天線姿態(tài)、平臺測量、傾斜角度測試
振動測量：機(jī)械設(shè)備、橋梁和水壩、安全測試
規(guī)格
參數(shù) | 加速度計 | 單位 |
產(chǎn)品型號 | ER-MA-6 | |
封裝 | CLCC48 | |
軸向 | Y | |
量程 | 60 | g |
標(biāo)度非線性 | <500ppm | Ppm(全尺寸的IEEE規(guī)范) |
帶寬(可調(diào))3db | >150 | Hz |
群組延遲 | <3 | ms |
二階非線性系數(shù) | <10 | μg/g2 |
噪聲 | <30 | μg/√Hz @1hz |
閾值 | <30 | μg |
出廠零偏（室溫） | <±1 | mg(室溫標(biāo)定值) |
出廠零偏溫度漂移 | <±0.5 | mg |
出廠零偏溫度滯后 | <0.2 | mg |
補(bǔ)償后的偏差 | <±0.15 | mg |
零偏穩(wěn)定性 (1s 平滑) (1σ) | <15 | ug |
零偏穩(wěn)定性 (10s 平滑) | <5 | ug |
零偏不穩(wěn)定性 (艾倫方差) | <2 | ug |
月重復(fù)性 | <±0.03 | mg |
重復(fù)性1σ | <10 | ug |
標(biāo)度因數(shù) | 20000000 | lsb/g(室溫標(biāo)定值) |
標(biāo)度因數(shù)月重復(fù)性 | <±20 | ppm |
溫度系數(shù) | <40 | ppm/°C |
補(bǔ)償后的比例系數(shù) | <100 | ppm |
啟動時間 | <500 | ms |
采樣頻率(可調(diào)) | >10K | Hz |
沖擊(帶電) | 300 | g |
沖擊(不帶電) | 300 | g |
震動 | 18 | g |
工作溫度 | -40~+85 | °C |
電源電壓 | 5±0.25 | V |
電流 | <30 | ma |
通信接口 | SPI |
