中圖儀器3D材料共聚焦測量顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。
產(chǎn)品功能
1)3D測量功能：設(shè)備具備表征微觀3D形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；
2)影像測量功能：設(shè)備具備二維平面輪廓尺寸的影像測量功能，可進行長度、角度、半徑等尺寸測量；
3)自動拼接功能：設(shè)備具備自動拼接功能，能夠?qū)崿F(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；
4)數(shù)據(jù)處理功能：設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
5)分析工具功能：設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6)批量分析功能：設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；
7)便捷操作功能：設(shè)備配備操縱桿，支持操縱桿進行所有位置軸的操作及速度調(diào)節(jié)、光源亮度調(diào)節(jié)、急停等；
8)光源安全功能：光源設(shè)置無人值守下的自動熄燈功能，當(dāng)檢測到鼠標(biāo)軌跡長時間未變動后會自主降低熄滅光源，防止光源高亮過熱損壞，并有效延長光源使用壽命；
9)鏡頭安全功能：設(shè)備配備壓力傳感器，并在鏡頭處進行了彈簧結(jié)構(gòu)設(shè)計，確保當(dāng)鏡頭碰撞后彈性回縮，進入急停狀態(tài)，大幅減小碰撞沖擊力，有效保護鏡頭和掃描軸，消除人為操作的安全風(fēng)險。
不同應(yīng)用場景下的3D形貌
中圖儀器3D材料共聚焦測量顯微鏡主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。
3D形貌圖片：
影像測量功能界面
中圖儀器3D材料共聚焦測量顯微鏡基于共聚焦技術(shù)，結(jié)合精密Z向掃描與智能3D建模算法，可實現(xiàn)對納米至微米級表面形貌的高精度測量，覆蓋光滑、粗糙、低反射至高反射等多樣化材料表面。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、3C電子、汽車零部件、航空航天、MEMS器件等超精密加工領(lǐng)域，助力企業(yè)提升質(zhì)量控制效率與產(chǎn)品研發(fā)能力。
核心優(yōu)勢
1、納米級測量精度
高度重復(fù)性≤12nm，精度達(dá)(0.2+L/100)μm，滿足ISO/ASME/EUR/GBT四大標(biāo)準(zhǔn)下的300+參數(shù)分析需求。
顯示分辨率低至0.1nm，精準(zhǔn)捕捉微觀缺陷與形貌特征。
2、多功能一體化設(shè)計
3D形貌測量：全自動建模，支持粗糙度、曲率、平整度等關(guān)鍵參數(shù)提取。
2D影像測量：一鍵完成長度、角度、半徑等平面尺寸分析。
智能拼接技術(shù)：大視場掃描（最大300×300mm），無縫拼接復(fù)雜表面數(shù)據(jù)。
3、非接觸式安全檢測
零接觸掃描技術(shù)，避免樣品損傷，適用于脆性材料（如晶圓、光學(xué)膜材）及高反光表面。
鏡頭碰撞彈性回縮+光源自動熄燈保護，雙重安全機制延長設(shè)備壽命。
4、靈活配置，高效適配
可選5×至100×多規(guī)格物鏡（APO級消色差鏡頭），適應(yīng)不同倍率需求。
模塊化位移平臺（負(fù)載10kg，行程100×100mm至300×300mm），支持多樣化工件檢測。
5、全流程服務(wù)保障
60天快速交付：合同生效后60天內(nèi)完成生產(chǎn)與物流。
免費安裝培訓(xùn)：現(xiàn)場調(diào)試+操作培訓(xùn)，確?？蛻舄毩⑹褂?。
12個月質(zhì)保+72小時故障響應(yīng)，終身技術(shù)支持。
應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造：晶圓表面缺陷檢測、V型槽深度測量、激光孔形貌分析。
3C電子：手機玻璃屏平整度、微透鏡陣列曲率、PCB基材粗糙度檢測。
汽車工業(yè)：精密零部件幾何輪廓、金剛石鉆頭磨損評估。
科研與新材料：超光滑表面粗糙度、微納結(jié)構(gòu)體積計算、太陽能柵線形貌建模。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號 | VT6100 | |
行程范圍 | X | 100mm |
| Y | 100mm | |
| Z | 100mm | |
| 外形尺寸 | 520*380*600mm | |
| 儀器重量 | 50kg | |
| 測量原理 | 共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | |
| 顯微物鏡 | 10×;20×;50×;100× | |
| 視場范圍 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | |
| 高度測量 | ||
| 寬度測量 | ||
| XY位移平臺 | 負(fù)載 | 10kg |
| 控制方式 | 電動 | |
| Z0軸掃描范圍 | 10mm | |
| 物鏡塔臺 | 5孔電動 | |
| 光源 | 白光LED | |
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