SuperViewW1非接觸式輪廓儀是一款可以進(jìn)行微納米級別精度測量的三維形貌一鍵式測量儀，主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外，具有測量晶圓翹曲度的功能，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測。
它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
部分技術(shù)參數(shù)
Z向分辨率：0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復(fù)性：0.1nm
表面形貌重復(fù)性：0.1nm
臺階測量:重復(fù)性：0.1% 1σ；準(zhǔn)確度：0.75%
產(chǎn)品功能
1）系統(tǒng)光源及壽命：雙LED光源（白光和綠光），10萬小時超長壽命，終身無需更換；
2）測量模式：垂直掃描干涉模式（VSI），相移干涉模式（PSI），結(jié)合VSI和PSI的自適應(yīng)通用測量模式（USI）
3）多區(qū)域自動分析：自動獲取圖案化形貌區(qū)域的三維信息（高度、寬度、面積、體積、粗糙度、傾角等），同時具有自動統(tǒng)計分析功能。提供軟件截圖；
4）具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能；
5）具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能，粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別；
6）具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能；
7）具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能；
8）具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能；
9）具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能；
10）具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能。
SuperViewW1非接觸式輪廓儀采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實(shí)時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。還支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致，可達(dá)0.1um。
SuperViewW1非接觸式輪廓儀可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
