--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
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--- 產(chǎn)品詳情 ---
共焦顯微成像技術(shù)具有很強的縱向深度的分辨能力,而且由于探測器前有針孔掩模,大大減小了不想要的閃爍和散射光所形成的噪聲。在相同物鏡放大的條件下,共焦顯微鏡比傳統(tǒng)光學顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細,橫向分辨率更高。
VT6000系列激光共聚焦掃描顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎(chǔ),結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),儀器測量精度高,能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。能對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

產(chǎn)品特點
自設(shè)計之初,VT6000系列激光共聚焦掃描顯微鏡便定下了“簡單好用"四字方針的目標。
1)結(jié)構(gòu)簡單:儀器整體由一臺輕量化的設(shè)備主機和電腦構(gòu)成,控制單元集成在設(shè)備主機之內(nèi),亦可采用筆記本電腦驅(qū)動,真正實現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設(shè)計;
2)真彩圖像:配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn);

3)操作便捷:采用全電動化設(shè)計,并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計風格,實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果;
4)安全無憂:采用自研的電動鼻輪塔臺,并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進行了優(yōu)化,確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應(yīng)對。
產(chǎn)品功能
1) 激光共聚焦掃描顯微鏡設(shè)備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能;
2)一體化操作的測量與分析軟件,操作無須進行切換界面,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量,軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,即可快速實現(xiàn)批量測量功能。
3)提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能。其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。
4) 提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。
5) 提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設(shè)置分析模板,結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能。
技術(shù)指標
型號:VT6100
行程范圍:100*100*100mm
視場范圍:120×120 μm~1.2×1.2 mm
高度測量重復(fù)性(1σ):12nm
高度測量精度:± (0.2+L/100) μm
高度測量分辨率:0.5nm
寬度測量重復(fù)性(1σ):40nm
寬度測量精度:± 2%
寬度測量分辨率:1nm
外形尺寸:520×380×600mm
儀器重量:50kg
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