在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中，激光共聚焦顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行微納米級測量的光學(xué)檢測儀器。中圖儀器VT6000系列激光共聚焦顯微鏡作為微觀3D測量儀器，能夠?qū)μ柲茈姵仄⒂^結(jié)構(gòu)進(jìn)行三維形貌重建。具有測量精度高、全自動化、快速測量、處理數(shù)據(jù)便捷等優(yōu)點。
基于共聚焦顯微測量技術(shù)，VT6000激光共聚焦顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。
產(chǎn)品功能
1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；
2)設(shè)備具備自動拼接功能，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；
3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能；
4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；
5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；
6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；
應(yīng)用領(lǐng)域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
VT6000激光共聚焦顯微鏡可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。
在太陽能光伏行業(yè)的應(yīng)用
對柵線進(jìn)行快速檢測，軟件具備對視場內(nèi)的柵線自動測量功能，能夠?qū)呙璜@取的三維輪廓進(jìn)行多剖面分析，計算出每個剖面的柵線高度及寬度尺寸。
共聚焦顯微鏡具有納米級別的縱向分辨能力，能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建，并由專用分析模塊自動獲取絨面上每個金字塔的體積，比表面積等信息，計算出單位面積金字塔數(shù)量和不同尺寸金字塔的比例。
共聚焦顯微鏡是一款可以為太陽能行業(yè)實驗室和生產(chǎn)過程檢測需求服務(wù)的高性能檢測設(shè)備，提供從二維到三維的多尺度檢測手段，將會在太陽能電池加工過程中發(fā)揮越來越重要的作用。
