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      電子發(fā)燒友網>電子資料下載>電子論文>半導體技術論文>太陽能級多晶硅中痕量金屬雜質含量的ICP-MS測定

      太陽能級多晶硅中痕量金屬雜質含量的ICP-MS測定

      2012-02-13 | pdf | 446 KB | 次下載 | 1積分

      資料介紹

      考察測量過程中的質譜干擾及基體元素產生的基體效應,討論了可能的消除方法,考察了內標元素Sc,Y,Rh等對基體抑制效應的補償。采用Sc和Rh做內標元素補償基體效應和靈敏度漂移,在測定中取得良好的效果。
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