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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子元器件應(yīng)用>多晶硅制備詳細(xì)流程及圖解

      多晶硅制備詳細(xì)流程及圖解

      2011-01-10 | rar | 270 | 次下載 | 10積分

      資料介紹

      一
      、高純多晶硅
      1．概述
      硅是地球上含量最豐富的元素之～ ，約占地殼質(zhì)量的
      25．8％ ，僅次于氧元素，居第二位。硅在地球上不存在單質(zhì)狀
      態(tài)，基本上以氧化態(tài)存在于硅酸鹽或二氧化硅中，其表現(xiàn)形態(tài)
      為各種各樣的巖石，如花崗巖、石英巖等。
      硅是一種半導(dǎo)體元素，元素符號為Sj，位于元素周期表
      的第三周期第四主族，原子序數(shù)為1 4，原子量為28．0 855。
      硅材料的原子密度為5．OOx1022／cm。，熔點(diǎn)為1 41 5~C，沸
      點(diǎn)為2 355~(2。它在常溫(300K)下是具有灰色金屬光澤
      的固體，屬脆性材料。硅材料有多種形態(tài)，按晶體結(jié)構(gòu)，可
      分為單晶硅、多晶硅和非晶硅

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