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      半導(dǎo)體集成電路可靠性測(cè)試及數(shù)據(jù)處理

      2012-04-23 | rar | 2.41 MB | 次下載 | 10積分

      資料介紹

      半導(dǎo)體集成電路的晶圓級(jí)可靠性的主要測(cè)試項(xiàng)目包括MOS器件的熱載流子注入測(cè)試、柵氧化層完整性測(cè)試以及余屬互連線的電遷移測(cè)試。有效的測(cè)試與可靠的數(shù)據(jù)分析是可靠性測(cè)試成功的關(guān)鍵。
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