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標(biāo)簽 > 光刻技術(shù)
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,光刻技術(shù)傳遞圖形的尺寸限度縮小了2~3個數(shù)量級(從毫米級到亞微米級),已從常規(guī)光學(xué)技術(shù)發(fā)展到應(yīng)用電子束、 X射線、微離子束、激光等新技術(shù);使用波長已從4000埃擴(kuò)展到 0.1埃數(shù)量級范圍。光刻技術(shù)成為一種精密的微細(xì)加工技術(shù)。
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EUV光刻技術(shù)助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展
EUV光刻技術(shù)為半導(dǎo)體制造商提供一個前所未有的速度開發(fā)最強大芯片的機(jī)會。
芯片制造四大基本工藝包括:芯片設(shè)計、FPGA驗證、晶圓光刻顯影、蝕刻、芯片封裝等,晶片制作過程最為復(fù)雜,需經(jīng)過濕洗、光刻、 離子注入、干蝕刻、等離子沖洗...
中芯國際已根據(jù)香港上市規(guī)則披露了與ASML的批量購買協(xié)議
對此,ASML發(fā)布公告澄清。公告提到,中芯國際已根據(jù)香港上市規(guī)則披露了與ASML的批量購買協(xié)議(VPA)。這與DUV光刻技術(shù)的現(xiàn)有協(xié)議相關(guān),該協(xié)議已于2...
可能很多網(wǎng)友看到這里有點蒙圈,這繞來繞去的到底是玩的什么文字游戲。這里先進(jìn)行一個小科普,EUV和DUV到底有啥區(qū)別呢?EUV也就是“極深紫外線”的意思,...
正式獲得美國設(shè)備廠商的供應(yīng)許可后,中芯國際的運營前景將進(jìn)一步明朗
去年中芯國際被美國列入了實體清單,購買美國廠商的半導(dǎo)體設(shè)備及技術(shù)受到限制。今天業(yè)界消息稱中芯國際已經(jīng)獲得了美國的許可,14nm及28nm等工藝可以恢復(fù)供應(yīng)。
中芯國際7nm、5nm工藝任重道遠(yuǎn) 獲得美國供應(yīng)許可
去年中芯國際被美國列入了實體清單,購買美國廠商的半導(dǎo)體設(shè)備及技術(shù)受到限制。今天業(yè)界消息稱中芯國際已經(jīng)獲得了美國的許可,14nm及28nm等工藝可以恢復(fù)供應(yīng)。
盡管該裝置相當(dāng)粗略,但是當(dāng)Jack Kilby按下開關(guān),示波器顯示屏上卻赫然出現(xiàn)了不間斷的正弦波形。試驗證明他的發(fā)明成功了,他徹底解決了此前一直懸而未決...
COVID將對光掩模市場產(chǎn)生什么業(yè)務(wù)影響?
總體上,三分之二的調(diào)查參與者認(rèn)為這將產(chǎn)生積極的影響。前往EUV時,口罩的數(shù)量減少了。這是因為EUV將整個行業(yè)帶回單一模式。具有多個圖案的193nm浸入需...
光刻技術(shù)的進(jìn)步使得器件的特征尺寸不斷減小,芯片的集成度和性能不斷提高。在摩爾定律的引領(lǐng)下,光學(xué)光刻技術(shù)經(jīng)歷了接觸/接近、等倍投影、縮小步進(jìn)投影、步進(jìn)掃描...
2020-12-14 標(biāo)簽:集成電路控制系統(tǒng)光刻技術(shù) 8294 0
韓國公司正在迅速縮小其在極紫外光刻技術(shù)上與外國公司的差距
特別是,韓國公司正在迅速縮小其在極紫外光刻技術(shù)上與外國公司的差距。2019年,韓國本土提出的專利申請數(shù)量為40件,超過了國外企業(yè)的10件。這是韓國提交的...
光刻技術(shù)是迄今所能達(dá)到的最高精度的加工技術(shù)
降低曝光光源的波長是光刻技術(shù)和設(shè)備的一個重要發(fā)展趨勢。半個世紀(jì)以來隨著光刻技術(shù)的發(fā)展,特征尺寸隨之減小。在196O年代,半導(dǎo)體芯片制造商主要使用可見光作為光源。
集成電路的飛速發(fā)展有賴于相關(guān)的制造工藝光刻技術(shù)的發(fā)展,光刻技術(shù)是迄今所能達(dá)到的最高精度的加工技術(shù)。 集成電路產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代信息社會的基石。集成電路的發(fā)明使電...
中科院回應(yīng)5nm光刻技術(shù)突破ASML壟斷:誤讀
近日,中國科學(xué)院官網(wǎng)上發(fā)布的一則研究進(jìn)展顯示,該團(tuán)隊研發(fā)的新型5nm超高精度激光光刻加工方法,隨后這被外界解讀為,已經(jīng)5nm ASML的壟斷,對此相關(guān)人...
早報:三星有望獲得蘋果M1芯片部分代工訂單 因臺積電5nm工藝產(chǎn)能緊張
但外媒最新的報道顯示,5nm工藝已大規(guī)模量產(chǎn)的臺積電,目前的產(chǎn)能無法滿足再為蘋果大規(guī)模代工M1芯片,蘋果可能會將部分M1芯片的代工訂單,交由臺積電的競爭...
芯聞精選:松下將改組為控股公司制,下設(shè)車載電池等8家業(yè)務(wù)公司
松下控股下設(shè)車載電池、電子零部件、汽車零部件等 8 家業(yè)務(wù)公司。外媒表示,這樣能夠明確責(zé)任和權(quán)限,加快公司決策。松下還公布了新的人事任命,常務(wù)執(zhí)行董事楠...
光刻技術(shù)為中心的行業(yè)壁壘,EUV光刻機(jī)并非是是中國半導(dǎo)體行業(yè)的唯一癥結(jié)
在一顆芯片誕生的過程中,光刻是最關(guān)鍵又最復(fù)雜的一步。 說最關(guān)鍵,是因為光刻的實質(zhì)將掩膜版上的芯片電路圖轉(zhuǎn)移至硅片,化虛為實。說最復(fù)雜,是因為光刻工藝需要...
2020-11-26 標(biāo)簽:半導(dǎo)體光刻技術(shù)EUV光刻機(jī) 2930 0
體上,三分之二的調(diào)查參與者認(rèn)為這將產(chǎn)生積極的影響。前往EUV時,口罩的數(shù)量減少了。這是因為EUV將整個行業(yè)帶回單一模式。具有多個圖案的193nm浸入需要...
美國實施出口管制的六大技術(shù),都與芯片制造中最重要的設(shè)備光刻機(jī)息息相關(guān),尤其是當(dāng)下5nm芯片已成為高端芯片時代的主流產(chǎn)品,EUV光刻機(jī)在半導(dǎo)體制程的重要意...
韓國企業(yè)在EUV光刻技術(shù)方面取得了極大進(jìn)展
在過去的十年中,包括三星電子在內(nèi)的全球公司進(jìn)行了深入的研究和開發(fā),以確保技術(shù)處于領(lǐng)先地位。最近,代工公司(意指三星)開始使用 5 納米 EUV 光刻技術(shù)...
韓國EUV光刻技術(shù)方面取得極大進(jìn)展 專利申請是國外的兩倍以上
IT之家 11 月 16 日消息 據(jù)韓國媒體 BusinessKorea 上周報道,韓國本土企業(yè)在 EUV 光刻技術(shù)方面取得了極大進(jìn)展。但并沒有提到是哪...
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