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標(biāo)簽 > 光刻技術(shù)
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,光刻技術(shù)傳遞圖形的尺寸限度縮小了2~3個(gè)數(shù)量級(jí)(從毫米級(jí)到亞微米級(jí)),已從常規(guī)光學(xué)技術(shù)發(fā)展到應(yīng)用電子束、 X射線、微離子束、激光等新技術(shù);使用波長(zhǎng)已從4000埃擴(kuò)展到 0.1埃數(shù)量級(jí)范圍。光刻技術(shù)成為一種精密的微細(xì)加工技術(shù)。
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芯片制造四大基本工藝包括:芯片設(shè)計(jì)、FPGA驗(yàn)證、晶圓光刻顯影、蝕刻、芯片封裝等,晶片制作過程最為復(fù)雜,需經(jīng)過濕洗、光刻、 離子注入、干蝕刻、等離子沖洗...
盡管該裝置相當(dāng)粗略,但是當(dāng)Jack Kilby按下開關(guān),示波器顯示屏上卻赫然出現(xiàn)了不間斷的正弦波形。試驗(yàn)證明他的發(fā)明成功了,他徹底解決了此前一直懸而未決...
集成電路的飛速發(fā)展有賴于相關(guān)的制造工藝光刻技術(shù)的發(fā)展,光刻技術(shù)是迄今所能達(dá)到的最高精度的加工技術(shù)。 集成電路產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代信息社會(huì)的基石。集成電路的發(fā)明使電...
半導(dǎo)體光刻技術(shù)及其發(fā)展歷程,一個(gè)詳盡立體的光刻世界
對(duì)于采用不同設(shè)備制造相同制程IC的制造廠來說,其技術(shù)水平差異就會(huì)很突出,例如,有的廠商用EUV設(shè)備(光刻波長(zhǎng)為13.5nm)才能做7nm芯片,而有的廠商...
GTC 2023:NVIDIA cuLitho將加速計(jì)算引入計(jì)算光刻技術(shù)領(lǐng)域的突破性成果
GTC 大會(huì):NVIDIA cuLitho將加速計(jì)算引入計(jì)算光刻技術(shù)領(lǐng)域的突破性成果 在摩爾定律接近物理極限之際,半導(dǎo)體行業(yè)要怎么做?借助AI? 現(xiàn)在半...
中芯國(guó)際7nm、5nm工藝任重道遠(yuǎn) 獲得美國(guó)供應(yīng)許可
去年中芯國(guó)際被美國(guó)列入了實(shí)體清單,購(gòu)買美國(guó)廠商的半導(dǎo)體設(shè)備及技術(shù)受到限制。今天業(yè)界消息稱中芯國(guó)際已經(jīng)獲得了美國(guó)的許可,14nm及28nm等工藝可以恢復(fù)供應(yīng)。
7nm節(jié)點(diǎn)后光刻技術(shù)從DUV轉(zhuǎn)至EUV,設(shè)備價(jià)值劇增
芯片行業(yè)從20世紀(jì)90年代開始就考慮使用13.5nm的EUV光刻(紫外線波長(zhǎng)范圍是10~400nm)用以取代現(xiàn)在的193nm。EUV本身也有局限,比如容...
光刻技術(shù)的進(jìn)步使得器件的特征尺寸不斷減小,芯片的集成度和性能不斷提高。在摩爾定律的引領(lǐng)下,光學(xué)光刻技術(shù)經(jīng)歷了接觸/接近、等倍投影、縮小步進(jìn)投影、步進(jìn)掃描...
2020-12-14 標(biāo)簽:集成電路控制系統(tǒng)光刻技術(shù) 8323 0
光刻技術(shù)是迄今所能達(dá)到的最高精度的加工技術(shù)
降低曝光光源的波長(zhǎng)是光刻技術(shù)和設(shè)備的一個(gè)重要發(fā)展趨勢(shì)。半個(gè)世紀(jì)以來隨著光刻技術(shù)的發(fā)展,特征尺寸隨之減小。在196O年代,半導(dǎo)體芯片制造商主要使用可見光作為光源。
2019年第一季度全球個(gè)人電腦出貨量為5850萬臺(tái),比2018年第一季度下降4.6%
昨天,臺(tái)積電正式宣布了6nm(N6)工藝,在已有7nm(N7)工藝的基礎(chǔ)上大幅度增強(qiáng),號(hào)稱可提供極具競(jìng)爭(zhēng)力的高性價(jià)比,而且能加速產(chǎn)品研發(fā)、量產(chǎn)、上市速度。
光刻就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來。利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對(duì)涂有光刻膠的薄片曝光。
中科院回應(yīng)5nm光刻技術(shù)突破ASML壟斷:誤讀
近日,中國(guó)科學(xué)院官網(wǎng)上發(fā)布的一則研究進(jìn)展顯示,該團(tuán)隊(duì)研發(fā)的新型5nm超高精度激光光刻加工方法,隨后這被外界解讀為,已經(jīng)5nm ASML的壟斷,對(duì)此相關(guān)人...
簡(jiǎn)單的說用一定波長(zhǎng)的波刻蝕材料就是光刻技術(shù),集成電路制造中利用光學(xué)- 化學(xué)反應(yīng)原理和化學(xué)、物理刻蝕方法,將電路圖形傳遞到單晶表面或介質(zhì)層上,形成有效圖形...
2011-09-05 標(biāo)簽:光刻技術(shù) 5912 0
三星半導(dǎo)體已經(jīng)開始使用其7LPP制造工藝生產(chǎn)芯片
三星在其位于韓國(guó)華城的Fab S3生產(chǎn)7LPP EUV芯片。該公司每天可以在其ASML Twinscan NXE:3400B EUVL步進(jìn)掃描系統(tǒng)和每個(gè)...
納米壓印光刻技術(shù)應(yīng)用在即,能否掀起芯片制造革命?
電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/李寧遠(yuǎn))提及芯片制造,首先想到的自然是光刻機(jī)和光刻技術(shù)。而眾所周知,EUV光刻機(jī)產(chǎn)能有限而且成本高昂,業(yè)界一直都在探索不完全依賴于...
2024-03-09 標(biāo)簽:光刻技術(shù) 4871 0
新思科技Fusion技術(shù)助力三星7LPP EUV工藝降低功耗、縮小面積并提高性能
新思科技設(shè)計(jì)事業(yè)部營(yíng)銷與商務(wù)開發(fā)副總裁Michael Jackson表示:“我們與三星的工具和參考流程合作重點(diǎn)在于使設(shè)計(jì)人員能夠使用三星最新的EUV 7...
光刻(photoetching)是通過一系列生產(chǎn)步驟將晶圓表面薄膜的特定部分除去的工藝在此之后,晶圓表面會(huì)留下帶有微圖形結(jié)構(gòu)的薄膜。被除去的部分可能形狀...
2011-09-05 標(biāo)簽:光刻技術(shù) 4213 0
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