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標(biāo)簽 > 光刻技術(shù)
隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,光刻技術(shù)傳遞圖形的尺寸限度縮小了2~3個(gè)數(shù)量級(從毫米級到亞微米級),已從常規(guī)光學(xué)技術(shù)發(fā)展到應(yīng)用電子束、 X射線、微離子束、激光等新技術(shù);使用波長已從4000埃擴(kuò)展到 0.1埃數(shù)量級范圍。光刻技術(shù)成為一種精密的微細(xì)加工技術(shù)。
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COVID將對光掩模市場產(chǎn)生什么業(yè)務(wù)影響?
總體上,三分之二的調(diào)查參與者認(rèn)為這將產(chǎn)生積極的影響。前往EUV時(shí),口罩的數(shù)量減少了。這是因?yàn)镋UV將整個(gè)行業(yè)帶回單一模式。具有多個(gè)圖案的193nm浸入需...
本文介紹了7納米工藝面臨的各種挑戰(zhàn)與解決方案。 一、什么是7納米工藝? 在談?wù)?納米工藝之前,我們先了解一下“納米”是什么意思。納米(nm)是一個(gè)長度單...
體上,三分之二的調(diào)查參與者認(rèn)為這將產(chǎn)生積極的影響。前往EUV時(shí),口罩的數(shù)量減少了。這是因?yàn)镋UV將整個(gè)行業(yè)帶回單一模式。具有多個(gè)圖案的193nm浸入需要...
Molecular Imprints將為半導(dǎo)體大批量制造提供先進(jìn)光刻設(shè)備
奈米圖案成形系統(tǒng)與解決方案的市場與技術(shù)廠商Molecular Imprints, Inc. (MII) 宣佈,該公司已經(jīng)獲得一份包含多個(gè)壓印範(fàn)本的採購訂...
2012-09-26 標(biāo)簽:半導(dǎo)體存儲器光刻技術(shù)半導(dǎo)體芯片 1313 0
Rolith宣布安裝由SUSS MicroTec建造的第2代納米結(jié)構(gòu)原型工具
Rolith, Inc.,今天宣布成功安裝 由Rolith, Inc. 獨(dú)家授權(quán)SUSS MicroTec AG建造的第 2 代納米結(jié)構(gòu)原型工具 – R...
高數(shù)值孔徑EUV 今年的大部分討論都集中在EUV的下一步發(fā)展以及高數(shù)值孔徑EUV的時(shí)間表和技術(shù)要求上。ASML戰(zhàn)略營銷高級總監(jiān)Michael Lerce...
當(dāng)人們意識到汽油動(dòng)力機(jī)器和車輛對環(huán)境的負(fù)面影響時(shí),似乎只要改用電池就可以解決這些問題了。從那時(shí)起,似乎沒有人質(zhì)疑這種新的、所謂完全環(huán)保的選擇。然而,沒過...
據(jù)彭博社3月15日報(bào)道,三星電子有望從美國政府獲得逾60億美元的《CHIP》法案補(bǔ)貼。該公司目前正在美國得克薩斯州新建一座工廠,此前計(jì)劃于今年7月開始...
ASML即將上任的首席執(zhí)行官Christophe Fouquet面臨的最大挑戰(zhàn)將是帶領(lǐng)公司進(jìn)入一個(gè)新時(shí)代,救火員工程文化必須改變。
中國科學(xué)院大學(xué)在近場光學(xué)鄰近效應(yīng)研究中獲得進(jìn)展
為滿足集成電路中對納米結(jié)構(gòu)器件的尺寸及質(zhì)量的高性能要求,有效地解決表面等離子體光刻技術(shù)中存在的near-field OPE問題,中國科學(xué)院大學(xué)集成電路學(xué)...
2023-04-18 標(biāo)簽:集成電路光刻技術(shù)結(jié)構(gòu)器件 1093 0
中國在半導(dǎo)體芯片制造方面仍落后于美國。早在上世紀(jì)60年代,美國就開始占據(jù)世界半導(dǎo)體市場的絕對主導(dǎo)地位。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,半導(dǎo)體芯片的制造越來越精細(xì)化。...
2023-06-01 標(biāo)簽:納米技術(shù)光刻技術(shù)半導(dǎo)體芯片 1059 0
近期的演示會上,美光詳細(xì)闡述了其針對納米印刷與DRAM制造之間的具體工作模式。他們提出,DRAM工藝的每一個(gè)節(jié)點(diǎn)以及浸入式光刻的精度要求使得物理流程變得...
Imec 與三井化學(xué)公司簽署戰(zhàn)略合作協(xié)議,將用于 EUV 光刻技術(shù)的 CNT 薄膜技術(shù)商業(yè)化
來源:半導(dǎo)體芯科技 SiSC編譯 魯汶(比利時(shí)),2023 年 12 月 14 日 — 世界領(lǐng)先的納米電子和數(shù)字技術(shù)研究和創(chuàng)新中心 Imec 與日本領(lǐng)先...
數(shù)十年的光刻技術(shù),High-NA EUV或成為終點(diǎn)?
盡管EUV的生產(chǎn)力還沒有達(dá)到客戶的預(yù)期,但幾年來,EUV 已經(jīng)成為世界上最先進(jìn)芯片的生產(chǎn)過程中不可或缺的一部分。
EUV掩膜,也稱為EUV掩?;駿UV光刻掩膜,對于極紫外光刻(EUVL)這種先進(jìn)光刻技術(shù)至關(guān)重要。EUV光刻是一種先進(jìn)技術(shù),用于制造具有更小特征尺寸和增...
2023-08-07 標(biāo)簽:半導(dǎo)體器件光刻技術(shù)EUV 960 0
阿斯麥和IMEC聯(lián)合光刻實(shí)驗(yàn)室啟用
近日,比利時(shí)微電子研究中心(IMEC)與全球光刻技術(shù)領(lǐng)軍企業(yè)阿斯麥(ASML)共同宣布,在荷蘭費(fèi)爾德霍芬正式啟用聯(lián)合High-NA EUV光刻實(shí)驗(yàn)室。
臺積電轉(zhuǎn)變態(tài)度?秘密訪問ASML總部引發(fā)行業(yè)關(guān)注
宿敵英特爾則積極投身于新興高數(shù)值孔徑超紫外光刻領(lǐng)域,已有數(shù)臺設(shè)備投入其芯片制造部門使用。據(jù)透露,英特爾正計(jì)劃在即將推出的18A(1.8納米)工藝節(jié)點(diǎn)中試...
美投資8.25億美元建設(shè)NSTC關(guān)鍵設(shè)施,重點(diǎn)發(fā)展EUV光刻技術(shù)
拜登政府已宣布一項(xiàng)重大投資決策,計(jì)劃在紐約州的奧爾巴尼市投入8.25億美元,用于建設(shè)國家半導(dǎo)體技術(shù)中心(NSTC)的核心設(shè)施。據(jù)美國商務(wù)部透露,奧爾巴尼...
英特爾擬斥資20億美元擴(kuò)建愛爾蘭半導(dǎo)體工廠,采用先進(jìn)技術(shù)
Fab 34是英國在歐洲如今唯一運(yùn)用-極紫外線(EUV)光刻技術(shù)的芯片制作基地,負(fù)責(zé)生產(chǎn)英特爾第四代Intel 4工藝的生產(chǎn)力工具如Meteor Lak...
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