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標(biāo)簽 > 光刻
光刻是平面型晶體管和集成電路生產(chǎn)中的一個主要工藝。是對半導(dǎo)體晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)進(jìn)行開孔,以便進(jìn)行雜質(zhì)的定域擴(kuò)散的一種加工技術(shù)。
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在PCB的制造和設(shè)計(jì)過程中,可能會出現(xiàn)一種叫做"死銅"的問題。本文將解析死銅在PCB上的含義、成因、對電路性能的影響以及解決方法。
2023-06-05 標(biāo)簽:電路pcbPCB設(shè)計(jì) 1526 0
隨著光刻技術(shù)的進(jìn)步,光刻光源的曝光波長已經(jīng)減小很多。早期投影式光刻技術(shù)的曝光波長為436nm、365nm (分別來自于汞弧燈可見光g線和紫外光i線),所...
中國科學(xué)院大學(xué)集成電路學(xué)院是國家首批支持建設(shè)的示范性微電子學(xué)院。為了提高學(xué)生對先進(jìn)光刻技術(shù)的理解,本學(xué)期集成電路學(xué)院開設(shè)了《集成電路先進(jìn)光刻技術(shù)與版圖設(shè)...
之前的小講堂有介紹過,光刻過程就好比用照相機(jī)拍照,將掩模版上的芯片設(shè)計(jì)版圖曝光到晶圓上,從而制造出微小的電路結(jié)構(gòu)。ASML光刻機(jī)的鏡片組使用極其精密的加...
光刻技術(shù):光學(xué)關(guān)鍵尺寸測量(OCD)原理
集成電路芯片持續(xù)朝著密度不斷增加和器件尺寸不斷微縮的方向發(fā)展,其中最為關(guān)鍵的一個參數(shù)就是柵極線條寬度。任何經(jīng)過光刻后的光刻膠線條寬度或刻蝕后柵極線條...
EUV光刻技術(shù)仍被認(rèn)為是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體行業(yè)持續(xù)創(chuàng)新的關(guān)鍵途徑。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展和成熟,預(yù)計(jì)EUV光刻將在未來繼續(xù)推動芯片制程的進(jìn)步。
根據(jù)維基百科的定義,光刻是半導(dǎo)體器件制造工藝中的一個重要步驟,該步驟利用曝光和顯影在光刻膠層上刻畫幾何圖形結(jié)構(gòu),然后通過刻蝕工藝將光掩模上的圖形轉(zhuǎn)移到所...
2023-04-25 標(biāo)簽:光刻半導(dǎo)體器件光刻膠 2199 0
光刻就是把芯片制作所需要的線路與功能區(qū)做出來。利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光后會發(fā)生性質(zhì)變化,從而使光罩上得圖形...
昂圖科技的極大尺寸照射場高分辨率光刻系統(tǒng)克服了FOPLP圖形形變挑戰(zhàn)
異構(gòu)集成技術(shù)集成了多個來自不同制程與功能各異的芯片來達(dá)到更優(yōu)越的效能。在大尺寸的面板級封裝中,現(xiàn)存的步進(jìn)式曝光機(jī)有著最大單一照射場(Exposure F...
光刻膠層透過掩模被曝光在紫外線之下,變得可溶,掩模上印著預(yù)先設(shè)計(jì)好得電路圖案,紫外線透過它照在光刻膠層上,就會形成每一層電路圖形。這個原理和老式膠片曝光類似。
設(shè)備由MEMS領(lǐng)域應(yīng)用轉(zhuǎn)化到3D集成技術(shù)領(lǐng)域,表現(xiàn)出高對準(zhǔn)精度特點(diǎn)。大多數(shù)對準(zhǔn)、鍵合工藝都源于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造技術(shù),但應(yīng)用于3D集成的對準(zhǔn)精度...
超快光譜學(xué)和半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域皆依賴于非常短的波長,往往在極紫外extreme ultraviolet,EUV波段。然而,大多數(shù)光學(xué)材料強(qiáng)烈地吸收該波長范圍...
其全流程涉及了從 EUV 光源到反射鏡系統(tǒng),再到光掩模,再到對準(zhǔn)系統(tǒng),再到晶圓載物臺,再到光刻膠化學(xué)成分,再到鍍膜機(jī)和顯影劑,再到計(jì)量學(xué),再到單個晶圓。
加工技術(shù):IGBT芯片的加工技術(shù)包括晶圓制備、摻雜、光刻、腐蝕、沉積等方面。加工技術(shù)的發(fā)展可以提高芯片的制造精度和一致性。例如,采用新型的晶圓制備技術(shù),...
在集成電路的制造過程中,有一個重要的環(huán)節(jié)——光刻,正因?yàn)橛辛怂?,我們才能在微小的芯片上?shí)現(xiàn)功能。 現(xiàn)代刻劃技術(shù)可以追溯到190年以前,1822年法國人N...
功率墻:將功率引入芯片并從芯片封裝中提取熱量變得越來越具有挑戰(zhàn)性,因此我們必須開發(fā)改進(jìn)的功率傳輸和冷卻概念。
2023-02-07 標(biāo)簽:晶體管光刻半導(dǎo)體設(shè)備 957 0
前烘就是在一定溫度下,使膠膜里的溶劑緩慢地?fù)]發(fā)出來,使膠膜干燥,并增加其粘附性和耐磨性。
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