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標(biāo)簽 > 刻蝕
刻蝕,英文為Etch,它是半導(dǎo)體制造工藝,微電子IC制造工藝以及微納制造工藝中的一種相當(dāng)重要的步驟。是與光刻 [1] 相聯(lián)系的圖形化(pattern)處理的一種主要工藝。所謂刻蝕,實(shí)際上狹義理解就是光刻腐蝕,先通過光刻將光刻膠進(jìn)行光刻曝光處理,然后通過其它方式實(shí)現(xiàn)腐蝕處理掉所需除去的部分。
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本文簡單介紹了連續(xù)波和脈沖波的概念、連續(xù)波電流與脈沖波電源的定義以及脈沖波電源相對于連續(xù)波的電源模式的優(yōu)勢。 相對于連續(xù)波的電源模式,脈沖模式的優(yōu)勢有哪...
深入剖析半導(dǎo)體濕法刻蝕過程中殘留物形成的機(jī)理
半導(dǎo)體濕法刻蝕過程中殘留物的形成,其背后的機(jī)制涵蓋了化學(xué)反應(yīng)、表面交互作用以及側(cè)壁防護(hù)等多個層面,下面是對這些機(jī)制的深入剖析: 化學(xué)反應(yīng)層面 1 刻蝕劑...
等離子體刻蝕和濕法刻蝕是集成電路制造過程中常用的兩種刻蝕方法,雖然它們都可以用來去除晶圓表面的材料,但它們的原理、過程、優(yōu)缺點(diǎn)及適用范圍都有很大的不同。...
什么是刻蝕?刻蝕是指通過物理或化學(xué)方法對材料進(jìn)行選擇性的去除,從而實(shí)現(xiàn)設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)圖形的一種技術(shù)。蝕刻是半導(dǎo)體制造及微納加工工藝中相當(dāng)重要的步驟,自194...
無偏差的刻蝕過程,我們稱之為各向異性刻蝕。為了更清晰地理解這一過程,我們可以將其拆解為幾個基本環(huán)節(jié)。首先,第一個環(huán)節(jié)是刻蝕氣體的處理,這些氣體在等離子體...
(1)什么是飛秒激光 激光器作為20世紀(jì)最偉大的發(fā)明之一,因激光具有方向性、單色性好以及具有良好相干性等特點(diǎn),在諸多領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。 20世紀(jì)70年...
半導(dǎo)體BOE(Buffered Oxide Etchant,緩沖氧化物蝕刻液)刻蝕技術(shù)是半導(dǎo)體制造中用于去除晶圓表面氧化層的關(guān)鍵工藝,尤其在微結(jié)構(gòu)加工、...
半導(dǎo)體制造關(guān)鍵工藝:濕法刻蝕設(shè)備技術(shù)解析
刻蝕工藝的核心機(jī)理與重要性 刻蝕工藝是半導(dǎo)體圖案化過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié),與光刻機(jī)和薄膜沉積設(shè)備并稱為半導(dǎo)體制造的三大核心設(shè)備??涛g的主要作用是將光刻膠上的圖...
2025-04-27 標(biāo)簽:濕法半導(dǎo)體制造刻蝕 93 0
濕法刻蝕和清洗在半導(dǎo)體加工過程中都是重要的化學(xué)處理步驟,但它們在目的、原理以及操作上存在明顯的區(qū)別。以下是對這兩者的詳細(xì)對比: 一、目的 濕法刻蝕 主要...
2025-04-08 標(biāo)簽:刻蝕 106 0
中微公司ICP雙反應(yīng)臺刻蝕機(jī)Primo Twin-Star取得新突破
近日,中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”,股票代碼“688012.SH”)宣布通過不斷提升反應(yīng)臺之間氣體控制的精度, ICP雙反應(yīng)...
華林科納半導(dǎo)體高選擇性蝕刻是指在半導(dǎo)體制造等精密加工中,通過化學(xué)或物理手段實(shí)現(xiàn)目標(biāo)材料與非目標(biāo)材料刻蝕速率的顯著差異,從而精準(zhǔn)去除指定材料并保護(hù)其他結(jié)構(gòu)...
半導(dǎo)體濕法刻蝕殘留物的原理涉及化學(xué)反應(yīng)、表面反應(yīng)、側(cè)壁保護(hù)等多個方面。 以下是對半導(dǎo)體濕法刻蝕殘留物原理的詳細(xì)闡述: 化學(xué)反應(yīng) 刻蝕劑與材料的化學(xué)反應(yīng):...
都說半導(dǎo)體濕法刻蝕工藝復(fù)雜,但是你真的了解過嗎?雖然復(fù)雜,還是有流程有規(guī)律可循。你知道到底半導(dǎo)體刻蝕有哪些工藝嗎?不知道的話今天就是一個科普好機(jī)會,一起...
芯片濕法刻蝕方法主要包括各向同性刻蝕和各向異性刻蝕。為了讓大家更好了解這兩種方法,我們下面準(zhǔn)備了詳細(xì)的介紹,大家可以一起來看看。 各向同性刻蝕 定義:各...
大家知道芯片是一個要求極其嚴(yán)格的東西,為此我們生產(chǎn)中想盡辦法想要讓它減少污染,更加徹底去除污染物。那么,今天來說說,大家知道芯片濕法刻蝕殘留物到底用什么...
目前芯片最流行的工藝一定屬于濕法刻蝕。那么今天來解答大家一個問題,芯片濕法刻蝕中DIN是什么?似乎不研究深入,大家也沒辦法一下子解答這個問題。那今天是一...
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