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標(biāo)簽 > 晶圓
晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,由于其形狀為圓形,故稱為晶圓;在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品。
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應(yīng)用于后蝕刻TSV晶圓的表面等離子體清洗技術(shù)
直通硅通孔(TSV)器件是3D芯片封裝的關(guān)鍵推動者,可提高封裝密度和器件性能。要實現(xiàn)3DIC對下一代器件的優(yōu)勢,TSV縮放至關(guān)重要。
本文采用飛秒激光蝕刻法、深反應(yīng)離子蝕刻法和金屬催化化學(xué)蝕刻法制備了黑硅,研究發(fā)現(xiàn),在400~2200nm的波長內(nèi),光的吸收顯著增強,其中飛秒激光用六氟化...
中國科學(xué)院金屬研究所沈陽材料科學(xué)國家研究中心與國內(nèi)多家單位科研團隊合作,通過設(shè)計MXene材料的離心、旋涂、光刻和蝕刻工藝,提出了具有微米級分辨率的晶圓...
盡管芯片已經(jīng)可以被如此大規(guī)模地生產(chǎn)出來,生產(chǎn)芯片卻并非易事。制造芯片的過程十分復(fù)雜,今天我們將會介紹六個最為關(guān)鍵的步驟:沉積、光刻膠涂覆、光刻、刻蝕、離...
在超大規(guī)模集成(ULSI)制造的真實生產(chǎn)線中,器件加工過程中存在各種污染物。由于超大規(guī)模集成電路器件工藝需要非常干凈的表面,因此必須通過清潔技術(shù)去除污染...
當(dāng)前工業(yè)機器人的關(guān)鍵技術(shù)及其應(yīng)用
我國工業(yè)機器人的市場主要集中在汽車、汽車零部件、摩托車、電器、工程機械、石油化工等行業(yè)。中國作為亞洲第三大的工業(yè)機器人需求國,市場發(fā)展穩(wěn)定,汽車及其零部...
2022-03-15 標(biāo)簽:控制系統(tǒng)晶圓工業(yè)機器人 4533 0
由TOK、JSR、陶氏化學(xué)等公司生產(chǎn)的新一代負(fù)色調(diào)和化學(xué)放大的正色調(diào)光阻劑在先進的包裝應(yīng)用中獲得了發(fā)展勢頭。隨著銅柱和微凸起的采用,樹脂的厚度要求正在增...
關(guān)于薄膜金剛石的化學(xué)機械拋光的研究報告
摘要 納米晶金剛石(NCD)可以保留單晶金剛石的優(yōu)越楊晶模量(1100GPa),以及在低溫下生長的能力(450C),這推動了NCD薄膜生長和應(yīng)用的復(fù)興。...
增加電路密度而不必移動到新技術(shù)節(jié)點的優(yōu)勢使得垂直擴展成為半導(dǎo)體行業(yè)的強大驅(qū)動力。但它也有一系列挑戰(zhàn),其中關(guān)鍵的挑戰(zhàn)便是刻蝕能力。
芯片是晶圓切割完成的半成品,晶圓是芯片的載體,將晶圓充分利用刻出一定數(shù)量的芯片后,進行切割就就成了一塊塊的芯片了。
用于刻蝕多晶硅表面的HF-HNO3-H2SO4/H2O混合物
硅表面常用的HF-HNO3-H2O蝕刻混合物的反應(yīng)行為因為硫酸加入而受到顯著影響。HF (40%)-HNO3 (65%)-H2SO4 (97%)混合物的...
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