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      標簽　>　DUV

      DUV

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      duv就是深紫外光，主要是指波長小于i-line365nm的紫外光，一般工業(yè)上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化學(xué)增幅型的光刻膠。

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      DUV百科

      　　duv就是深紫外光，主要是指波長小于i-line365nm的紫外光，一般工業(yè)上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化學(xué)增幅型的光刻膠。

      　　duv主要利用光的折射原理。其中，浸沒式光刻機會在投影透鏡與晶圓之間，填入去離子水，使得193nm的光波等效至134nm。

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