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DUV

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duv就是深紫外光,主要是指波長(zhǎng)小于i-line365nm的紫外光,一般工業(yè)上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化學(xué)增幅型的光刻膠。

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DUV百科

  duv就是深紫外光,主要是指波長(zhǎng)小于i-line365nm的紫外光,一般工業(yè)上有193arf和248nmkrf的的激光。用的都是化學(xué)增幅型的光刻膠。

  duv主要利用光的折射原理。其中,浸沒式光刻機(jī)會(huì)在投影透鏡與晶圓之間,填入去離子水,使得193nm的光波等效至134nm。

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duv技術(shù)

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擬推中國(guó)特供版DUV?ASML最新回應(yīng)

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荷蘭出新規(guī)!ASML部分DUV***將禁運(yùn),國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展別無(wú)選擇

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2023-03-13 標(biāo)簽:光刻機(jī)ASMLDUV 3889 0

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