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對(duì)器件設(shè)計(jì)工程師來(lái)講,離子注入的濃度往往是需要關(guān)心的參數(shù),什么樣的濃度對(duì)應(yīng)什么樣的方阻,器件仿真參數(shù)輸入的是濃度,通過(guò)DSIMS測(cè)出來(lái)的也是濃度和深度的關(guān)系。
Sentaurus是什么?半導(dǎo)體工藝及器件仿真工具Sentaurus TCAD教程概述立即下載
類別:仿真技術(shù) 2018-09-12 標(biāo)簽:半導(dǎo)體仿真器TCAD 1.3萬(wàn) 0
TCAD技術(shù)及其在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用立即下載
類別:半導(dǎo)體技術(shù)論文 2011-10-31 標(biāo)簽:半導(dǎo)體TCAD 1208 0
培風(fēng)圖南:手握3D TCAD利器,劍指虛擬晶圓廠
作為EDA領(lǐng)域的重要分支和核心底層,TCAD(Technology Computer Aided Design,半導(dǎo)體工藝和器件仿真軟件)在器件設(shè)計(jì)和工...
TCAD就是Technology Computer Aided Design,指半導(dǎo)體工藝模擬以及器件模擬工具,世界上商用的TCAD工具有Silvaco...
2023-01-24 標(biāo)簽:套件TCAD半導(dǎo)體工藝 7374 0
EDA工具包括硬件和軟件兩部分。軟件是工具的核心,分為仿真工具、設(shè)計(jì)工具、驗(yàn)證工具三種類型;硬件是用來(lái)加速仿真、驗(yàn)證速度的服務(wù)器和專用工具。
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該DRAM案例研究表明,通過(guò)在虛擬環(huán)境中執(zhí)行大量的DOE和工藝變化研究,可以消除不相關(guān)DOE路徑的時(shí)間和成本,并快速實(shí)現(xiàn)性能和良率目標(biāo),從而加快產(chǎn)品上市時(shí)間。
東芝聘請(qǐng)Synopsys公司和KLA-Tencor開發(fā)緊湊的良率分析和建模系統(tǒng)
于設(shè)備擴(kuò)展,工藝容差越來(lái)越嚴(yán)格,而微小的工藝波動(dòng)對(duì)設(shè)備性能的影響越來(lái)越大。為了解決這些問(wèn)題,必須識(shí)別和控制這些過(guò)程變化的來(lái)源,以最小化參數(shù)產(chǎn)量損失。對(duì)于...
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