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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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意法半導(dǎo)體:MEMS技術(shù)在醫(yī)療保健產(chǎn)業(yè)的應(yīng)用與發(fā)展
MEMS為醫(yī)療保健產(chǎn)業(yè)開啟很多新的成長空間,能夠讓更多的人享受到醫(yī)療保健服務(wù)。MEMS能夠監(jiān)控多種重要的生理參數(shù),為遠(yuǎn)程用戶和即時監(jiān)護(hù)病患且不住院護(hù)理提...
2013-05-09 標(biāo)簽:MEMS遠(yuǎn)程監(jiān)控意法半導(dǎo)體 2789 0
“錫須”對于電子制造的某些方面來說不是一個富有想象力的幻想術(shù)語。錫須是真實(shí)的。它們是從純錫表面發(fā)出的微觀導(dǎo)電纖維,它們對所有類型的電子產(chǎn)品都構(gòu)成了嚴(yán)重的...
陀螺儀LSM6DSOW開發(fā)(3)----FIFO數(shù)據(jù)讀取與配置
本文檔旨在詳細(xì)介紹如何配置和讀取LSM6DSOW傳感器的FIFO數(shù)據(jù)。LSM6DSOW是一款高性能的6軸IMU(慣性測量單元),集成了三軸加速度計和三軸...
對MEMS工藝技術(shù)的投資加上設(shè)計創(chuàng)新,已大大改善MEMS性能,使得MEMS足以成為更廣泛狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用的可行選擇
2019-04-10 標(biāo)簽:mems 2754 0
常規(guī)的絕緣層上硅 (Silicon on Insulator, SOI)是通過注氧隔離 (Separation by Implanted Oxygen,...
為了適應(yīng)MEMS技術(shù)的發(fā)展,人們開發(fā)了許多新的MEMS封裝技術(shù)和工藝,如陽極鍵合,硅熔融鍵合、共晶鍵合等,已基本建立起自己的封裝體系?,F(xiàn)在人們通常將ME...
總之,決定使用哪種材料不僅取決于成本,還主要取決于每種應(yīng)用所需的特定屬性。然而,在評估材料時,還應(yīng)考慮制造的預(yù)期產(chǎn)量和生產(chǎn)規(guī)模選項(xiàng),因?yàn)樗鼈儠绊懺O(shè)計、...
今天我們將通過回顧一些數(shù)據(jù)來說明MEMS技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r及性能水平,并將其與商用壓電(PZT)狀態(tài)監(jiān)控加速度計進(jìn)行比較。
2018-07-07 標(biāo)簽:mems狀態(tài)監(jiān)控 2720 0
MEMS聲學(xué)傳感器的出現(xiàn),讓音箱不再只能單純播放音樂,而是成為可以與人互動的智能終端。
如果說很多人把MCU或SoC主芯片比喻為現(xiàn)代電子系統(tǒng)的大腦,那么時鐘組件當(dāng)之無愧是其心臟。無論是電子工程師還是元器件采購者,在選擇時鐘組件時都會經(jīng)過全面...
測量范圍的最差情況是在最高頻率時,ADXL357的±40 g范圍似乎能夠測量很大一部分的ISO-10816-1相關(guān)振動模式。
與傳統(tǒng)振蕩器相比,MEMS振蕩器究竟有哪些優(yōu)勢呢
便攜式和可穿戴電子產(chǎn)品的興起,推動了降低包括振蕩器在內(nèi)的各類電子元件的能耗和占地面積的需求?;谖C(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的振蕩器將精確的輸出頻率和低功...
關(guān)于 MEMS 芯片,首先要了解的是,當(dāng)它們暴露在壓力或溫度下時,它們會產(chǎn)生相應(yīng)的輸出(以毫伏為單位),前提是已提供輸入電壓或激勵電壓。 MEMS 芯片...
菲爾斯特的MEMS微機(jī)電技術(shù)和MPT微組裝工藝
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-MechanicSystem)是一種先進(jìn)的制造技術(shù)平臺。它是以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的。MEM...
2013-01-22 標(biāo)簽:MEMS菲爾斯特微機(jī)電技術(shù) 2686 5
壓力傳感器在液壓系統(tǒng)中主要是來完成力的閉環(huán)控制。當(dāng)控制閥芯突然移動時,在極短的時間內(nèi)會形成幾倍于系統(tǒng)工作壓力的尖峰壓力。在典型的行走機(jī)械和工業(yè)液壓中,如...
MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)了便攜式HD投影顯示的創(chuàng)新型全新應(yīng)用
基于MEMS的TI TI DLP? Pico? 投影顯示技術(shù)的核心是一組高反射性鋁制微鏡,被稱為數(shù)字微鏡器件 (DMD)。一個DMD可以包含數(shù)百萬個單獨(dú)...
加速度計能夠測量加速度、傾斜度、振動或沖擊,因此可用于從可穿戴健身設(shè)備到工業(yè)平臺穩(wěn)定系統(tǒng)的各種應(yīng)用。有數(shù)百種零件可供選擇,成本和性能差異很大。本文第 1...
NIR光譜分析在農(nóng)業(yè)和食品行業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域內(nèi)的效用
光譜分析是一種測量技術(shù);它通過測量材料與不同波長光的相互作用情況來檢查材料的屬性。有幾種不同的交互作用可被測量,包括材料對光的吸收、反射和透射。
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