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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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如何在災(zāi)難救援中,精準(zhǔn)定位受困人員的位置?如何在無人機(jī)操作中,提高系統(tǒng)精度?如何在人機(jī)交互中,更好的實(shí)現(xiàn)動作檢測和姿勢識別?如何在自動駕駛中,做到更精確...
振動校正誤差(VRE)是加速度計(jì)對交流振動的響應(yīng),這些振動被糾正為直流,表現(xiàn)為加速度計(jì)偏移的異常偏移。在傾角計(jì)等應(yīng)用中,這是一個(gè)重要的誤差源,其中加速度...
如何推導(dǎo)電容式MEMS加速度計(jì)中使用的傳遞函數(shù)
在本文中,我們將了解如何推導(dǎo)電容式 MEMS 加速度計(jì)中使用的質(zhì)量-彈簧-阻尼系統(tǒng)的傳遞函數(shù)。
MEMS_慣性傳感器16-磁力計(jì)橢球擬合校準(zhǔn)步驟
磁力計(jì)橢球擬合校準(zhǔn)是一種將磁力計(jì)測量數(shù)據(jù)校準(zhǔn)到真實(shí)磁場的技術(shù)。這種技術(shù)通常使用橢球模型來擬合磁力計(jì)的測量結(jié)果,然后通過最小二乘法來找到擬合參數(shù)的最優(yōu)解。
用靜電懸浮技術(shù)設(shè)計(jì)耐久的MEMS開關(guān)
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,研究人員開發(fā)了一款新型MEMS開關(guān),利用靜電懸浮技術(shù)提供了更耐久的系統(tǒng)。
基于LPC2138微處理器實(shí)現(xiàn)機(jī)器人手臂控制器的應(yīng)用方案
近年來,隨著MEMS及相關(guān)技術(shù)的發(fā)展,微機(jī)器人領(lǐng)域已越來越來受人關(guān)注。但由于零件的尺寸很小,微機(jī)器人組件的裝配需要很高的精確度,一般的裝配方法無法滿足要...
小白必看!MEMS時(shí)鐘振蕩器在射頻系統(tǒng)中的經(jīng)典應(yīng)用方案
結(jié)合了MEMS和高分辨率鎖相環(huán)電路的DCXO,能支持最小量化噪聲設(shè)計(jì)的高速數(shù)字鎖相環(huán)路和不受頻率牽引范圍影響的相位噪聲,適合于應(yīng)用到各種射頻和通信系統(tǒng)中。
心音聽診是進(jìn)行疾病診斷的一種重要手段,在這篇文章中我們討論了一種應(yīng)用無線傳輸技術(shù)設(shè)計(jì)的電子聽診 器,該電子聽診器是基于嵌入式處理器的。數(shù)據(jù)可以通過Zig...
2014-10-08 標(biāo)簽:MEMS運(yùn)算放大器LM386 3331 0
基于MEMS加速度計(jì)實(shí)現(xiàn)動態(tài)傾角測量系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
基于MEMS加速度計(jì)的傾角測量模塊具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、抗沖擊、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)。對有加速度干擾下的傾角測量存在較大誤差,本文圍繞這一誤差產(chǎn)生的來源...
2020-08-05 標(biāo)簽:mems電機(jī)測量系統(tǒng) 3329 0
基于MEMS技術(shù)的1×N端口光開關(guān)的原理結(jié)構(gòu)與用途分析
8×16端口MCS光開關(guān)的結(jié)構(gòu)如圖2所示,它包括8個(gè)1×16端口的PLC光分路器和16個(gè)8×1端口的光開關(guān),光分路器通常以PLC技術(shù)制備,而1×N端口光...
2020-01-27 標(biāo)簽:開關(guān)mems互聯(lián)網(wǎng) 3318 0
在空間飛行器的慣性測量系統(tǒng),機(jī)器人的機(jī)械臂延展確定,車船體傾斜測量,巖體傾向判斷和工程鉆孔軌跡檢測等許多方面都需要測量物體的傾斜和方向等參數(shù)。
應(yīng)用于工業(yè)消費(fèi)市場的低功耗MEMS傳感器的介紹
MEMS傳感器徹底改變了我們與日常技術(shù)互動的方式,使其更容易,更便于用戶使用。 MEMS傳感器提供諸如2軸和3軸線性加速度計(jì)以及單軸和多軸陀螺儀等功能S...
MEMS熱式質(zhì)量流量傳感器的原理和應(yīng)用
熱式質(zhì)量流量傳感器是利用氣體流經(jīng)加熱元器件時(shí),從加熱元器件表面帶走部分熱量,根據(jù)氣體流量與換熱量之間的關(guān)系進(jìn)行測量。利用此傳感器做成的流量計(jì)具有結(jié)構(gòu)簡單...
醫(yī)療可穿戴智能設(shè)備的主要器件:MEMS傳感器
隨著可穿戴智能設(shè)備的發(fā)展,特別是醫(yī)療可穿戴智能設(shè)備,主要依靠MEMS傳感器,從而檢測到穿戴者的身體各項(xiàng)信息。那么什么是MEMS傳感器呢?
2014-01-14 標(biāo)簽:傳感器MEMS可穿戴設(shè)備 3282 1
微/納機(jī)電系統(tǒng)發(fā)展特點(diǎn)及前景
本文分析了微/納機(jī)電系統(tǒng)的發(fā)展特點(diǎn),討論了MEMS和NEMS發(fā)展中的幾個(gè)問題和MEMS和NEMS的發(fā)展前景。
2012-03-08 標(biāo)簽:MEMS微機(jī)電系統(tǒng) 3275 0
智能模塊和/或 SiP 集成是關(guān)鍵,將允許大規(guī)模部署連接的設(shè)備。為此,價(jià)值鏈中不同參與者之間的早期合作以及簡化的供應(yīng)鏈非常重要。系統(tǒng)集成商必須開發(fā)并...
通過傳感器實(shí)現(xiàn)嵌入式自主檢測系統(tǒng)的振動監(jiān)控
現(xiàn)在,傳感器和傳感器處理方面的技術(shù)發(fā)展可實(shí)現(xiàn)完全嵌入式自主檢測系統(tǒng)的部署,并且能夠可靠地對設(shè)備缺陷、不平衡、性能變化以及其他異常進(jìn)行檢測和分析,如圖1所示。
采用MEMS傾角傳感器實(shí)現(xiàn)傾角測量系統(tǒng)的軟硬件設(shè)計(jì)
在地質(zhì)石油勘探、設(shè)備安裝、道路橋梁建設(shè)等工程應(yīng)用以及機(jī)器人控制、坦克和艦船火炮平臺控制、飛機(jī)姿態(tài)控制等系統(tǒng)的自動 水平調(diào)節(jié)中,都需要高精度的傾角測量。但...
2020-08-22 標(biāo)簽:傳感器mems測量系統(tǒng) 3247 0
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