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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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基于GPS/MEMS組合芯片實(shí)現(xiàn)高精度定位解決方案
在過去十年中,GPS定位已經(jīng)從主要由專業(yè)人員使用的專用高端技術(shù)轉(zhuǎn)變?yōu)橄M(fèi)者日常使用的一種技術(shù)。這種轉(zhuǎn)變是具有GPS功能的兩代器件在大眾化設(shè)備中普及GPS...
基于MEMS技術(shù)的微型光束操縱器件有望實(shí)現(xiàn)更輕、更低成本的激光雷達(dá)
“機(jī)器人和無人機(jī)是絕對可能的應(yīng)用領(lǐng)域,”Gylfason說,“目前的激光雷達(dá)系統(tǒng)對于自動駕駛汽車而言成本過于高昂,而汽車產(chǎn)業(yè)對成本非常敏感。其他可能的應(yīng)...
國內(nèi)暖通制冷領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者盾安
在生產(chǎn)和應(yīng)用過程中,MEMS壓力傳感器的缺點(diǎn)也表現(xiàn)地較為突出。例如MEMS晶圓芯體生產(chǎn)工藝相對復(fù)雜;在不銹鋼充油和倒裝焊技術(shù)中,中高壓封裝成本較高等。
2017-09-25 標(biāo)簽:mems 3913 0
利用冗余節(jié)點(diǎn)最佳移動路徑算法解決節(jié)點(diǎn)移動的節(jié)能路由問題
無線傳感器網(wǎng)絡(luò)所具有的眾多類型的傳感器,可探測包括地震、電磁、溫度、濕度、噪聲、光強(qiáng)度、壓力、土壤成分、移動物體的大小、速度和方向等周邊環(huán)境中多種多樣的...
基于PZT材料的MEMS微執(zhí)行器的幾種技術(shù)解析
壓電MEMS微執(zhí)行器的設(shè)計(jì)難點(diǎn)包括了大位移與低驅(qū)動電壓之間的制約、驅(qū)動負(fù)載功率與執(zhí)行器薄型化之間的制約、不可避免的工藝誤差帶來的性能退化。針對上述性能提...
帶頻率響應(yīng)補(bǔ)償?shù)腗EMS振動分析儀電路圖
所示電路是一款高線性度、低噪聲、寬帶寬振動檢測解決方案。該方案適用于要求具有寬動態(tài)范圍(±70 g、±250 g 或±500 g)以及平坦頻率響應(yīng)(從直...
MEMS動態(tài)測試系統(tǒng)的組成和關(guān)鍵測量技術(shù)的研究
本文基于自動調(diào)焦顯微視覺的MEMS動態(tài)測試系統(tǒng),通過采集MEMS器件顯微視覺圖像,利用平面亞像素運(yùn)動位移算法和焦平面的定位,實(shí)現(xiàn)對被測MEMS器件平面和...
2019-08-30 標(biāo)簽:mems計(jì)算機(jī)機(jī)器視覺 3865 0
如何使用壓力傳感器解決物聯(lián)網(wǎng)設(shè)計(jì)的精度問題
壓力傳感器廣泛應(yīng)用于物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用,例如無人機(jī)和工業(yè)自動化。但是,設(shè)計(jì)人員始終面臨挑戰(zhàn),必須不斷改進(jìn)設(shè)備的精度、分辨率、抗噪能力和溫度穩(wěn)定性,同時降低成本,...
2019-03-19 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 3864 0
一個完整的傳感器到云傳感器融合系統(tǒng)設(shè)想
先前提到的過程和環(huán)境中的挑戰(zhàn)是傳感器融合問題核心設(shè)計(jì)方法的基礎(chǔ)。相關(guān)的主要傳感模式用于在關(guān)鍵操作模式中提供高性能,同時互補(bǔ)傳感器則掃除每個應(yīng)用階段的關(guān)鍵...
MEMS實(shí)現(xiàn)了具有感知、控制和執(zhí)行能力的增強(qiáng)型微系統(tǒng)
SMART Microsystems公司的Apanius認(rèn)為,基于MEMS的小型化解決方案將繼續(xù)推動市場發(fā)展?!斑@是SMART Microsystems...
高度可靠、精密測量控制的MEMS氣體質(zhì)量流量控制器
AMC1100和AMC2000都可支持空氣、氬氣、二氧化碳、氮?dú)?、氧氣等干燥潔凈無腐蝕性氣體的測量控制,標(biāo)準(zhǔn)量程范圍都為0~100ml/min,在0-5...
MEMS麥克風(fēng)改變設(shè)備聲學(xué)性能的工作原理
想象一下不到普通麥克風(fēng)一半大小并帶有集成音頻信號處理功能,MEMS麥克風(fēng)可以作為單芯片手機(jī)一個集成部分。新型MEMS麥克風(fēng)的全部潛能還有待挖掘,但是第一...
目前,接近傳感器在航空航天、工業(yè)生產(chǎn)、交通運(yùn)輸、消費(fèi)電子等各行各業(yè)的領(lǐng)域中都有廣泛的應(yīng)用, 下面介紹幾種典型的應(yīng)用場景,以便能為你在接近傳感器的應(yīng)用設(shè)計(jì)...
電磁MEMS基本原理-MEMS掃描微鏡和MEMS開關(guān)
電磁驅(qū)動型掃描微鏡是依據(jù)帶電線圈產(chǎn)生的電磁場來驅(qū)動的。電磁微鏡最明 顯的優(yōu)勢是僅在低電壓低電流的驅(qū)動下就可以達(dá)到較大的微鏡角度偏轉(zhuǎn),同時也 具有偏轉(zhuǎn)速度...
自動駕駛高精組合導(dǎo)航設(shè)備導(dǎo)遠(yuǎn)570D拆解
這期帶來自動駕駛高精組合導(dǎo)航設(shè)備拆解,本次拆解分析的產(chǎn)品是導(dǎo)遠(yuǎn)570D。
2023-11-01 標(biāo)簽:memsGNSS導(dǎo)航設(shè)備 3761 0
加速度傳感器是一種感應(yīng)物體加速度的變化,并將其轉(zhuǎn)換成電信號的器件。加速度傳感器和其它傳感器(陀螺儀等)以及相關(guān)算法相融合,可用于感測物體運(yùn)動相關(guān)的情況,...
面向條件監(jiān)測的MEMS加速度計(jì)產(chǎn)品演示
這款最新類型的MEMS加速度計(jì)具有低噪聲、高工作頻率性能,針對條件監(jiān)測可實(shí)現(xiàn)全新的產(chǎn)品設(shè)計(jì)。MEMS加速度計(jì)采用單電源工作,具有穩(wěn)定的靈敏度、抗沖擊、低...
很多通信系統(tǒng)發(fā)展到某種程度都會有小型化的趨勢。一方面小型化可以讓系統(tǒng)更加輕便和有效,另一方面,日益發(fā)展的IC制造技術(shù)可以用更低的成本生產(chǎn)出大批量的小型產(chǎn)品。
2023-07-05 標(biāo)簽:濾波器mems通信系統(tǒng) 3754 0
目前,傳感器在物聯(lián)網(wǎng)發(fā)展中正扮演者越來越重要的角色,目前傳感器產(chǎn)品需求大幅增加,并且重心逐漸轉(zhuǎn)向技術(shù)含量較高的MEMS傳感器領(lǐng)域,MEMS傳感器的精確度...
精準(zhǔn)醫(yī)療的MEMS——微流控技術(shù)
微流控芯片(MicrofluidicChip) ,又稱為芯片實(shí)驗(yàn)室(Lab-on-a-Chip)或生物 芯片。是利用MEMS技術(shù)將一個大型實(shí)驗(yàn)室系統(tǒng)縮微...
2023-06-05 標(biāo)簽:mems微流控精準(zhǔn)醫(yī)療 3732 0
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