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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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基于MEMS的汽車(chē)激光微型投影機(jī)的優(yōu)化設(shè)計(jì)
用于汽車(chē)的現(xiàn)代平視顯示器 (HUD) 使用三重激光二極管微型投影儀解決方案,可實(shí)現(xiàn)無(wú)限聚焦、陽(yáng)光下的可讀性、出色的色彩和小尺寸。汽車(chē)三重半導(dǎo)體激光二極管...
淺析近年值得關(guān)注的新興MEMS和傳感器技術(shù)
今天的大部分重磅MEMS產(chǎn)品,都是作為學(xué)術(shù)研究成果而誕生的。
嵌套環(huán)MEMS陀螺的發(fā)展現(xiàn)狀
波音公司提出的嵌套環(huán)MEMS陀螺如圖2(a)所示,其直徑約8mm,環(huán)與環(huán)之間的間隙較大,可以用來(lái)設(shè)置內(nèi)部電極用于驅(qū)動(dòng)、檢測(cè)或靜電修調(diào)。該陀螺具有較大的等...
傳感器技術(shù)在無(wú)線網(wǎng)絡(luò)化時(shí)代的發(fā)展
現(xiàn)實(shí)世界的信息是通過(guò)傳感器獲得的,與人們的生活息息相關(guān)。傳感器已大舉進(jìn)入工業(yè)自動(dòng)化、汽車(chē)工業(yè)、航天、生物、醫(yī)學(xué)應(yīng)用領(lǐng)域,且在無(wú)線通信、消費(fèi)品領(lǐng)域亦有廣泛...
基于SFP封裝的數(shù)字可調(diào)光衰減器設(shè)計(jì)
可調(diào)光衰減器(VOA)是光纖通信系統(tǒng)中的一種重要的光纖動(dòng)態(tài)器件,主要用于密集波分復(fù)用(DWDM)系統(tǒng)中信道的功率平衡,實(shí)現(xiàn)增益平坦、動(dòng)態(tài)增益平衡及傳輸功...
2014-07-22 標(biāo)簽:MEMSSFP可調(diào)光衰減器 3596 0
基于英飛凌 XENSIV? MEMS高性能麥克風(fēng) IM69D130 語(yǔ)音交互解決方案
談到邊緣AI,落地最成功的產(chǎn)品莫過(guò)于智能音箱——從語(yǔ)音拾取,結(jié)合語(yǔ)義理解,進(jìn)而輸出反饋,如此實(shí)現(xiàn)了完整的語(yǔ)音交互流程。
1、遠(yuǎn)程查看亮度數(shù)據(jù):如家庭家居兒童寫(xiě)字臺(tái)適宜亮度在300lux以上 2、自動(dòng)化聯(lián)動(dòng)燈具開(kāi)關(guān):如學(xué)校教室環(huán)境亮度低于300lux時(shí),自動(dòng)打開(kāi)燈光 ...
使用MEMS加速度計(jì)和自適應(yīng)參考方法助于大幅提高DVR系統(tǒng)性能
現(xiàn)代車(chē)載數(shù)字視頻記錄系統(tǒng) (DVR) 或 OBD 正在使用加速度計(jì)(g 傳感器)來(lái)測(cè)量車(chē)載加速度。這允許DVR在發(fā)生預(yù)定義事件(例如急剎車(chē)或碰撞)時(shí),使...
2023-01-31 標(biāo)簽:CMOS發(fā)動(dòng)機(jī)mems 3566 0
物聯(lián)網(wǎng)時(shí)代,那些當(dāng)紅的傳感器
據(jù)中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院預(yù)測(cè),未來(lái)五年國(guó)內(nèi)傳感器市場(chǎng)年復(fù)合增長(zhǎng)31%。汽車(chē)、物流、礦業(yè)探勘、煤礦安監(jiān)、安防、RFID標(biāo)簽卡領(lǐng)域的傳感器市場(chǎng)增長(zhǎng)較快...
大多數(shù)MOEMS制作技術(shù)是直接由IC工業(yè)及其制造標(biāo)準(zhǔn)演化而來(lái)。因此,在MOEMS中采用體和表面微機(jī)械加工及高產(chǎn)量的微機(jī)械加工(HARM)技術(shù)。但有管芯尺...
慣性導(dǎo)航的制霸,捷聯(lián)式慣導(dǎo)系統(tǒng)的優(yōu)越性分析
捷聯(lián)式管道系統(tǒng)的最大特點(diǎn)是依靠短發(fā)建立起導(dǎo)航坐標(biāo)系統(tǒng),即平臺(tái)坐標(biāo)系以數(shù)學(xué)平臺(tái)形式存在,這樣省略了復(fù)雜的物理實(shí)體平臺(tái),結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、重量輕、成本低、維...
2016-10-21 標(biāo)簽:MEMS慣性導(dǎo)航捷聯(lián)式慣導(dǎo)系統(tǒng) 3523 0
TDK推出的全球第一款MEMS超聲波飛行時(shí)間傳感器的詳細(xì)資料說(shuō)明
基于 MEMS 的微型“硅芯片聲吶”裝置提供了毫米級(jí)精度的距離傳感功能,并具有業(yè)內(nèi)最低的功耗。這種 MEMS 超聲波傳感器可用于距離測(cè)量、位置追蹤、人員...
利用MEMS慣性傳感器實(shí)現(xiàn)頭部沖擊遙測(cè)系統(tǒng)
本演示視頻介紹Simbex Corporation的足球場(chǎng)沖撞分析系統(tǒng)。每個(gè)頭盔內(nèi)置6個(gè)高g值加速度計(jì)、一個(gè)DSP和發(fā)射機(jī)。系統(tǒng)通過(guò)一臺(tái)筆記本電腦以無(wú)線...
i-MN:推動(dòng)MEMS外觀檢測(cè)系統(tǒng)的主要因素是什么?
HA:MEMS包含各種可動(dòng)元件并且需要各種檢測(cè)工藝。對(duì)于不同的檢測(cè)工藝通常需要多個(gè)步驟,而在產(chǎn)線中具有縮減檢測(cè)過(guò)程的需求。ViSCO實(shí)現(xiàn)了這一目標(biāo),提供...
2019-04-27 標(biāo)簽:半導(dǎo)體mems光學(xué)識(shí)別 3459 0
如何為激光雷達(dá)開(kāi)發(fā)MEMS技術(shù)
為了獲得高分辨率數(shù)據(jù),可靠地識(shí)別小目標(biāo),激光必須準(zhǔn)直地?fù)糁心繕?biāo),這是通過(guò)在激光器前面放置一個(gè)透鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)的。
制造MEMS芯片需要什么工藝?對(duì)傳感器有什么影響?這次終于講明白了?。ㄍ扑])
本文整理自公眾號(hào)芯生活SEMI Businessweek中關(guān)于MEMS制造工藝的多篇系列內(nèi)容,全面、專(zhuān)業(yè)地介紹了MEMS芯片制造中的常用工藝情況,推薦!...
基于新型三明治結(jié)構(gòu)的MEMS微波功率傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
本文提出了一種新型的三明治結(jié)構(gòu)MEMS微波功率傳感器結(jié)構(gòu),與傳統(tǒng)傳感器相比,新結(jié)構(gòu)由于采用了垂直傳熱方式而具有較小的熱損耗。在輸入相同功率的情況下,模擬...
MEMS技術(shù)是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來(lái)的,它開(kāi)辟了一個(gè)全新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè),其目標(biāo)是把信息的獲取、處理和執(zhí)行集...
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