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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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簡介: 本文主要介紹了一種應(yīng)用諧振原理進行測量的密度測量方法,詳細的分析了這種密度測量方法的優(yōu)缺點所在 ? 1. 利用諧振進行密度測量的原理 諧振密度傳...
MEMS的關(guān)鍵技術(shù)驅(qū)動因素和技術(shù)障礙
工業(yè)自動化是一個突出的業(yè)務(wù),它正朝著一個新的方向邁進。對品種、定制產(chǎn)品和產(chǎn)品差異化的需求不斷增加,使得制造商很難批量生產(chǎn)零部件。
2020-10-27 標簽:mems工業(yè)自動化MEMS技術(shù) 1925 0
基于MEMS技術(shù)的芯片ADXL202 的應(yīng)用設(shè)計與集成
本文闡述了一種基于MEMS 技術(shù)的芯片ADXL202 的應(yīng)用設(shè)計與集成。介紹了ADXL202 的測試原理和主要參數(shù)設(shè)計原則,然后利用其集成了一種無線加速...
解析MEMS加速度傳感器在車身穩(wěn)定系統(tǒng)中的應(yīng)用
隨著移動互聯(lián)網(wǎng)和物聯(lián)網(wǎng)的快速發(fā)展,MEMS微機電系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)迎來了重大發(fā)展機遇。在致力于防患未然的汽車主動安全領(lǐng)域,ESC(車身穩(wěn)定系統(tǒng))、 ABS(防抱死...
2016-11-18 標簽:傳感器MEMS車身穩(wěn)定系統(tǒng) 1910 0
本文是關(guān)于MEMS微傳感器的工作原理最全面的內(nèi)容,分為兩部分,共計212頁PPT內(nèi)容。 ? 主要講解了MEMS微傳感器的概念、分類,基本敏感原理介紹,M...
基于電容耦合式MEMS開關(guān)的90°分布式MEMS移相器設(shè)計與優(yōu)化
近年來隨著射頻微機械技術(shù)的發(fā)展,MEMS移相器越來越受到人們廣泛關(guān)注,已經(jīng)成為人們主要研究的MEMS器件之一。與傳統(tǒng)的移相器相比,MEMS移相器多采用半...
MEMS技術(shù)是隨著集成電路,尤其是超大規(guī)模集成電路發(fā)展起來的一門新技術(shù),經(jīng)過幾代科學(xué)家的努力,MEMS如今在不同的行業(yè)和不同的領(lǐng)域相繼規(guī)模化生產(chǎn),展現(xiàn)了...
2020-07-21 標簽:memsMEMS技術(shù) 1863 0
通常情況,氣體檢測模塊工作在室溫(最大溫度為60℃)。而Micro-Hybrid氣體檢測模塊的最高工作溫度可達180℃,可以用于高溫、高濕環(huán)境下測量氣體...
運動控制基礎(chǔ) 要建立MEMS陀螺儀中的噪聲行為與其如何影響關(guān)鍵系統(tǒng)行為之間的有用關(guān)系,通常首先要對系統(tǒng)的工作原理有基本的了解。圖1提供了一個運動控...
作為數(shù)據(jù)計算,處理與傳導(dǎo)的核心,傳感器的作用可以說是舉足輕重,而隨著電子系統(tǒng)的發(fā)展日趨集成化,MEMS(微機電系統(tǒng))也開始在各個領(lǐng)域嶄露頭角,除了消費類...
2015-03-23 標簽:汽車電子MEMS物聯(lián)網(wǎng) 1846 0
陀螺儀LSM6DSV16X與AI集成(3)----讀取融合算法輸出的四元數(shù)
LSM6DSV16X 特性涉及到的是一種低功耗的傳感器融合算法(Sensor Fusion Low Power, SFLP). 低功耗傳感器融合(SF...
該壓電MEMS超聲換能器由兩部分組成:Mo/AIN/Mo壓電層和刻蝕有空腔的SOI襯底。其工作原理是當(dāng)電場為交變電場時,壓電層做周期性地拉伸與收縮,從而...
一顆MEMS聲學(xué)傳感器典型的產(chǎn)品構(gòu)造圖詳解
MEMS芯片負責(zé)感知信號,將測量量轉(zhuǎn)化為電阻、電容等信號變化;ASIC芯片負責(zé)將電容、電阻等信號轉(zhuǎn)換為電信號,其中涉及到信號的轉(zhuǎn)換和放大等功能。
激光投影儀將移動的光轉(zhuǎn)換為更高級別的信息,用于實際用途,如標志、圖形和視頻。信息本身可以以矢量圖形激光投影(VGLP)模式或光柵模式呈現(xiàn),而MEMS鏡的...
2024-01-05 標簽:mems微機電系統(tǒng)反射鏡 1819 0
對MEMS工藝技術(shù)的投資,加上設(shè)計創(chuàng)新,極大地提高了MEMS性能,足以使MEMS成為更廣泛的狀態(tài)監(jiān)測應(yīng)用的可行選擇。現(xiàn)在,通過專門的MEMS結(jié)構(gòu)和工藝技...
傳感器行業(yè)的一個特點是,傳感器本身技術(shù)含量高,但單只傳感器的價格一般不高。此特點導(dǎo)致的一個結(jié)果是,盡管傳感器的技術(shù)附加值高,但單純依賴傳感器很難形成可...
2016-01-19 標簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 1803 0
希望專注于算法開發(fā)的開發(fā)人員需要 準確預(yù)測資產(chǎn)故障和停機時間的信息。他們不想要 設(shè)計硬件或?qū)?shù)據(jù)的完整性進行故障排除;他們只是想 使用已知為高保真度的數(shù)...
2022-12-15 標簽:傳感器mems機器學(xué)習(xí) 1793 0
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