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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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實時時鐘 (RTC) 不斷發(fā)展,通過變得更小、更準確來跟上其使用和應(yīng)用的變化。這種演變和適應(yīng)背后的主要驅(qū)動力是一種新的諧振器技術(shù)——微機電系統(tǒng)(MEMS...
所謂,RF MEMS 開關(guān),是一種是小型的微機械開關(guān),功耗低,可以使用傳統(tǒng)的 MEMS 制造技術(shù)生產(chǎn)。它們類似于房間中的電燈開關(guān),其中觸點打開或關(guān)閉以通...
意法半導(dǎo)體在穿戴式設(shè)備領(lǐng)域的傳感器布局
可穿戴裝置的關(guān)鍵技術(shù)有四:傳感技術(shù)、計算技術(shù)、電源技術(shù)和通信技術(shù)。意法半導(dǎo)體公司(STMicroelectronics,ST)在傳感器、嵌入式處理、連接...
2018-05-17 標簽:傳感器mems意法半導(dǎo)體 1588 0
MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展十分迅速,但是人們常常忽視對其的早期測試。乍一看來,MEMS器件和傳統(tǒng)IC器件的制造十分相似,但是,由于MEMS器件具有額外的機械部分(...
2016-11-05 標簽:mems 1587 0
精密MEMS傳感器實現(xiàn)新的導(dǎo)航應(yīng)用
導(dǎo)航通常與汽車、飛機和輪船有關(guān)。然而,在工業(yè)和醫(yī)療領(lǐng)域,精確導(dǎo)航正變得越來越廣泛地應(yīng)用于從工廠機械和手術(shù)機器人到急救人員跟蹤的各種應(yīng)用中。有許多現(xiàn)有的方...
微機電系統(tǒng)與專用集成電路的結(jié)合也在同時走向成熟,這將帶來前所未有的產(chǎn)品。傳感器的微型化推動了遠程醫(yī)療、智能家居、智能城市、先進制造設(shè)施、手持可穿戴設(shè)備等...
2024-01-03 標簽:mems晶體管微機電系統(tǒng) 1572 0
把多個功用不一樣的傳感元件集成在一起,除可一起進行多種參數(shù)的丈量外,還可對這些參數(shù)的丈量成果進行歸納處理和評估,可反映出被測體系的全體狀況。由上還能夠...
2016-01-19 標簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 1563 0
基于MEMS技術(shù)的新一代傳感器與診斷預(yù)測應(yīng)用的先進算法相結(jié)合,擴大了測量各種機器和提高能力的機會,有助于高效監(jiān)控設(shè)備,延長正常運行時間,增強過程質(zhì)量,提升產(chǎn)量。
2019-06-17 標簽:傳感器mems半導(dǎo)體技術(shù) 1563 0
使用 MEMS 加速計快速部署傳感器,實現(xiàn)基于 IIoT 的預(yù)測性維護
作者:Richard A. Quinnell 使用振動傳感器對機器進行狀態(tài)監(jiān)測,這是工業(yè)物聯(lián)網(wǎng) (IIoT)(或工業(yè)4.0)預(yù)測性維護目標的關(guān)鍵要素。這...
驅(qū)動LSM6DS3TR-C實現(xiàn)高效運動檢測與數(shù)據(jù)采集(4)----上報匿名上位機實現(xiàn)可視化
LSM6DS3TR-C是單芯片“3軸陀螺儀 + 3軸加速度計”的慣性 測量單元(IMU), 五種種可選滿量程的陀螺儀(125/250/500/1000/...
2023-11-14 標簽:mems陀螺儀數(shù)據(jù)采集 1561 0
在環(huán)境監(jiān)測、醫(yī)療診斷和工業(yè)產(chǎn)品制造等領(lǐng)域,能夠?qū)Χ喾N分析物進行選擇性檢測的高性能氣體/化學傳感器是近些年研究關(guān)注的熱點。
如何對系統(tǒng)和組件進行可靠的封裝是微系統(tǒng)工業(yè)面臨的主要挑戰(zhàn),因為微系統(tǒng)的封裝技術(shù)遠沒有微電子封裝技術(shù)成熟。微系統(tǒng)封裝在廣義上講有三個主要的任務(wù):裝配、封裝...
MEMS加速度計作為現(xiàn)代狀態(tài)監(jiān)測(CM)系統(tǒng)中的振動傳感器剛剛成熟。最近在測量范圍、帶寬和分辨率(噪聲)方面的擴展正在實現(xiàn)新的概念和系統(tǒng)架構(gòu),因為CM開...
復(fù)旦大學在新型MEMS基ppb級硫化氫氣體傳感器研究中取得進展
隨著新材料的研究不斷深入,MOF材料在氣體傳感領(lǐng)域展現(xiàn)了極大的應(yīng)用前景。MOF多孔納米材料由金屬離子和有機配體自組裝而成,具有孔隙率高、比表面積大、孔道...
如何構(gòu)建基于MEMS的解決方案用于狀態(tài)監(jiān)測中的振動檢測
本文展示了一種基于ADXL1002 MEMS加速度計的高線性、低噪聲、寬帶振動測量解決方案。該解決方案可用于軸承分析或發(fā)動機監(jiān)控,以及需要高達 ±50 ...
任何晶圓的刻蝕都涉及邊緣不連續(xù)性,而且隨著晶圓尺寸提升至300mm,這些問題對良率的影響會更為顯著。
MEMS存儲設(shè)備的請求調(diào)度算法以及數(shù)據(jù)布局策略詳細介紹
MEMS也即微機電系統(tǒng),電子專業(yè)的朋友對MEMS都具備一定認識。在往期文章中,小編對MEMS交換、MEMS封裝等有所介紹。為增進大家對MEMS的了解程度...
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