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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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基于GTI的1x3波長復(fù)用/解復(fù)用器的系統(tǒng)級性能分析
波分復(fù)用器和解復(fù)用器幾乎是所有WDM系統(tǒng)和網(wǎng)絡(luò)的主要組成部分。從傳統(tǒng)意義上講,多路復(fù)用/解復(fù)用器(de/mux)都屬于靜態(tài)器件,隨著溫度的變化波長范圍會...
意法半導(dǎo)體的傳感器產(chǎn)品包括MEMS(微機(jī)電 傳感器,包括加速度計(jì)、陀螺儀、數(shù)字羅盤、慣性模塊、壓力傳感器和麥克風(fēng))、溫度傳感器和觸摸傳感器。
2013-02-20 標(biāo)簽:傳感器MEMS意法半導(dǎo)體 1338 0
可穿戴設(shè)備、狀態(tài)監(jiān)測和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用中的關(guān)鍵規(guī)格和功能
為您的應(yīng)用選擇最合適的加速度計(jì)可能很困難,因?yàn)椴煌圃焐痰臄?shù)據(jù)手冊可能有很大差異,導(dǎo)致對最關(guān)鍵規(guī)格的混淆。在本文的第 2 部分中,我們將重點(diǎn)介紹可穿戴設(shè)...
2023-01-03 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)電池 1331 0
單軸MEMS偏航陀螺儀結(jié)構(gòu)應(yīng)用
陀螺儀能夠測量沿一個(gè)軸或幾個(gè)軸運(yùn)動的角速度,而MEMS加速計(jì)則能測量線性加速度,因此這兩者是一對理想的互補(bǔ)技術(shù)。事實(shí)上,如果組合使用加速計(jì)和陀螺儀這...
適用于MEMS傳感器的先進(jìn)ML:提高精度、性能和功耗
*附件:適用于MEMS傳感器的先進(jìn)ML:提高精度、性能和功耗.pdf 當(dāng)前一代傳感器現(xiàn)在可以通過在邊緣利用機(jī)器學(xué)習(xí)(ML)技術(shù)來收集、分析和發(fā)送重要數(shù)據(jù)...
利用MEMS陀螺儀實(shí)現(xiàn)低噪聲反饋控制設(shè)計(jì)
MEMS陀螺儀提供了測量旋轉(zhuǎn)角速度的一種簡單方法,其封裝很容易連接印刷電路板,因此被廣泛用于許多不同類型的運(yùn)動控制系統(tǒng)中作為反饋檢測元件。
來自慣性傳感器的信息可以被處理和 集成以導(dǎo)出許多不同類型的運(yùn)動、位置、 和方向輸出。每種類型的運(yùn)動都需要廣泛的 必須具有的應(yīng)用相關(guān)復(fù)雜性范圍 理解。一個(gè)...
mems (微機(jī)電系統(tǒng))傳感器;有三項(xiàng)MEMS技術(shù)產(chǎn)品:紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中,大約采用25至40只MEMS傳感器;
從驅(qū)動方式和機(jī)械結(jié)構(gòu)的角度介紹了不同的RF MEMS開關(guān)類型,分析了各類MEMS開關(guān)的性能及優(yōu)缺點(diǎn),分析了MEMS開關(guān)在制作和發(fā)展中面臨的犧牲層技術(shù)、封...
替代MEMS?未來20年,最具顛覆性的4大傳感器技術(shù),中國已提前布局!
在過去的20年,傳感器廠商不斷研究創(chuàng)新的測量原理和敏感材料,這些成果能讓我們用到高集成、低成本的傳感器,其中,最成功也是最具顛覆性的,無疑是MEMS技術(shù)...
MEMS技術(shù)亮點(diǎn) 上海交大國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室詳解MEMS中的動力學(xué)問題研究
這個(gè)一份來自上海交通大學(xué)振動、沖擊、噪聲國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,是一份硬核技術(shù)資料。 主要講解MEMS工藝過程中的動力學(xué)問題,包括了MEMS基本概念、模型、歷史...
MEMS振蕩器的特點(diǎn)優(yōu)勢及為應(yīng)用提供計(jì)時(shí)方案
MEMS振蕩器、諧振器和時(shí)鐘產(chǎn)品是計(jì)時(shí)市場中新的、迅速成長的一部分。這些產(chǎn)品正在取代傳統(tǒng)的石英和時(shí)鐘芯片,它在單芯片上結(jié)合了上述兩者的功能。不但如此,同...
意法半導(dǎo)體為研發(fā)組織提供意法半導(dǎo)體THELMA MEMS制程
CMP是為集成電路(IC)和微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)設(shè)計(jì)公司提供芯片設(shè)計(jì)/開發(fā)和小批量制造服務(wù)的中介機(jī)構(gòu),承接大專院校、研究實(shí)驗(yàn)室和企業(yè)委托的電路制造服務(wù)。
2018-03-12 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體cmp 1274 0
雖然消費(fèi)類應(yīng)用刺激了對這些傳感器的需求,但它們在其他市場的使用也在增加。隨著數(shù)字化或物聯(lián)網(wǎng)的出現(xiàn),傳感器正在成為工業(yè)基礎(chǔ)設(shè)施應(yīng)用的核心。在這些情況下,M...
運(yùn)動對生命既是不可或缺的,也是必不可少的。我們這些移動的人似乎處于永動機(jī)中,對于那些不動的人來說,可能需要某種形式的機(jī)械輔助工具來協(xié)助提供運(yùn)動。不難想象...
利用標(biāo)準(zhǔn)代工平臺構(gòu)建硅光子MEMS微環(huán)諧振濾波器
通常,利用光子集成電路(PIC)執(zhí)行此操作。光子集成電路將光限制并引導(dǎo)到微尺度組件中,例如陣列波導(dǎo)光柵或集成環(huán)形諧振器等,這些組件在多個(gè)波長通道中操縱信息。
如何利用MEMS加速計(jì)進(jìn)一步提高工業(yè)應(yīng)用精度?
隨著高集成度和更精密的加速計(jì)產(chǎn)品的出現(xiàn),系統(tǒng)設(shè)計(jì)師需要了解零件是如何校準(zhǔn)的,因?yàn)檫@決定著他們是購買這些校準(zhǔn)方案還是開發(fā)自己的校準(zhǔn)程序。本文將討論雙軸加速...
2018-04-11 標(biāo)簽:mems工業(yè)應(yīng)用 1262 0
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