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微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術(shù)制作的高科技電子機械器件。
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Blast Motion的高精度運動傳感器產(chǎn)品Blast Baseball介紹
Blast Motion的高精度運動傳感器重量不足1盎司,且防塵、防震、防水,可貼在任何一種棒球桿的末端。在比賽過程中,Bluetooth? 智能無線通...
2019-09-11 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體運動傳感器 1785 0
膜厚測試在MEMS制造工藝中至關(guān)重要,它不僅關(guān)乎工藝質(zhì)量,更直接影響著最終成品的性能。為了確保每一片MEMS器件的卓越品質(zhì),精確測量薄膜厚度是不可或缺的一環(huán)。
MEMS的相關(guān)術(shù)語及MEMS芯片制造過程
ALD是Atomic Layer Deposition(原子層沉積)的縮寫,是通過重復(fù)進行材料供應(yīng)(前體)和排氣,利用與基板之間的表面反應(yīng),分步逐層沉積...
? 姿態(tài)估計的作用? 姿態(tài)估計是飛控算法的一個基礎(chǔ)部分,而且十分重要。為了完成飛行器平穩(wěn)的姿態(tài)控制,首先需要精準(zhǔn)的姿態(tài)數(shù)據(jù)作為 控制器的反饋 。 ? 飛...
驅(qū)動LSM6DS3TR-C實現(xiàn)高效運動檢測與數(shù)據(jù)采集(2)----配置濾波器
在LSM6DS3TR-C中,加速度計和陀螺儀可以獨立地開啟/關(guān)閉,并且可以擁有不同的ODR和功耗模式。 LSM6DS3TR-C有三種可用的操作模式: ...
陀螺儀LSM6DSOW開發(fā)(6)----獲取磁力計數(shù)據(jù)
本文將介紹如何使用 LIS2MDL 傳感器來讀取數(shù)據(jù)。主要步驟包括初始化傳感器接口、驗證設(shè)備ID、配置傳感器的數(shù)據(jù)輸出率和濾波器,以及通過輪詢方式持續(xù)讀...
MEMS麥克風(fēng)重塑音頻領(lǐng)域,人工智能(AI)將引領(lǐng)音頻市場的發(fā)展和轉(zhuǎn)型
多年前,MEMS麥克風(fēng)的興起重塑了音頻領(lǐng)域。法國著名市場研究公司Yole堅信,未來幾年,人工智能(AI)將引領(lǐng)音頻市場的發(fā)展和轉(zhuǎn)型。
2020-03-15 標(biāo)簽:mems人工智能MEMS麥克風(fēng) 1735 0
常見的交流感應(yīng)電機故障及常見的交流感應(yīng)電機故障
為了最大限度地減少生產(chǎn)停機時間,必須了解電機內(nèi)的潛在故障,以便準(zhǔn)備好處理它們。雖然專為與壓電振動傳感器相媲美而設(shè)計的單軸模擬輸出MEMS傳感器最近在診斷...
液位測量系統(tǒng)使用補償硅壓力傳感器和Δ-Σ ADC-第1部分
該參考設(shè)計是液位測量和控制系列中的首個。在第1部分中,描述了現(xiàn)代壓力傳感器之間的差異,并強調(diào)了微機電(MEMS)溫度補償硅壓力傳感器的最新進展的好處。這...
Evonetix提出的專有方法是開發(fā)一個將物理學(xué)和生物學(xué)相結(jié)合的平臺,在芯片表面成千上萬個獨立控制的微型反應(yīng)位點調(diào)節(jié)DNA的合成。
其中,m表示干涉級次,L2表示真空腔腔長,n2表示真空腔折射率,L1表示硅腔腔長,n2表示硅腔折射率。
加速度計能夠測量加速度、傾斜度、振動或沖擊,因此,可用于從可穿戴健身設(shè)備到工業(yè)平臺穩(wěn)定系統(tǒng)的各種應(yīng)用。有數(shù)百種零件可供選擇,成本和性能都有很大的跨度。本...
據(jù)麥姆斯咨詢報道,近期,來自南京理工大學(xué)的研究人員于《新型工業(yè)化》期刊發(fā)表綜述文章,總結(jié)了體微加工技術(shù)和表面微加工常用的MEMS加工工藝的原理、加工方法...
面向人體運動感知的微應(yīng)變傳感-微電容集成MEMS
導(dǎo)電聚合物因其高離子電導(dǎo)率和優(yōu)異的機械柔性等獨特優(yōu)勢,被認(rèn)為是一種極具潛力的智能材料。
陀螺儀LSM6DSV16X與AI集成(4)----Qvar觸摸電容配置
Qvar,全稱為電荷變化檢測(Qvar stands for "Quasi-static VARiation"),是一種用于檢測電荷...
我們曾在之前發(fā)布的文章《解讀MEMS麥克風(fēng)技術(shù)與設(shè)計》中指出, MEMS麥克風(fēng)的需求是由客戶所要求的音頻功能驅(qū)動的,如立體聲、語音識別、聲音指向性、噪音...
如何為無線狀態(tài)監(jiān)控系統(tǒng)選擇最佳MEMS傳感器
有數(shù)以百萬計的電動機在連續(xù)運行,消耗全球約45%的電力。1其中大多數(shù)關(guān)鍵電機可能由有線CbM系統(tǒng)監(jiān)控。根據(jù)一項研究,82% 的受訪公司經(jīng)歷過計劃外維護,...
氣壓計LPS25HB開發(fā)(1)----輪詢獲取氣壓計數(shù)據(jù)
本文將介紹如何使用 LPS25HB 傳感器來讀取數(shù)據(jù)。主要步驟包括初始化傳感器接口、驗證設(shè)備ID、配置傳感器的數(shù)據(jù)輸出率和濾波器,以及通過輪詢方式持續(xù)讀...
2024-05-17 標(biāo)簽:mems氣壓計stm32cubemx 1687 0
北京大學(xué)在壓電MEMS領(lǐng)域取得重要進展:讓一塊壓電陶瓷實現(xiàn)了兩個馬達的驅(qū)動功能!
近日,北京大學(xué)董蜀湘教授課題組在壓電MEMS領(lǐng)域獨辟蹊徑:發(fā)明了一種壓電馬達,只需一個壓電陶瓷,就可產(chǎn)生兩個對稱驅(qū)動和實現(xiàn)兩個對稱運動輸出功能。而傳統(tǒng)上...
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