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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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然后,Petersen開始構(gòu)建自己的第一個(gè)MEMS器件。通過在顯微鏡下觀察一些噴墨打印機(jī)的噴頭,他發(fā)現(xiàn),“當(dāng)有缺陷時(shí),可以看到噴頭中留有的一些懸置的、非...
國內(nèi)外傳感器發(fā)展對比 國內(nèi)傳感器的挑戰(zhàn)與機(jī)遇
在物聯(lián)網(wǎng)的高速推動(dòng)下,傳感器的使用量還在不斷地提高,可以預(yù)見傳感器技術(shù)將迎來長足的發(fā)展。隨著傳感器與MEMS結(jié)合技術(shù)的推出,傳感器領(lǐng)域成為全球的焦點(diǎn)。根...
2017-12-19 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 9380 0
嵌套環(huán)MEMS陀螺的結(jié)構(gòu)和工作原理
本文主要圍繞嵌套環(huán)MEMS陀螺的關(guān)鍵技術(shù)展開調(diào)研,分析討論了國內(nèi)外主要研究機(jī)構(gòu)在嵌套環(huán)MEMS陀螺關(guān)鍵技術(shù)上的研究思路和進(jìn)展,為后續(xù)嵌套環(huán)MEMS陀螺的...
激光隱形切割作為激光切割晶圓的一種方案,很好的避免了砂輪劃片存在的問題。如圖1所示,激光隱形切割是通過將脈沖激光的單個(gè)脈沖通過光學(xué)整形
路演回顧|第七屆中國硬件創(chuàng)新創(chuàng)客大賽華北區(qū)決賽路演活動(dòng)成功舉辦
10月21日下午,第七屆中國硬件創(chuàng)新創(chuàng)客大賽華北區(qū)決賽路演活動(dòng)成功舉辦。受疫情影響,本次華北區(qū)決賽路演采取了線上直播的形式。活動(dòng)由深圳華秋電子有限公司(...
2021-11-01 標(biāo)簽:mems移動(dòng)機(jī)器人智能硬件 9317 0
智騰微電子自主研發(fā)SiA200系列MEMS加速度計(jì)
SiA200系列是青島智騰微電子自主研發(fā)的MEMS加速度計(jì),SiA200系列是一種的電容體的MEMS加速度計(jì),專為慣性應(yīng)用設(shè)計(jì)。
凱勒與壓阻技術(shù)的發(fā)展有密切關(guān)系。凱勒先生開發(fā)了第一個(gè)壓阻式壓力傳感器后不久,于1975年創(chuàng)辦了凱勒公司,現(xiàn)已成長為提供壓力測量解決方案的全球領(lǐng)導(dǎo)者。公司...
石英MEMS傳感器工作原理、敏感芯片結(jié)構(gòu)及加工工藝
石英MEMS傳感器主要應(yīng)用于振動(dòng)慣性器件,是通過振動(dòng)原理測量運(yùn)動(dòng)物體的各種運(yùn)動(dòng)參數(shù)(包括角速度、角度、線加速度等)的慣性器件。石英MEMS振動(dòng)慣性器件主...
如今,壓電和MEMS技術(shù)的融合發(fā)展,正在為全球MEMS產(chǎn)業(yè)帶來一場革命。壓電MEMS技術(shù)越來越多地應(yīng)用于射頻(RF)濾波器、超聲波換能器、慣性傳感器、M...
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,2017年對MEMS和傳感器產(chǎn)業(yè)來說是個(gè)好年景,且這種增長趨勢會(huì)持續(xù)下去。Yole預(yù)測固態(tài)傳感器和執(zhí)行器市場將實(shí)現(xiàn)強(qiáng)勁增長,到2023...
MEMS傳感器是物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、5G等新一代信息技術(shù)的感知基礎(chǔ)和數(shù)據(jù)來源,已成為推動(dòng)經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的關(guān)鍵基礎(chǔ)與重要引擎。
2020-07-22 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)5G 9143 0
MEMS開關(guān):四大突破技術(shù)實(shí)現(xiàn)傳統(tǒng)開關(guān)的革命
“金手指”采用靜電動(dòng)作方式,在懸臂梁下方施加高壓直流電壓,以控制開關(guān)導(dǎo)通。當(dāng)導(dǎo)通時(shí),靜電吸引力將懸臂拉下來,全部5個(gè)觸點(diǎn)都降下來,每個(gè)觸點(diǎn)的導(dǎo)通電阻均為...
石英晶振與MEMS技術(shù)的結(jié)合成為必然趨勢
微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)利用IC加工技術(shù)實(shí)現(xiàn)微納米尺度加工,在加工精度、加工手段、EDA(計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì))等方面具有先天優(yōu)勢,因此石英晶體技術(shù)與M...
核心行業(yè)機(jī)構(gòu)發(fā)布《中國傳感器(技術(shù)、產(chǎn)業(yè))發(fā)展藍(lán)皮書》正文介紹
第十六全國敏感元件與傳感器學(xué)術(shù)會(huì)議(STC2020)于9月19日在沈陽成功召開。會(huì)上,中國儀器儀表行業(yè)協(xié)會(huì)傳感器分會(huì)、中國儀器儀表學(xué)會(huì)傳感器分會(huì)、中國儀...
NextInput完成B輪融資,推出MEMS力度感測解決方案
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,MEMS力度感測解決方案全球領(lǐng)導(dǎo)者NextInput近日宣布,公司已經(jīng)成功實(shí)現(xiàn)了力度傳感器性能新突破,帶來了世界上最好的固態(tài)按鍵解決方案。
MEMS的制造主要采用Si材料,它與IC的不同在于,IC是電信號(hào)的傳輸、轉(zhuǎn)換及處理,而MEMS是電信號(hào)和其他形式能量間的轉(zhuǎn)換(以機(jī)械能為典型),所以在M...
英飛凌高信噪比MEMS麥克風(fēng)助力XMOS推出的亞馬遜AVS遠(yuǎn)場開發(fā)套件實(shí)現(xiàn)強(qiáng)大功能
2017年10月12日,XMOS推出適用于遠(yuǎn)場應(yīng)用、面向亞馬遜Alexa語音服務(wù)的VocalFusion 4麥克風(fēng)開發(fā)套件。該套件集成英飛凌的高信噪比麥...
國內(nèi)MEMS氣體傳感器廠商合肥微納傳感技術(shù)完成數(shù)千萬元A輪的融資
合肥微納成立于2015年,專注于MEMS傳感器及模塊的研發(fā)與量產(chǎn),公司主要產(chǎn)品包括MEMS氣體傳感器、MEMS氣體流量傳感器、MEMS紅外溫度傳感器及模...
意法半導(dǎo)體MEMS壓電絕對氣壓傳感器LPS22HH
意法半導(dǎo)體LPS22HH MEMS壓電絕對氣壓傳感器的精確度和穩(wěn)定性俱佳,設(shè)備制造商在焊接后無需執(zhí)行單點(diǎn)校準(zhǔn)(OPC)工序,從而提高產(chǎn)量和效率。
2018-11-28 標(biāo)簽:傳感器MEMS意法半導(dǎo)體 8819 0
基于MEMS微振鏡的固態(tài)激光雷達(dá)掃描模組、3D深度相機(jī)的簡單分析介紹
近期接觸到西安知微傳感技術(shù)有限公司,碰巧在公司樓上,于是約了時(shí)間過去拜訪,公司面積不大,使用微納點(diǎn)石創(chuàng)新空間的兩小間辦公室,不過據(jù)了解由于公司發(fā)展需要更...
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