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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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十年之內(nèi) 激光雷達(dá)技術(shù)誰將更勝一籌
電子發(fā)燒友網(wǎng)報道(文/周凱揚(yáng))隨著L2級別及以上的量產(chǎn)車型越來越多,激光雷達(dá)以不及掩耳之勢席卷了汽車市場。就如同手機(jī)內(nèi)的SoC與傳感器一樣,激光雷達(dá)也成...
該壓力傳感器最終實(shí)現(xiàn)了噴墨噴嘴,并促使數(shù)字光處理(DLP) MEMS的出現(xiàn),很快地也有了第一家廠商使用來自ADI的加速度計觸發(fā)安全氣囊,這比傳統(tǒng)的管內(nèi)球...
MEMS產(chǎn)業(yè)2020年約708億 我國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展五大特點(diǎn)分析
如今, MEMS器件的應(yīng)用范圍越來越廣了,不論是汽車,生物醫(yī)藥,消費(fèi)電子,工藝,國防,還是光學(xué)等領(lǐng)域,我們看到了越來越多的MEMS器件. 消費(fèi)電子、汽車...
就和人的兩個眼睛一樣,各種兩個攝像頭的手機(jī)大都會用這種方法來獲得深度信息,從而得到三維圖像。但深度受到兩個攝像頭之間距離的限制。
AEM收購Afore,通過此次并購,AEM進(jìn)一步拓展至完整的MEMS測試解決方案
AEM收購芬蘭MEMS測試解決方案領(lǐng)先供應(yīng)商Afore。通過此次并購,AEM的全球解決方案供應(yīng)能力,將從邏輯IC測試機(jī)和RF(射頻)測量測試,進(jìn)一步拓展...
2018-02-05 標(biāo)簽:icmems物聯(lián)網(wǎng) 7447 0
國內(nèi)外熱電堆紅外傳感器領(lǐng)域一直被一些國外老牌廠商壟斷,無論是技術(shù)研發(fā)儲備、器件本身性能,還是制造工藝積累,國產(chǎn)熱電堆紅外傳感器與國外產(chǎn)品還存在著一定的差距。
MEMS光開關(guān)的工作原理是什么,它的應(yīng)用有哪些
什么是光開關(guān)? 光開關(guān)是在一定范圍內(nèi)將光信號從一個光通道轉(zhuǎn)換成另一個光通道的器件,具有一個或多個可選擇的傳輸窗口,是實(shí)現(xiàn)光交叉連接、 光分插復(fù)用、網(wǎng)絡(luò)監(jiān)...
MEMS是一種制造技術(shù),諸如杠桿、齒輪、活塞、發(fā)動機(jī)甚至蒸汽機(jī)都是由MEMS制造的。相比于芯片制造業(yè)越來越被普通人熟知,而與芯片采用相同工藝的MEMS技...
在智能化電子產(chǎn)品不斷涌現(xiàn),物聯(lián)網(wǎng)智能終端與整機(jī)產(chǎn)品制造市場穩(wěn)定發(fā)展的帶動下,對傳感器要求更小型化、智能化、低功耗、高集成度、可大批量產(chǎn)及低成本,MEMS...
物聯(lián)網(wǎng)終端的四個系統(tǒng)單元
面向物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的MEMS傳感器技術(shù) 2018-03-08 20:58:47來源:微迷評論:點(diǎn)擊: 傳感器和執(zhí)行器是物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)的重要組成部分。智能傳感器構(gòu)...
2018-04-18 標(biāo)簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 7325 0
2019年MEMS激光雷達(dá)的發(fā)展將會是什么樣的
MEMS微振鏡也稱為MEMS掃描鏡、MEMS微鏡,本文統(tǒng)一采用MEMS微振鏡表達(dá)。按原理區(qū)分,主要包括四種:靜電驅(qū)動、電磁驅(qū)動、電熱驅(qū)動、壓電驅(qū)動。其中...
TDK的MEMS超聲波ToF傳感器解決方案與光學(xué)ToF傳感器相比具有很多優(yōu)勢
TDK 公司(TSE:6762)宣布現(xiàn)在可以選擇擴(kuò)大了感應(yīng)范圍的基于Chirp CH-201 MEMS的超聲波飛行時間(ToF)傳感器的原始設(shè)備制造商(...
未來,傳感器將圍繞工藝技術(shù)和應(yīng)用兩大方向進(jìn)行突破:一是敏感機(jī)理創(chuàng)新與突破,通過提高材料、工藝、微型化、產(chǎn)業(yè)化等基礎(chǔ)水平實(shí)現(xiàn);二是智能化,功能集成化、模塊...
傳感器的四大應(yīng)用領(lǐng)域盤點(diǎn)
今年7月,由清華大學(xué)、淄博高新區(qū)MEMS研究院和國高(淄博)微系統(tǒng)科技有限公司共同完成的國內(nèi)首套“硅基MEMS中試代工平臺”達(dá)到國際先進(jìn)水平,表明新型傳...
微機(jī)電系統(tǒng)的三種材料和加工技術(shù)
微機(jī)電設(shè)備的尺寸通常在20微米到一毫米之間,它們內(nèi)部通常包含一個微處理器和若干獲取外界信息的微型傳感器。
2020-03-07 標(biāo)簽:傳感器mems微機(jī)電系統(tǒng) 7170 0
LTCC技術(shù)是上世紀(jì)80年代中期出現(xiàn)的一種新型多層基板工藝技術(shù),采用了獨(dú)特的材料體系,故其燒結(jié)溫度低,可與金屬導(dǎo)體共燒,從而提高了電子器件性能。上世紀(jì)9...
兼具M(jìn)EMS和光子傳感器優(yōu)勢 應(yīng)對苛刻應(yīng)用的微光機(jī)械(MOMS)技術(shù)
2017年底,歐洲微電子研究中心(imec)推出了基于MOMS(微型光機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)的壓力傳感器。本質(zhì)上來說它是一種將膜片(微米級)的機(jī)械運(yùn)動轉(zhuǎn)換為光學(xué)...
戰(zhàn)術(shù)導(dǎo)彈對MEMS慣性傳感器中的陀螺儀有哪四個要求?
作為MEMS慣性傳感器的一種,MEMS陀螺儀具有體積小、質(zhì)量輕、啟動快、可靠性高、價格低、易于大批量生產(chǎn)、能承受惡劣環(huán)境條件等突出優(yōu)勢,可廣泛應(yīng)用于防空...
意法半導(dǎo)體推出超低功耗和高分辨率可互換的IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計
2018年11月12日 - 意法半導(dǎo)體推出IIS2DLPC 3軸MEMS加速度計,可以在超低功耗和高分辨率之間動態(tài)改變工作模式,在有限的功耗預(yù)算內(nèi)實(shí)現(xiàn)高...
2018-11-13 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體加速度計 7119 0
MEMS是多學(xué)科交叉的復(fù)雜系統(tǒng),整個產(chǎn)業(yè)鏈涉及設(shè)計、制造、封裝測試、軟件及應(yīng)用方案環(huán)節(jié)。
2020-07-14 標(biāo)簽:memsMEMS產(chǎn)業(yè) 7105 0
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