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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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MEMS全稱Micro Electromechanical System(微機(jī)電系統(tǒng)),是一種通常在硅晶圓上以IC工藝制備的微機(jī)電系統(tǒng),微機(jī)械結(jié)構(gòu)的制備...
CES 2018:速騰聚創(chuàng)再次亮出兩項(xiàng)激光雷達(dá)領(lǐng)域突破性技術(shù)
速騰聚創(chuàng)亮出兩項(xiàng)全球領(lǐng)先的激光雷達(dá)領(lǐng)域突破性技術(shù):MEMS激光雷達(dá)和攝像頭的底層融合技術(shù)和基于高精地圖的激光雷達(dá)整體感知系統(tǒng)。
基于ADXL1002MEMS加速度計(jì)的高線性、低噪聲、寬帶振動測量解決方案
本文介紹一種基于ADXL1002MEMS加速度計(jì)的高線性、低噪聲、寬帶振動測量解決方案。這種解決方案可用于實(shí)施軸承分析或發(fā)動機(jī)監(jiān)測,且適用于所有需要動態(tài)...
2020-11-12 標(biāo)簽:寄存器mems發(fā)電機(jī) 6705 0
激光雷達(dá)技術(shù)路線逐漸清晰,專家深度剖析技術(shù)難點(diǎn)與市場前景
2020年成為激光雷達(dá)企業(yè)的上市元年。2020年,五家國外激光雷達(dá)企業(yè)(Velodyne、Luminar、Innoviz、Aeva和Ouster)紛紛宣...
中芯國際告訴DIGITIMES,隨著智能化社會的到來,智能化設(shè)備中應(yīng)用廣泛的微機(jī)電和功率器件市場需求激增,目前市場處于供不應(yīng)求的狀態(tài)。中芯國際看好,未來...
加速度計(jì)內(nèi)嵌壓力傳感器的單硅片復(fù)合傳感器
本發(fā)明提供了一種加速度計(jì)內(nèi)嵌壓力傳感器的單硅片復(fù)合傳感器結(jié)構(gòu)及方法,以解決傳統(tǒng)復(fù)合傳感器芯片結(jié)構(gòu)尺寸大、成本高、制作工藝復(fù)雜等問題。實(shí)現(xiàn)了單片復(fù)合傳感器...
IHS MEMS及傳感器業(yè)務(wù)總監(jiān)Jérémie Bouchaud指出,在今后5到10年內(nèi),智能手機(jī)以及平板電腦仍然是MEMS主要應(yīng)用領(lǐng)域。今后MEMS的...
深迪聯(lián)手格芯大規(guī)模量產(chǎn)6軸IMU芯片 填補(bǔ)國內(nèi)市場空白
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,深迪半導(dǎo)體6軸IMU芯片SH200Q及支持光學(xué)防抖(OIS)功能的SH200L,于2017年10月正式進(jìn)入量產(chǎn)。
展望MEMS和傳感器技術(shù)在汽車行業(yè)中的未來發(fā)展動態(tài)
恩智浦的Safe Assure技術(shù)所支持的功能安全著眼于:可預(yù)測、有規(guī)律的非目的性危害;目前在用的標(biāo)準(zhǔn)被動和主動安全系統(tǒng),并且在未來可實(shí)現(xiàn)預(yù)測安全功能;...
2018-05-07 標(biāo)簽:傳感器技術(shù)MEMS自動駕駛 6537 0
MEMS器件的封裝形式是把基于MEMS的系統(tǒng)方案推向市場的關(guān)鍵因素。研究發(fā)現(xiàn),當(dāng)今基于MEMS的典型產(chǎn)品中,封裝成本幾乎占去了所有物料和組裝成本的20%...
隨著高端汽車與智能汽車的普及,以及無人駕駛技術(shù)的推進(jìn),超聲波傳感器、圖像傳感器、激光雷達(dá)傳感器、微波傳感器、紅外傳感器等也都被采用。汽車傳感器已經(jīng)成為M...
MEMS,微機(jī)電系統(tǒng),是1959年12月由理查德·費(fèi)曼最早提出的概念,是將微觀模擬機(jī)械元件機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、...
蘇州鉭氪電子推出新款MEMS氫氣傳感器 可實(shí)現(xiàn)全量程的氫氣濃度檢測
在談到氫氣傳感器的前景時,蘇州鉭氪電子CEO沈方平說道:“在內(nèi)燃機(jī)時代,氧氣傳感器作為汽車的一個關(guān)鍵傳感器,一直被國外壟斷。在氫能源時代,氫氣傳感器作為...
革命性產(chǎn)品終落地:低功耗、小尺寸的MEMS揚(yáng)聲器進(jìn)入市場
電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/李誠)隨著主動降噪、空間音頻、360度環(huán)繞立體聲的普及,以及芯片成本的不斷下探,徹底的引爆了TWS耳機(jī)市場,市場滲透率得到了顯著的...
全球已封裝MEMS麥克風(fēng)供應(yīng)商營收排行榜,樓氏稱霸
市場研究機(jī)構(gòu) IHS 的最新報(bào)告指出,在一個圍繞著蘋果(Apple)需求的復(fù)雜供應(yīng)鏈中,全球微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)麥克風(fēng)晶片市場變成由兩家龍頭供應(yīng)商─...
2014-06-24 標(biāo)簽:MEMSMEMS麥克風(fēng)樓氏 6419 0
所謂開源飛控就是建立在開源思想基礎(chǔ)上的飛行自主控制器項(xiàng)目(Open Source AutoPilot),同時包含開源軟件和開源硬件,而軟件則包含飛控硬件...
廈大取得MEMS與微能源技術(shù)研究與開發(fā)的新進(jìn)展
隨著技術(shù)的不斷發(fā)展,微加速度計(jì)向著航天航空、工業(yè)控制檢測等領(lǐng)域發(fā)展,這要求微加速度計(jì)不僅要有高靈敏度,而且要有較寬的動態(tài)工作范圍。MEMS壓電微加速度計(jì)...
功率半導(dǎo)體器件和MEMS傳感器將越來越多地用于智能手機(jī)和汽車等各種產(chǎn)品。越來越多的信息將以更低的功耗進(jìn)行處理,并且有望通過傳感器網(wǎng)絡(luò)實(shí)現(xiàn)安全,可靠和智能的社會。
6英寸MEMS半導(dǎo)體傳感器芯片生產(chǎn)線正式投入運(yùn)營
據(jù)麥姆斯咨詢了解,廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導(dǎo)體傳感器芯片生產(chǎn)線正式投入運(yùn)營,成功量產(chǎn)出溫濕度、流量、氣體、差壓、風(fēng)速等傳感器芯片,并為部分珠...
傳感器技術(shù)已日趨成熟,對于傳感器技術(shù),大家可能有所了解。為增進(jìn)大家對傳感器技術(shù)的認(rèn)識,本文將對傳感器技術(shù)的發(fā)展歷程以及指紋傳感器技術(shù)予以介紹。如果你對本...
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