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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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滿足無(wú)人機(jī)應(yīng)用的高性能慣性導(dǎo)航和穩(wěn)定性的高性能MEMS技術(shù)
無(wú)人機(jī)和其他無(wú)人應(yīng)用需在惡劣環(huán)境中工作,為了滿足精密穩(wěn)定性和導(dǎo)航要求,能夠抑制振動(dòng)、沖擊和溫漂的高性能MEMS必不可少。
2019-08-05 標(biāo)簽:mems無(wú)人機(jī) 2805 0
博世半導(dǎo)體又推出了其最新的產(chǎn)品SMI230
博世最新的SMI230產(chǎn)品能夠精確測(cè)量車輛的偏航角速度以及加速度,幫助車輛的導(dǎo)航系統(tǒng)持續(xù)計(jì)算車輛運(yùn)動(dòng)的行進(jìn)方向和位置,因此通過(guò)隧道或城市峽谷時(shí)導(dǎo)航系統(tǒng)不...
2019-04-16 標(biāo)簽:傳感器mems導(dǎo)航系統(tǒng) 9760 0
MEMS激光雷達(dá)技術(shù)及其相比機(jī)械式激光雷達(dá)的優(yōu)勢(shì)!
MEMS微鏡已經(jīng)存在多年,甚至在視頻投影機(jī)這樣的日常設(shè)備中得到了應(yīng)用。當(dāng)今MEMS微鏡的問(wèn)題在于很難將其用于遠(yuǎn)距離激光雷達(dá)。遠(yuǎn)距離探測(cè)和大視場(chǎng)角是激光雷...
2019-04-16 標(biāo)簽:mems機(jī)械設(shè)備激光雷達(dá) 1.5萬(wàn) 0
新型 MEMS光束操縱技術(shù)有望大幅降低激光雷達(dá)成本
研究人員首次利用MEMS可調(diào)諧波導(dǎo)光柵在實(shí)驗(yàn)中成功演示了低功率光束操縱技術(shù)。
癌癥早期診斷是一種專門針對(duì)癌癥早期患者的診療方法,其目的在于早發(fā)現(xiàn)早治療,從而減輕患者痛苦和精神、經(jīng)濟(jì)負(fù)擔(dān)。該項(xiàng)技術(shù)的應(yīng)用將給癌癥檢測(cè)領(lǐng)域帶來(lái)極大的幫助。
臺(tái)灣的一個(gè)學(xué)術(shù)研究團(tuán)隊(duì)正在開(kāi)發(fā)MEMS環(huán)境傳感中心項(xiàng)目
“MEMS環(huán)境傳感中心”項(xiàng)目有兩個(gè)主要組成部分。一個(gè)是空氣傳感中心,包括溫度、濕度、噪音、熱量和PM 2.5(細(xì)顆粒物)傳感器;另一個(gè)是水質(zhì)傳感中心,包...
2019-05-17 標(biāo)簽:mems環(huán)境傳感器 1362 0
Keyence推出了采用 MEMS微振鏡的新款多點(diǎn)式激光傳感器IX系列
激光跟蹤和高度檢測(cè)系統(tǒng)將激光照射到指定位置,并用其CMOS傳感器計(jì)算距離。
2019年MEMS激光雷達(dá)的發(fā)展將會(huì)是什么樣的
MEMS微振鏡也稱為MEMS掃描鏡、MEMS微鏡,本文統(tǒng)一采用MEMS微振鏡表達(dá)。按原理區(qū)分,主要包括四種:靜電驅(qū)動(dòng)、電磁驅(qū)動(dòng)、電熱驅(qū)動(dòng)、壓電驅(qū)動(dòng)。其中...
Micro-inertial公司推出最新研發(fā)的慣性測(cè)量單元和運(yùn)動(dòng)傳感系統(tǒng)
據(jù)Micro-Inertial的首席技術(shù)官Navid Yazdi博士稱,這些系統(tǒng)“利用我們的核心MEMS和微型封裝技術(shù),提供了在惡劣的環(huán)境中,以前無(wú)法實(shí)...
2019-04-03 標(biāo)簽:mems傳感系統(tǒng)自動(dòng)駕駛 4361 0
探訪各家廠商的MEMS和傳感器新品,真切地感受3D傳感和成像的熱度持續(xù)升溫!
BMI270有兩種應(yīng)用特定型版本?!笆謩?shì)”版本可檢測(cè)手勢(shì),包括輕彈進(jìn)/出,手臂上/下和手腕傾斜。此版本為Wear OS by Google系統(tǒng)所設(shè)計(jì),確...
Bosch Sensortec在本次慕尼黑電子展推出了專為可穿戴應(yīng)用打造的超低功耗智能慣性測(cè)量單元(IMU)——BMI270,這款I(lǐng)MU采用博世最新的M...
全球首款業(yè)內(nèi)最低的功耗MEMS 超聲波傳感器 可提供毫米級(jí)精度的距離
TDK 公司推出了一個(gè)基于 MEMS 的微型超聲波傳感器產(chǎn)品,相比于傳統(tǒng)的超聲波傳感器,它可以提供相同的性能和可靠性,但其尺寸只有傳統(tǒng)產(chǎn)品的千分之一,功...
MEMS與生物技術(shù)結(jié)合是這家MEMS代工廠成功的關(guān)鍵
RVM的首席執(zhí)行官Jessica Gomez表示,該市場(chǎng)最大的挑戰(zhàn)是如何有效地解決盈利問(wèn)題。她入職的首家公司——Standard Microsystem...
睿創(chuàng)微納擬申請(qǐng)首次公開(kāi)發(fā)行A股股票并在科創(chuàng)板上市
睿創(chuàng)微納擬申請(qǐng)首次公開(kāi)發(fā)行A股股票并在科創(chuàng)板上市,委托中信證券擔(dān)任起輔導(dǎo)機(jī)構(gòu)。此外,睿創(chuàng)微納還聘請(qǐng)了中銀、信永中和參與上市輔導(dǎo)工作。2018年7月5日,...
2019-03-26 標(biāo)簽:mems物聯(lián)網(wǎng)傳感技術(shù) 5084 0
新一代高G值加速度傳感器SMA7xy系列可以顯著提升駕駛員和乘客的安全。當(dāng)加速度傳感器檢測(cè)到碰撞時(shí),被動(dòng)安全系統(tǒng)例如安全氣囊會(huì)更快打開(kāi),并且可以根據(jù)事故...
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics)近期推出了一款具有化學(xué)兼容性、穩(wěn)定性的高精度防水型MEMS壓力傳感器LPS33W,適...
2019-03-16 標(biāo)簽:mems意法半導(dǎo)體 5764 0
MEMS足以滿足自動(dòng)駕駛的需求 應(yīng)對(duì)嚴(yán)苛環(huán)境
在所有這些要求中有一個(gè)共同的因素貫穿始終,而這也是我們通常認(rèn)為理所當(dāng)然的,那就是:時(shí)間。為了使一切都能同步運(yùn)行,即使某些部件出現(xiàn)問(wèn)題,這些時(shí)鐘信號(hào)也必須...
2019-03-10 標(biāo)簽:MEMS自動(dòng)駕駛 1058 0
士蘭微電子研發(fā)的MEMS麥克風(fēng)近期成功量產(chǎn)
該系列產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于智能音箱、TWS耳機(jī)、藍(lán)牙耳機(jī)、降噪耳機(jī)、帶錄音耳機(jī)、智能耳機(jī)、蜂窩電話智能手機(jī)、筆記本電腦、數(shù)字?jǐn)z錄機(jī)、便攜式錄音機(jī)錄音筆、智能...
半導(dǎo)體的發(fā)展歷史:從電子管-晶體管-集成電路
就目前趨勢(shì)來(lái)看, 高端制程在整個(gè) IC封裝工藝中, 占比已經(jīng)開(kāi)始相對(duì)下降。 先進(jìn)制程節(jié)點(diǎn)元件的實(shí)際工程成本,已經(jīng)證明對(duì)產(chǎn)業(yè)界大多數(shù)廠商來(lái)說(shuō)都太昂貴;因此...
8英寸MEMS后端生產(chǎn)線在遼寧省建成投產(chǎn)
2月21日,遼寧省沈撫新區(qū)管委會(huì)對(duì)外公布,由罕王微電子(遼寧)有限公司投資研發(fā)建造的國(guó)內(nèi)首條具備國(guó)際領(lǐng)先水平的8英寸MEMS后端生產(chǎn)線在新區(qū)內(nèi)建成投產(chǎn),...
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