彈性互連技術(shù) 柔性電路的曙光

近日，歐洲跨院校微電子中心（位于比利時的Leuven）和根特大學(xué)（位于比利時根特）的研究人員設(shè)計并制造出了一種彈性互連電路，這種電路可以實現(xiàn)伸縮率達50%～100%，而不影響電阻值。該研究是近期開始的SWEET（嵌入紡織物的可伸縮可洗滌電子電路）項目的一部分，科學(xué)家們希望所研究的可伸縮互連技術(shù)能夠形成具有彈性的、可洗滌的電子電路和器件，以便將其植入皮膚下或者集成到衣服和其他織物內(nèi)。

“對于生物醫(yī)學(xué)和紡織類應(yīng)用而言，如果電子電路不僅可以彎曲，而且具有彈性，那么使用者的舒適程度就會大大增強?！?研究人員說，“生物醫(yī)學(xué)應(yīng)用主要包括在皮膚下植入電子器件。”彈性點到點互連技術(shù)主要是一個基于二維彈簧形金屬線的互連器件模型，嵌在一種高彈性的樹脂薄膜內(nèi)。

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通過在一種彈性基礎(chǔ)材料上嵌入馬蹄形的金屬線可以實現(xiàn)可伸縮式互連

實現(xiàn)方法

將感光耐蝕膜通過旋轉(zhuǎn)噴涂的方式涂在銅箔上，再通過馬蹄形光掩模板刻蝕出圖案，這種形狀相比其他形狀（例如橢圓形）能夠減少46%的拉力。另外，將每條導(dǎo)線分成四條并行導(dǎo)線的方式也增大了電路的彈性，不影響性能。

在電路表面電鍍一層4μm厚的黃金，然后鍍一層2μm厚的金屬鎳，以便將端接線焊接在互連線兩端的PAD上。然后，將這種互連電路嵌入一種? 0.5mm厚的彈性聚合物內(nèi)，就可以得到3cm長的互連線路。

結(jié)束語

實驗過程中，研究人員通過拉伸這種互連線路，使其金屬線斷裂而出現(xiàn)電氣失效。研究人員在兩種角度下測試了這種互連線路的彈性——0°（HO）和30°（H30）。最好的測試結(jié)果出現(xiàn)在一個H30樣品上，它在失效前能夠從3cm拉伸到6cm，拉伸了100%。

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研究人員已經(jīng)實現(xiàn)了50%以上的可能伸縮性，還驗證了嵌入其他元件的可能性

一般來看，H30樣本（馬蹄形）比H0實驗樣本具有更好的性能，它能夠達到72%的平均拉斷伸長率，而H0樣本只有52%。值得注意的是，在所有失效情況下，當拉伸率恢復(fù)0%時，互連線路的電導(dǎo)值都能夠恢復(fù)。

SWEET項目開始于2007年3月，是一項為期三年耗資67.5萬歐元的研究項目。研究者包括Dominique Brosteaux、Fabrice Axisa、Eva De Leersnyder、Frederick Bossuyt、Mario Gonzalez和Jan Vanfleteren。