據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道，近日，SUSS MicroTec和micro resist technology GmbH（以下簡(jiǎn)稱(chēng)為MRT）宣布成立合資公司，進(jìn)一步推動(dòng)未來(lái)新興應(yīng)用中的納米壓印光刻技術(shù)（Nanoimprint Lithography，NIL）發(fā)展。此項(xiàng)合作將依托SUSS Imprint Excellence Center中心逐步開(kāi)展起來(lái)。

半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)備和工藝解決方案供應(yīng)商SUSS MicroTec，以及開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)創(chuàng)新型光刻膠和先進(jìn)納米壓印材料公司MRT，近日宣布了兩方在納米壓印光刻技術(shù)（NIL）方面的合作。納米壓印光刻技術(shù)是通過(guò)高保真圖案轉(zhuǎn)移，實(shí)現(xiàn)增材制造革命的關(guān)鍵推動(dòng)力。越來(lái)越多的光子學(xué)新興應(yīng)用都在開(kāi)始采用紫外納米壓印技術(shù)（UV-NIL），例如3D人臉識(shí)別和增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（AR）眼鏡中的衍射光學(xué)元件（DOE）和其它微納米結(jié)構(gòu)，以及光學(xué)傳感器、激光納米PSS（Patterned Sapphire Substrate，圖形化藍(lán)寶石襯底）結(jié)構(gòu)等。

采用紫外納米壓印技術(shù)的光學(xué)3D圖案化

納米壓印光刻技術(shù)及其應(yīng)用的需求正在不斷變化。因此，此次合作的基本目標(biāo)是了解市場(chǎng)最新需求，進(jìn)而通過(guò)雙方在工藝和材料方面的優(yōu)勢(shì)，合力開(kāi)發(fā)出相應(yīng)的解決方案，從而應(yīng)對(duì)該行業(yè)不斷出現(xiàn)的嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。

高質(zhì)量壓印技術(shù)基于三大核心：設(shè)備、工藝和材料。前兩大核心（設(shè)備和制造工藝專(zhuān)業(yè)知識(shí)）目前可通過(guò)SUSS Imprint Excellence Center中心（SUSS MicroTec Lithography GmbH和SUSS MicroOptics SA聯(lián)合成立）得到解決。第三大核心的加入，即納米壓印材料供應(yīng)商MRT的專(zhuān)業(yè)化學(xué)知識(shí)，可謂是強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合。這三大核心的結(jié)合，更好地滿(mǎn)足了行業(yè)的高要求，同時(shí)滿(mǎn)足了其對(duì)納米結(jié)構(gòu)復(fù)制提出的更具挑戰(zhàn)性的需求。

“SUSS Imprint Excellence Center中心在壓印設(shè)備領(lǐng)域以及在大規(guī)模生產(chǎn)環(huán)境中進(jìn)行工業(yè)級(jí)工藝開(kāi)發(fā)具備數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn)?！盨USS MicroTec首席執(zhí)行官Franz Richter說(shuō)道，“必須通過(guò)與光刻膠供應(yīng)商和經(jīng)驗(yàn)豐富的材料供應(yīng)商建立強(qiáng)有力的合作關(guān)系，進(jìn)一步鞏固這一組合，以實(shí)現(xiàn)完美的納米壓印解決方案。”

參與此次合作的公司致力于以共同的目標(biāo)深化合作，推動(dòng)現(xiàn)有應(yīng)用和新興應(yīng)用朝著高性能、大規(guī)模生產(chǎn)的方向發(fā)展。

“二十多年來(lái)，微光刻膠技術(shù)在全球范圍內(nèi)為納米壓印光刻量身定制了光刻膠配方?！盡RT首席執(zhí)行官兼創(chuàng)始人Gabi Grützner女士說(shuō)道，“我們?cè)诰酆衔锘瘜W(xué)和納米復(fù)制工藝方面的專(zhuān)業(yè)知識(shí)使我們能夠提供最先進(jìn)的材料解決方案，解決日益增長(zhǎng)的工業(yè)用例，其中納米復(fù)制技術(shù)現(xiàn)已用于制造消費(fèi)類(lèi)產(chǎn)品。我們很高興與聯(lián)盟內(nèi)的合作伙伴進(jìn)行合作，因?yàn)楫?dāng)材料和設(shè)備完美匹配時(shí)，可以大大提高客戶(hù)在工業(yè)化應(yīng)用中納米壓印工藝的良率。SUSS Imprint Excellence Center中心為該技術(shù)的推廣提供了絕佳機(jī)會(huì)，目前此技術(shù)組合已交付給SUSS Imprint Excellence Center中心，納米壓印光刻技術(shù)將普及給更多的工業(yè)用戶(hù)使用。”
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