日前，中國 EDA 領(lǐng)軍企業(yè)概倫電子科技有限公司（以下簡稱為“概倫電子”）宣布旗下兩款業(yè)界領(lǐng)先的半導(dǎo)體器件測試產(chǎn)品，業(yè)界低頻噪聲測試黃金系統(tǒng) 9812DX 和源自前博達(dá)微團(tuán)隊的 AI 驅(qū)動的一體化參數(shù)測試系統(tǒng) FS-Pro 完成重要產(chǎn)品升級，兩個產(chǎn)品不但功能更加完整，性能也都有大幅提升。這也是在概倫電子去年底完成對博達(dá)微收購后由整合團(tuán)隊第一次發(fā)布聯(lián)合研發(fā)技術(shù)成果，是算法與多年前沿領(lǐng)先工程經(jīng)驗融合的結(jié)晶。

9812 系列自推出以來一直被所有世界領(lǐng)先的半導(dǎo)體代工廠、頂尖的 IDM 公司和無晶圓集成電路設(shè)計公司作為標(biāo)準(zhǔn)噪聲測試系統(tǒng)所采用，也是國內(nèi)各大半導(dǎo)體廠商的標(biāo)配。特別是最新推出的 9812DX，針對 14/10/7/5nm 及以下工藝節(jié)點的開發(fā)和日益復(fù)雜化的高端芯片設(shè)計的需求，可以用單一系統(tǒng)滿足不同工藝種類、器件類型和不同測試條件下的測試要求，實現(xiàn)晶圓級最高精度下的最高測試帶寬并大幅提升了測試速度。

在這次產(chǎn)品升級中，9812DX 無縫集成了 FS-Pro 團(tuán)隊提供的智能供電測試單元（SMU），提供了從直流參數(shù)到噪聲特性的完整測量解決方案，用戶不再需要自行配置昂貴的 SMU，而且內(nèi)建的智能 SMU 還把噪聲測試速度提升了近一倍。不僅對新用戶，所有 9812 的老用戶都可以選擇升級進(jìn)行測試速度的提升。

對此，從事 9812 噪聲產(chǎn)品開發(fā)多年的技術(shù)總監(jiān)張冀昭先生評價說：“跟傳統(tǒng)的半導(dǎo)體參數(shù)分析儀相比，F(xiàn)S-Pro 的特點是小、快、靈。新冠疫情期間我們克服了很多困難，9812 和 FSPro 團(tuán)隊緊密協(xié)作進(jìn)行了大量的工程實驗和軟硬件調(diào)試，現(xiàn)在 9812 系統(tǒng)及 NoiseProPlus 軟件可以無縫調(diào)用 FS-Pro 作為內(nèi)建 SMU，使整體測試速度提升 2~5 倍！”

FS-Pro 系列半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)是業(yè)界首創(chuàng)的基于人工智能算法驅(qū)動的 IV， CV，1/f 噪聲一體化測試解決方案，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體典型器件、LED 材料、二維器件、金屬材料、新型先進(jìn)材料與器件的測試。FS-Pro 可支持上百個通道， 在通用性、可拓展性和測試速度等方面有顯著優(yōu)勢。FS-Pro 目前已經(jīng)被多家全球領(lǐng)先的設(shè)計公司、半導(dǎo)體代工廠、IDM，以及數(shù)十所大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)所采用。在這次產(chǎn)品升級中，受益于 9812 團(tuán)隊在低頻噪聲測量上多年的技術(shù)經(jīng)驗，特別是在先進(jìn)工藝中的獨到技術(shù)，F(xiàn)S-Pro 低頻噪聲測試能力得到了質(zhì)的飛躍，在其標(biāo)稱頻率范圍內(nèi)與 9812 系列進(jìn)行了全面的校準(zhǔn)和比對，通過本次升級，F(xiàn)S-Pro 可以一站式解決幾乎所有低頻下半導(dǎo)體參數(shù)測試需求。對此，概倫電子首席科學(xué)家和 FS-Pro 產(chǎn)品負(fù)責(zé)人李淼先生表示，F(xiàn)S-Pro 的定位是提供以算法為競爭力的快速和一體化半導(dǎo)體參數(shù)測試解決方案，我們的優(yōu)勢是算法，在依托先驗經(jīng)驗基礎(chǔ)上的預(yù)測和數(shù)據(jù)恢復(fù)上有著多年的經(jīng)驗，加入概倫電子進(jìn)一步提升了我們對先進(jìn)工藝的先驗經(jīng)驗，我特別感謝疫情期間劉志宏董事長在北京親自指導(dǎo)我的團(tuán)隊，把他 20 多年的測試經(jīng)驗和技術(shù)毫無保留地與我和團(tuán)隊分享，讓我們對測試技術(shù)的理解有了質(zhì)的飛躍。

此次產(chǎn)品融合升級恰逢新冠疫情全球肆虐，從春節(jié)至今，概倫電子團(tuán)隊克服無法面對面交流討論，實驗室封閉和供應(yīng)鏈幾乎停頓的巨大困難，把居室當(dāng)實驗室，把網(wǎng)絡(luò)當(dāng)會議室， 采取廢物再利用等方法，完成了大量的原型開發(fā)和實測校準(zhǔn)工作。

概倫電子董事長劉志宏博士是業(yè)界黃金標(biāo)準(zhǔn)噪聲測試儀器 9812 系列的開發(fā)者和多項專利技術(shù)的發(fā)明人。對于此次產(chǎn)品升級，劉志宏博士評價說：“新冠疫情期間概倫測試團(tuán)隊的緊密協(xié)作和努力拼搏讓我十分感動。我對團(tuán)隊的多元化基因和創(chuàng)新潛力十分期待，F(xiàn)S-Pro 豐富了概倫電子的測試產(chǎn)品線。1/f 噪聲作為非破壞性的測試表征手段特別適用于新器件和新材料科研，在一臺全功能的半導(dǎo)體參數(shù)分析儀內(nèi)集成 1/f 噪聲功能是一個創(chuàng)舉。FS-Pro 在超低頻的噪音測試能力和其完整的 IV、CV 表征功能完美地適應(yīng)了科研和工程技術(shù)的需求。我認(rèn)為 FS-Pro 將會成為大學(xué)和科研院所開展半導(dǎo)體科研的標(biāo)配。9812 系列作為業(yè)界的黃金 1/f 噪聲測試解決方案已經(jīng)二十多年了，不斷演進(jìn)的工藝和更加嚴(yán)苛的設(shè)計要求，驅(qū)動我們不斷提升測試精度和速度。通過整合 FS-Pro 的低噪聲 SMU，概倫電子提供了不依賴于第三方的更加完整和高效的一體化噪聲測試解決方案，未來我們也將繼續(xù)融合 9812 和 FS-Pro 的各自優(yōu)勢，陸續(xù)推出精度更高、速度更快和功能更強(qiáng)大的噪聲及通用參數(shù)測試產(chǎn)品，滿足先進(jìn)半導(dǎo)體公司日益增加的測試精度和速度需求。
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