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GAA-FET在3nm及更先進(jìn)制程上很關(guān)鍵

如意 ? 來源:cnBeta.COM ? 作者:cnBeta.COM ? 2021-01-27 14:56 ? 次閱讀
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得益于從平面型晶體管到鰭式場效應(yīng)管(FinFET)的過渡,過去 10 年的芯片性能提升還算勉強(qiáng)。然而隨著制程工藝不斷抵近物理極限,芯片行業(yè)早已不再高聲談?wù)撃柖伞1M管業(yè)界對環(huán)繞柵極晶體管(GAAFET)在 3nm 及更先進(jìn)制程上的應(yīng)用前景很是看好,但這種轉(zhuǎn)變的代價也必然十分高昂。

外媒指出,盡管當(dāng)前芯片代工大廠已經(jīng)在 7nm 或 5nm 工藝工藝節(jié)點(diǎn)上提供了相當(dāng)大的產(chǎn)能,但包括臺積電(TSMC)和格羅方德(GlobalFoundries)在內(nèi)的諸多企業(yè),仍在努力攻克基于下一代環(huán)繞柵極晶體管(GAA)技術(shù)的 3nm 和 2nm 工藝節(jié)點(diǎn)。

據(jù)悉,GAA-FET 的優(yōu)點(diǎn)在于更好的可擴(kuò)展性、更快的開關(guān)時間、更優(yōu)的驅(qū)動電流、以及更低的泄露。不過對于制造商們來說,F(xiàn)inFET 仍是大有可圖的首選技術(shù)。

比如在去年的研討會上,臺積電就宣稱其 N3 技術(shù)可在提升 50% 性能的同時、降低 30% 的功耗,且密度是 N5 工藝的 1.7 倍。

早前消息稱,該公司計劃在 2024 年之前做好 2nm 制程的量產(chǎn)準(zhǔn)備。不過借助久經(jīng)考驗的、更可預(yù)測的工藝節(jié)點(diǎn),臺積電也有充足時間去檢驗 GAA-FET 在 2nm 節(jié)點(diǎn)下的應(yīng)用前景。

與此同時,Semiconductor Engineering 稱三星英特爾也在努力實現(xiàn)從 3nm 到 2nm 工藝節(jié)點(diǎn)的過渡,且三星有望在 2022 年底前完成。

TechSpot 指出,GAA-FET 有諸多類型,目前已知的是,三星將采用基于納米片的多橋溝道場效應(yīng)晶體管(簡稱 MBC-FET)的方案。

MBC-FET 可視作 FinFET 的側(cè)面翻轉(zhuǎn),特點(diǎn)是將柵極包括于襯底上生長的納米硅片,而英特爾也披露了將于 2025 年采用基于“納米絲帶”(nanoribbons)的類似方案。

當(dāng)然,在接替鮑勃·斯旺(Bob Swan)的新任 CEO 帕特·基辛格(Pat Gelsinger)的帶領(lǐng)下,英特爾或許能夠加速向新工藝的轉(zhuǎn)進(jìn)。

最后,在讓 FinFET 和 GAA-FET 攜手并進(jìn)的同時,芯片制造商或許還會動用鍺(Ge)、銻化鎵(GaSb)、砷化銦(AsIn)等具有高遷移率特性的半導(dǎo)體材料,來送“摩爾定律”最后一程。
責(zé)編AJX

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