AMHS，全稱自動(dòng)化物料傳送系統(tǒng)，是半導(dǎo)體智能制造的重要一環(huán)。一個(gè)典型晶圓廠Fab內(nèi)，多類型工藝設(shè)備需要緊密聯(lián)動(dòng)完成數(shù)以千計(jì)的工序流轉(zhuǎn)，保證產(chǎn)能及產(chǎn)品良率。如何安排物料流轉(zhuǎn)，實(shí)現(xiàn)在更短的時(shí)間、復(fù)雜的生產(chǎn)環(huán)境中找到實(shí)時(shí)最優(yōu)且柔性的自動(dòng)化方案，打造真正的Fully Auto晶圓廠——AMHS是12寸、8寸及化合物半導(dǎo)體的最優(yōu)解決方案。

無(wú)論是前道廠還是封測(cè)廠，通過(guò)天車傳輸都能最大化地面空間利用，同時(shí)具備快速、穩(wěn)定、高精度和高潔凈度的傳輸能力，從而最大程度地確保人、機(jī)、料的安全。此外，配備了智能算法的物料控制系統(tǒng)（MCS）和天車控制系統(tǒng)（MOC），能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)整廠物料的可追溯性。這為工廠管理者提供了可靠、實(shí)時(shí)的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)報(bào)告和傳輸改進(jìn)建議，有助于提高產(chǎn)線自動(dòng)化效率。

華芯（嘉興）智能裝備有限公司（“HIMC”)是一家以半導(dǎo)體AMHS國(guó)產(chǎn)替代為立足點(diǎn)，利用核心自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，為客戶提供專業(yè)可靠、自主可控的泛半導(dǎo)體智能制造解決方案的綜合服務(wù)商。華芯智能為客戶提供高精度、高穩(wěn)定性的先進(jìn)制造整廠自動(dòng)化規(guī)劃、改造、實(shí)施、運(yùn)維全流程服務(wù)，公司已獲評(píng)“浙江省專精特新中小企業(yè)”、“嘉興市高新技術(shù)研究開(kāi)發(fā)中心”，同時(shí)為SEMI協(xié)會(huì)半導(dǎo)體智能制造委員會(huì)成員。

自2016年起，華芯智能即致力于半導(dǎo)體AMHS、晶圓搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備及關(guān)鍵零部件等產(chǎn)品的自主研發(fā)、 生產(chǎn)、銷售及售后維護(hù)，已構(gòu)筑圍繞 FAB 廠物料傳送為核心的完整產(chǎn)品矩陣，包括以 OHT、Stocker、Lifter等核心部件為主的AMHS（自動(dòng)化物料傳送系統(tǒng)），以 Sorter、EFEM、Load Port 等為主的晶圓搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備產(chǎn)品序列，以及以物料管控、搬運(yùn)派工為主的軟件產(chǎn)品 MCS、MOC及機(jī)臺(tái)端控制軟件。

作為國(guó)產(chǎn)領(lǐng)先的AMHS供應(yīng)商，華芯智能全系產(chǎn)品均在半導(dǎo)體頭部客戶量產(chǎn)線完成驗(yàn)證及壓力測(cè)試，可靠性、傳輸精度均獲好評(píng)。公司核心知識(shí)產(chǎn)權(quán)及技術(shù)架構(gòu)均自主可控，可滿足客戶多樣化定制需求。全系產(chǎn)品均獲SEMI認(rèn)證及ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主化將會(huì)是未來(lái)的主旋律。AMHS作為晶圓廠整廠高精自動(dòng)化系統(tǒng)，掌握核心生產(chǎn)數(shù)據(jù)及產(chǎn)線動(dòng)態(tài)，具有戰(zhàn)略意義。提供國(guó)產(chǎn)領(lǐng)先的AMHS智能制造解決方案、實(shí)現(xiàn)中國(guó)智造是華芯智能一直以來(lái)的重要驅(qū)動(dòng)力。此次，華芯智能將出席2024 SEMI-e第六屆深圳國(guó)際半導(dǎo)體展，在更高維度、更深層次上賦能半導(dǎo)體制造業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

展品推薦

1

半導(dǎo)體AMHS天車系統(tǒng)-第四代天車“飛兔”

華芯提供晶圓廠AMHS天車系統(tǒng)全系列產(chǎn)品——OHT、Stocker、Lifter、OHB、Conveyor等，提供天車硬件系統(tǒng)、存儲(chǔ)系統(tǒng)、跨層傳輸系統(tǒng)及配套軟件MCS和MOC等全流程定制化服務(wù)。全套技術(shù)自主可控，產(chǎn)品精度、穩(wěn)定度、潔凈度、安全性均經(jīng)產(chǎn)線負(fù)載量產(chǎn)長(zhǎng)周期驗(yàn)證，產(chǎn)品案例覆蓋8寸/12寸前道制造、8/12寸先進(jìn)封測(cè)，核心性能比肩海外大廠，獲行業(yè)頭部客戶認(rèn)可。

2

半導(dǎo)體智能制造軟件系統(tǒng)MCS、MOC

華芯智能為客戶提供全面的軟件系統(tǒng)服務(wù)：物料管控系統(tǒng)（MCS）、天車調(diào)度系統(tǒng)（MOC）、整廠自動(dòng)化仿真模擬（simulation）、智能工廠大數(shù)據(jù)平臺(tái)、數(shù)字孿生等。

產(chǎn)品采用最新技術(shù)架構(gòu)，圍繞泛半導(dǎo)體產(chǎn)線核心需求設(shè)計(jì)，運(yùn)用智能算法最大程度優(yōu)化交通調(diào)度及產(chǎn)線管控能力，提升產(chǎn)線運(yùn)行效率，為運(yùn)輸、存儲(chǔ)、故障維護(hù)提供科學(xué)精準(zhǔn)的決策依據(jù)。產(chǎn)品已在客戶端完成壓力及可靠性驗(yàn)證，支持24小時(shí)快速響應(yīng)。

3

晶圓搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備EFEM、Sorter、Load Port

華芯智能致力于為客戶提供從部件到系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)晶圓搬運(yùn)解決方案，提供Sorter、EFEM等晶圓搬運(yùn)自動(dòng)化設(shè)備及抓手、aligner等零部件，同時(shí)提供如Embedded sorter等特殊工藝環(huán)節(jié)定制產(chǎn)品，可處理各種特殊硅片（穿孔、超薄、翹曲）及碳化硅晶圓，提供接觸式和非接觸式等多種傳輸方案。

?定制設(shè)計(jì)：模塊化設(shè)計(jì)，軟件支持參數(shù)化配置，支持標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)自動(dòng)化定制；

?性能優(yōu)異：高精度、高安全性和高可靠性；

?交期快：性價(jià)比及交期顯著優(yōu)于海外供應(yīng)商；

?全流程專業(yè)服務(wù)：專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)，快速響應(yīng)客戶需求。

4

AMHS立體倉(cāng)儲(chǔ)庫(kù)-STOCKER

Stocker為半導(dǎo)體工廠晶圓立體倉(cāng)儲(chǔ)庫(kù)，主要用于12寸及8寸晶圓料盒自動(dòng)搬送、存儲(chǔ)及管理。

?安全設(shè)計(jì)：具備可靠的安全設(shè)計(jì)和碰撞保護(hù)功能，保護(hù)晶圓和人身安全；

?定制化方案：可定制功能和尺寸，提供NTB和OHB等多種緩存方案，提升FAB物料流轉(zhuǎn)效率和空間利用率；

?嚴(yán)格品質(zhì)管控：已取得ISO質(zhì)量管理體系認(rèn)證和SEMI認(rèn)證，已在頭部客戶端完成驗(yàn)證，產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定領(lǐng)先。

AMHS作為半導(dǎo)體智能制造的重要一環(huán)，正在實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體供應(yīng)鏈自主化這一復(fù)雜而充滿挑戰(zhàn)的深層變革。此次SEMI-e 第六屆深圳國(guó)際半導(dǎo)體展集結(jié)了一批半導(dǎo)體智能制造企業(yè)，華芯智能作為其中的一員，與更多志同道合企業(yè)持續(xù)聚焦智能制造，不斷突破技術(shù)創(chuàng)新范疇，實(shí)現(xiàn)共同進(jìn)步。

審核編輯：劉清