襯底(substrate)是由半導(dǎo)體單晶材料制造而成的晶圓片,襯底可以直接進(jìn)入晶圓制造環(huán)節(jié)生產(chǎn)半導(dǎo)體器件,也可以進(jìn)行外延工藝加工生產(chǎn)外延片。
襯底的類型有哪些,分別用在哪些產(chǎn)品中?
芯片種類繁多,并不是只有單晶硅片做襯底,不同類型的襯底根據(jù)其特性被用于不同的芯片產(chǎn)品。對于其他襯底大多數(shù)人知之甚少,下面詳細(xì)介紹下。
基板(襯底)種類匯總
1,單晶硅片
目前最普遍的襯底材料,廣泛用于制造集成電路(IC)、微處理器、存儲器、MEMS器件、功率器件等
2,SOI襯底
用于高性能、低功耗的集成電路,如高頻模擬和數(shù)字電路、RF器件和電源管理芯片。
3,SiGe襯底
SiGe ,鍺硅,是一種硅和鍺任意摩爾比的合金,分子式為 Si 1? x Ge x,常用外延的方式制作。用于異質(zhì)結(jié)雙極晶體管,混合信號電路,射頻等領(lǐng)域。
4,化合物半導(dǎo)體襯底
砷化鎵襯底(GaAs):微波和毫米波通信器件等 氮化鎵襯底(GaN):用于射頻功率放大器,HEMT等 碳化硅襯底(SiC):用于電動汽車、電源轉(zhuǎn)換器等電力器件
磷化銦襯底(InP):用于激光器、光探測器等
5,藍(lán)寶石襯底
用于LED制造、RFIC(射頻集成電路)等
6,鍺襯底
7,LN(鈮酸鋰)
用于聲表濾波器,mems等
8,LT(鉭酸鋰)
用于聲表濾波器,mems等
9,玻璃基板
審核編輯:劉清
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原文標(biāo)題:用于芯片制造的基板(襯底)有哪些種類?
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硅襯底LED芯片主要制造工藝

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