概述
ADXRS622是一款功能完備、成本低廉的角速率傳感器（陀螺儀），采用ADI公司的表面微加工工藝制造，單芯片上集成了全部必需的電子器件。該器件制造技術(shù)與高可靠性汽車安全氣囊加速度計(jì)所用的大規(guī)模BiMOS工藝相同。

輸出信號(hào)RATEOUT (1B, 2A)是電壓值，與圍繞封裝上表面垂直軸轉(zhuǎn)動(dòng)的角速率成比例。輸出為所提供基準(zhǔn)電源的比率。一個(gè)外部電容設(shè)置帶寬，其它外部電容用于操作。

該器件提供溫度輸出，供補(bǔ)償技術(shù)使用。兩路數(shù)字自測(cè)輸入通過機(jī)電方式激勵(lì)傳感器，以測(cè)試傳感器和信號(hào)調(diào)理電路是否正常工作。ADXRS622提供7 mm × 7 mm × 3 mm BGA芯片級(jí)封裝。
數(shù)據(jù)表：*附件：ADXRS622角速度陀螺儀技術(shù)手冊(cè).pdf

應(yīng)用

• 車輛底盤翻轉(zhuǎn)檢測(cè)
• 慣性測(cè)量裝置
• 平臺(tái)穩(wěn)定

特性

• 在單芯片上實(shí)現(xiàn)完整的角速度陀螺儀
• Z軸（偏航角速度）響應(yīng)
• 可在寬頻率范圍內(nèi)提供高振動(dòng)抑制特性
• 抗沖擊能力：2000 g
• 輸出為基準(zhǔn)電源的比率
• 5 V 單電源供電
• 工作溫度達(dá)105°C
• 根據(jù)數(shù)字命令執(zhí)行自測(cè)
• 超小尺寸、重量輕：< 0.15 cc、< 0.5 克
• 溫度傳感器輸出
• 符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)

框圖

引腳配置描述

典型性能特征

工作原理

ADXRS622基于諧振陀螺儀原理工作。兩個(gè)多晶硅傳感結(jié)構(gòu)中，每個(gè)都包含一個(gè)抖動(dòng)框架，該框架通過靜電驅(qū)動(dòng)至諧振狀態(tài)，產(chǎn)生必要的速度分量，以便在受到角速率作用時(shí)生成科里奧利力。在抖動(dòng)框架的兩個(gè)正交端，有可移動(dòng)指狀結(jié)構(gòu)置于固定拾取指狀結(jié)構(gòu)之間，形成一個(gè)電容式拾取結(jié)構(gòu)，用于感測(cè)科里奧利運(yùn)動(dòng)。產(chǎn)生的信號(hào)會(huì)傳輸至一系列增益和解調(diào)級(jí)，以產(chǎn)生電角速率輸出。雙傳感器設(shè)計(jì)可抑制外部重力加速度和振動(dòng)。帶有信號(hào)調(diào)理電路的封裝能在噪聲環(huán)境中保持信號(hào)完整性。

靜電諧振器工作需要18V至20V電壓。由于大多數(shù)應(yīng)用通常僅提供5V電壓，所以內(nèi)置了一個(gè)電荷泵。如果有外部18V至20V電源可用，CP1至CP4上的兩個(gè)電容可被省略，并且該電源可以連接到CP5引腳（6D、7D）。在ADXRS622通電時(shí)，請(qǐng)勿將CP5接地。在某些情況下，電荷泵可能無法啟動(dòng)，但在不斷開ADXRS622電源的情況下移除接地后，它可能會(huì)啟動(dòng)。

設(shè)置帶寬

外部電容C_{OUT} 與片上電阻R_{OUT} 配合使用，構(gòu)成一個(gè)低通濾波器，用于限制ADXRS622速率響應(yīng)的帶寬。由R_{OUT} 和C_{OUT} 設(shè)置的 - 3dB頻率為：

該頻率可精確控制，因?yàn)?strong>R_{OUT} 在制造過程中已被修整為180 kΩ ± 1% 。在RATEOUT引腳（1B、2A）和SUMJ引腳（1C、2C）之間應(yīng)用的任何外部電阻R_{EXT} 會(huì)導(dǎo)致：

通常，除了低通濾波器之外，還會(huì)添加一個(gè)額外的（硬件或軟件）濾波器，以衰減來自陀螺儀14kHz諧振頻率解調(diào)尖峰的高頻噪聲。噪聲頻譜曲線如圖21所示，典型情況下，該頻率右側(cè)的噪聲密度會(huì)更高。因此，應(yīng)選擇比所需帶寬更高的頻率，以保持良好的相位響應(yīng)。圖22展示了在ADXRS622設(shè)置為40Hz帶寬（如圖21所示）的輸出上添加250Hz濾波器的效果。高頻解調(diào)雜散大約衰減了18dB。

溫度輸出與校準(zhǔn)

在整個(gè)溫度范圍內(nèi)對(duì)陀螺儀進(jìn)行校準(zhǔn)以提高測(cè)量精度是很常見的做法。ADXRS622具有與溫度相關(guān)的電壓輸出，為校準(zhǔn)方法提供輸入。溫度傳感器結(jié)構(gòu)如圖23所示。

溫度輸出具有非線性特性，任何負(fù)載電阻都會(huì)連接到TEMP輸出引腳，從而降低TEMP輸出及其溫度系數(shù)。因此，建議對(duì)輸出進(jìn)行緩沖。

TEMP引腳（3E、3G）處的電壓在25°C時(shí)標(biāo)稱值為2.5V，V_{RATIO} = 5V 。溫度系數(shù)在25°C時(shí)約為 - 9mV/°C 。盡管TEMP輸出具有高度重復(fù)性，但絕對(duì)精度一般。!

校準(zhǔn)性能

使用三點(diǎn)校準(zhǔn)技術(shù)，可將ADXRS622的零位和靈敏度漂移校準(zhǔn)到平均每小時(shí)約200°/小時(shí)。使用更多的校準(zhǔn)點(diǎn)，可實(shí)現(xiàn)每小時(shí)40°/小時(shí)或更好的整體精度。在進(jìn)行校準(zhǔn)期間限制帶寬，可降低寬帶噪聲，提高每個(gè)校準(zhǔn)點(diǎn)附近的測(cè)量精度。