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經(jīng)過理論推導(dǎo)，分析了320 mm口徑衍射光學(xué)元件在束勻滑實(shí)驗(yàn)中光強(qiáng)分布出現(xiàn)高級次衍射斑和元件實(shí)際衍射效率變低的原因，模擬計(jì)算得到了接近實(shí)驗(yàn)的光強(qiáng)分布。模擬分析發(fā)現(xiàn):通過調(diào)整設(shè)計(jì)參數(shù)，如適當(dāng)增加抽樣點(diǎn)數(shù)，使設(shè)計(jì)時(shí)焦斑主瓣占輸出計(jì)算窗口的比例減小至0.2以下，可以大大降低由于高級次衍射斑造成的衍射效率損失，控制在2%以內(nèi)，使臺階分布式相位片實(shí)際衍射效率得到提高，在對口徑為70及320 mm的臺階分布式相位片樣品測試中得到了驗(yàn)證。
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