9月15日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司創(chuàng)始人、董事長、總經(jīng)理尹志堯在某活動(dòng)中探討如何打造高質(zhì)量、有競爭力的半導(dǎo)體設(shè)備公司時(shí)，表示目前半導(dǎo)體公司的設(shè)備主要可以分為四大類，光刻機(jī)、等離子體刻蝕
2021-09-16 09:01:00
3966 氮化鎵作為一種寬帶隙半導(dǎo)體，已被用于制造發(fā)光二極管和激光二極管等光電器件。最近已經(jīng)開發(fā)了幾種用于氮化鎵基材料的不同干蝕刻技術(shù)。電感耦合等離子體刻蝕因其優(yōu)越的等離子體均勻性和強(qiáng)可控性而備受關(guān)注。本研究
2022-04-26 14:07:281762 
解決方案：a)樣品在等離子體反應(yīng)器中處理，并在表面分析裝置(XPS、螺旋鉆等)的真空下轉(zhuǎn)移（為了避免空氣暴露中的表面修飾和污染）；b)實(shí)驗(yàn)是在超高真空條件下的精密等離子體設(shè)備中進(jìn)行的，它用離子、自由基和分子束模擬等離子體，但與表面分析設(shè)備兼容。這兩種方法都是有效的，并且各有優(yōu)缺點(diǎn)。
2022-05-19 14:28:151666 
等離子體工藝廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中。比如，IC制造中的所有圖形化刻蝕均為等離子體刻蝕或干法刻蝕，等離子體增強(qiáng)式化學(xué)氣相沉積(PECVD)和高密度等離子體化學(xué)氣相沉積 (HDP CVD)廣泛用于電介質(zhì)
2022-11-15 09:57:312625 熱平衡等離子體中，電子和離子的能量服從玻爾茲曼分布(見下圖)。電容耦合型等離子體源的平均電子能量為2?3eV。等離子體中離子能量主要取決于反應(yīng)室的溫度，是200~400℃或0.04?0.06eV。
2022-12-12 10:47:291171 。常見的干法刻蝕設(shè)備有反應(yīng)離子刻蝕機(jī)（RIE）、電感耦合等離子體刻蝕機(jī)（ICP）、磁性中性線等離子體刻蝕機(jī)（NLD）、離子束刻蝕機(jī)（IBE），本文目的對各刻蝕設(shè)備的結(jié)構(gòu)進(jìn)行剖析，以及分析技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)。
2024-01-20 10:24:561114 
最廣泛用于智能手機(jī)上，買手機(jī)所謂16G或者32G容量指的就是EMMC芯片的容量。EMMC的本質(zhì)仍然是NAND，但在存儲(chǔ)芯片內(nèi)多封裝了一個(gè)微控制器（micro controller），一般是ARM單片機(jī)
2016-08-16 16:30:57
。如下圖，這是一個(gè)碼表，我看到他的單片機(jī)封裝得好奇怪，但我覺得應(yīng)該是批量生產(chǎn)省成本的吧？我現(xiàn)在用來學(xué)習(xí)的89C52 是可以不斷改寫的，而我批量生產(chǎn)時(shí)，當(dāng)然是不需要的是吧？問題是：我想要批量生產(chǎn)可以支持
2013-09-21 19:45:43
液晶顯示器(LCD)之后的最新顯示技術(shù)之一。這種顯示器能夠用作適應(yīng)數(shù)字化時(shí)代的各種多媒體顯示器，適用于制造大屏幕和薄型彩色電視機(jī)等，有著廣闊的應(yīng)用前景。等離子體顯示器具有體積小、重量輕、無X射線輻射
2011-01-06 16:09:23
】：1引言電子元器件在生產(chǎn)過程中由于手印、焊劑、交叉污染、自然氧化等，其表面會(huì)形成各種沾污。這些沾污包括有機(jī)物、環(huán)氧樹脂、焊料、金屬鹽等，會(huì)明顯影響電子元器件在生產(chǎn)過程中的相關(guān)工藝質(zhì)量，例如繼電器的接觸電阻，從而降低了電子元器件的可靠性和成品合格率。等離子體是全文下載
2010-06-02 10:07:40
空間。在兩塊玻璃基板的內(nèi)側(cè)面上涂有金屬氧化物導(dǎo)電薄膜作激勵(lì)電極。 當(dāng)向電極上加入電壓，放電空間內(nèi)的混合氣體便發(fā)生等離子體放電現(xiàn)象。色彩還原能力好，顯示色彩自然。由于等離子電視是通過紫外線激發(fā)熒光粉發(fā)光
2014-02-10 18:20:48
當(dāng)高頻發(fā)生器接通電源后，高頻電流I通過感應(yīng)線圈產(chǎn)生交變磁場(綠色)。開始時(shí)，管內(nèi)為Ar氣，不導(dǎo)電，需要用高壓電火花觸發(fā)，使氣體電離后，在高頻交流電場的作用下，帶電粒子高速運(yùn)動(dòng)，碰撞，形成“雪崩”式放電，產(chǎn)生等離子體氣流。
2019-10-09 09:11:46
合有局限，不適用于聚四氟乙烯微波板的三防涂覆前處理。 基于以上原因，開展了應(yīng)用等離子體處理法替代鈉萘處理法進(jìn)行聚四氟乙烯表面活化處理的研究工作。
2019-05-28 06:50:14
潤濕性幫助油墨和涂料均勻地粘附在材料上，或者通過活化表面來增加粘合劑的強(qiáng)度。由于這些特性，低溫等離子體被用于半導(dǎo)體制造和各種其他工業(yè)設(shè)備中。此外，等離子體技術(shù)無需化學(xué)物質(zhì)即可清潔和消毒表面，安全性高，在
2022-05-18 15:16:16
等離子體顯示器又稱電漿顯示器，是繼CRT(陰極射線管）、LCD（液晶顯示器）后的最新一代顯示器，其特點(diǎn)是厚度極薄，分辨率佳。可以當(dāng)家中的壁掛電視使用，占用極少的空間，代表了未來顯示器的發(fā)展趨勢（不過對于現(xiàn)在中國大多...
2021-04-20 06:33:47
芯片大
批量生產(chǎn)時(shí)發(fā)現(xiàn)部分
芯片flash里面數(shù)據(jù)丟失，可能是什么原因?qū)е碌模?/div>
2022-07-22 06:10:33
PCB多層板等離子體處理技術(shù)等離子體，是指像紫色光、霓虹燈光一樣的光，也有稱其為抄板物質(zhì)的第四相態(tài)。等離子體相態(tài)是由于原子中激化的電子和分子無序運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)，所以具有相當(dāng)高的能量。麥|斯|艾|姆|P
2013-10-22 11:36:08
等離子體，是指像紫色光、霓虹燈光一樣的光，也有稱其為抄板物質(zhì)的第四相態(tài)。等離子體相態(tài)是由于原子中激化的電子和分子無序運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)，所以具有相當(dāng)高的能量。 (1)機(jī)理： 在真空室內(nèi)部的氣體分子里
2018-11-22 16:00:18
殘留物/余膠等，以獲得完善高質(zhì)量的導(dǎo)線圖形。如果，一旦于顯影后蝕刻前，出現(xiàn)抗蝕刻劑去除不凈，會(huì)導(dǎo)致短路缺陷的發(fā)生?！ ?B) 等離子體處理技術(shù)，還可用于去除阻焊膜剩余，提高可焊性?！ ?C) 針對某些
2018-09-21 16:35:33
電鍍銅加工→圖形轉(zhuǎn)移形成電氣互連導(dǎo)電圖形→表面處理。 一、等離子體切割加工技術(shù)特點(diǎn) 等離子體的溫度高，能提供高焓值的工作介質(zhì)，生產(chǎn)常規(guī)方法不能得到的材料，加之有氣氛可控、設(shè)備相對簡單、能顯著縮短
2017-12-18 17:58:30
再經(jīng)干燥處理即可送往下道工序?！ 。?）不使用三氯乙甲ODS有害溶劑，清洗后也不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，屬于有利于環(huán)保的綠色清洗方法。 ?。?）用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同，它
2012-09-25 16:21:58
潤濕性幫助油墨和涂料均勻地粘附在材料上，或者通過活化表面來增加粘合劑的強(qiáng)度。由于這些特性，低溫等離子體被用于半導(dǎo)體制造和各種其他工業(yè)設(shè)備中。此外，等離子體技術(shù)無需化學(xué)物質(zhì)即可清潔和消毒表面，安全性高，在
2022-05-17 16:41:13
關(guān)于舉辦2020年會(huì)-COMSOL半導(dǎo)體器件+等離子體+RF光電+電化學(xué)燃燒電池專題”的通知COMSOL Multiphysics 燃料電池、電化學(xué)模塊1.電化學(xué)-熱耦合方法2. 傳質(zhì)-導(dǎo)電-電化學(xué)
2019-12-10 15:24:57
uPD16305的性能特點(diǎn)是什么？uPD16305在等離子體顯示器中有什么應(yīng)用？
2021-06-04 06:54:10
分別為：等離子體、離子銑和反應(yīng)離子刻蝕。等離子刻蝕等離子體刻蝕像濕法刻蝕一樣是一種化學(xué)工藝，它使用氣體和等離子體能量來進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)。二氧化硅刻蝕在兩個(gè)系統(tǒng)中的比較說明了區(qū)別所在。在濕法刻蝕二氧化硅中，氟在
2018-12-21 13:49:20
1. 低溫等離子體及廢氣處理原理低溫等離子體技術(shù)是一門涉及生物學(xué)、高能物理、放電物理、放電化學(xué)反應(yīng)工程學(xué)、高壓脈沖技術(shù)和環(huán)境科學(xué)的綜合性學(xué)科，是治理氣態(tài)污染物的關(guān)鍵技術(shù)之一，因其高效、低能耗、處理
2022-04-21 20:29:20
的芯片可以繼續(xù)涂膠、曝光。越復(fù)雜的芯片，線路圖的層數(shù)越多，也需要更精密的曝光控制過程。等離子刻蝕刻機(jī)等離子刻蝕機(jī)，又叫等離子蝕刻機(jī)、等離子平面刻蝕機(jī)、等離子體刻蝕機(jī)、等離子表面處理儀、等離子清洗系統(tǒng)等
2018-09-03 09:31:49
如題，市場上大批量生產(chǎn)遙控汽車用的是什么芯片？
2013-07-10 21:29:26
1.引言微波測量方法是將電磁波作為探測束入射到等離子體中，對等離子體特性進(jìn)行探測，不會(huì)對等離子體造成污染。常規(guī)微波反射計(jì)也是通過測量電磁波在等離子體截止頻率時(shí)的反射信號(hào)相位來計(jì)算等離子密度。當(dāng)等離子
2019-06-10 07:36:44
上。 刻蝕只去除曝光圖形上的材料。 在芯片工藝中，圖形化和刻蝕過程會(huì)重復(fù)進(jìn)行多次。2017年3月11日，據(jù)CCTV2財(cái)經(jīng)頻道節(jié)目的報(bào)道，中微AMEC正在研制目前世界最先進(jìn)的5納米等離子刻蝕機(jī)，將于2017年底將量產(chǎn)。轉(zhuǎn)自吳川斌的博客`
2017-10-09 19:41:52
【作者】：呂鵬;劉春芳;張潮海;趙永蓬;王騏;賈興;【來源】：《強(qiáng)激光與粒子束》2010年02期【摘要】：描述了Z箍縮放電等離子體極紫外光源系統(tǒng)中的主脈沖電源,給出了主電路拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),重點(diǎn)介紹了三級(jí)磁
2010-04-22 11:41:29
spec-troscopy,LIBS)是近年發(fā)展起來的一種基于激光與材料相互作用的物理學(xué)與光譜學(xué)交叉的物質(zhì)組分定量分析技術(shù)[1-3]。其原理是利用聚焦的強(qiáng)激光束入射樣品表面產(chǎn)生激光等離子體,等離子體輻射光譜含有被測物質(zhì)的組分和組分全文下載
2010-04-22 11:33:27
目前ARM系統(tǒng)中存儲(chǔ)芯片常用的型號(hào)
2016-09-17 18:15:24
表面波等離子體激勵(lì)源設(shè)計(jì)，不看肯定后悔
2021-04-22 07:01:33
/等離子體刻蝕重?cái)U(kuò) 特點(diǎn)：濕法可用氫氟酸和硝酸體系或強(qiáng)堿，將暴露的重?cái)U(kuò)散層腐蝕成淺擴(kuò)散層。要求耐腐蝕漿料。干法等離子體，用四氟化碳或氟化氮等氟化物形成的氟離子來刻蝕暴露的中摻雜部分。干法也可用銀漿做掩膜
2018-09-26 09:44:54
等離子體NOX 脫除技術(shù)作為一種脫硝新工藝，受到世界各國的廣泛關(guān)注。在敘述了等離子體脫硝的的兩種反應(yīng)機(jī)理、等離子體NOX 脫除的主要方法（電子束照射法、高壓脈沖電暈法
2009-02-13 00:35:58
12 采用分層介質(zhì)方法處理非均勻等離子體層，研究了電磁波射向覆蓋磁化等離子體層的金屬平板時(shí)電磁波的衰減特性。著重討論Epstein密度分布的等離子體層，分析了等離子體電子密
2009-03-14 15:07:3426 1.ICP 2060T順序電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀設(shè)計(jì)用于測量各種樣品中的主要、次要和痕量元素，具有出色的性能。2.由于其卓越的光學(xué)分辨率、高度自動(dòng)化、可靠的自由運(yùn)行射頻系統(tǒng)以及出色的分析精度
2022-08-10 20:21:52
一種大氣微波環(huán)形波導(dǎo)等離子體設(shè)備:微波等離子體相對其它等離子體而言有很多的優(yōu)點(diǎn)，具有極高的工業(yè)應(yīng)用價(jià)值。但在大氣條件下，大體積的微波等離子體較難獲得
2009-10-29 13:59:3214 平面磁控陰極用于PEPC等離子體放電實(shí)驗(yàn)研究:平面磁控陰極用于大面積等離子體放電具有大幅降低放電電壓和放電氣壓的優(yōu)點(diǎn)，是PEPC首選的放電途徑。通過對不同尺寸、
2009-10-29 14:07:5219 斜輻照激光等離子體輻射X光子特性:在神光Ⅱ高功率激光裝置上，實(shí)驗(yàn)研究了激光斜輻照形成的激光等離子體輻射X射線光子的特性及真空噴射熱等離子體流的方向。采用
2009-10-29 14:11:3915 本文研究了高頻區(qū)等離子體包覆目標(biāo)的RCS 可視化計(jì)算,將等離子體包覆目標(biāo)的RCS計(jì)算分兩部分完成，首先分析電磁波在等離子體中傳播的折射衰減及碰撞衰減，將衰減后電磁波利
2009-12-30 17:10:4010 曼品牌離子源, 推出 RF2100ICP Plasma Source 射頻等離子體源及配套控制器, RF2100 等離子體放電, RFICP 在 2MHz, 電子
2023-05-11 14:57:22
行業(yè)簡介：微弧氧化(MAO)又稱微等離子體氧化(MPO)、陽極火花沉積(ASD)或火花放電陽極氧化(ANOF),還有人稱之為等離子體增強(qiáng)電化學(xué)表面陶瓷化(PECC)。該技術(shù)的基本原理及特點(diǎn)是：在普通
2023-07-11 14:27:42
人類生活對能源的需求核聚變及受控核聚變原理等離子體約束的基本問題等離子體約束的各種模式等離子體輸運(yùn)與能量約束定標(biāo)約束改善與邊緣局域模控制總結(jié)和
2010-05-30 08:26:5614 uPD16305在等離子體顯示器中的應(yīng)用
摘要：介紹了NEC公司生產(chǎn)的專用于等離子體顯示器的行驅(qū)動(dòng)芯片μPD16305的性能特點(diǎn)及其它PDP顯示系統(tǒng)中的應(yīng)用。它
2008-10-30 23:52:541224 
μPD16305在等離子體顯示器中的應(yīng)用
介紹了NEC公司生產(chǎn)的專用于等離子體顯示器的行驅(qū)動(dòng)芯片μPD16305的性能特點(diǎn)及其在PDP顯示系統(tǒng)中的應(yīng)用。它為PDP掃描電極的驅(qū)動(dòng)電路
2009-05-14 18:39:29940 
利用微波在介質(zhì)表面激發(fā)出截止密度以上的等離子體，然后微波在介質(zhì)與等離子體間形成表面波的傳輸，具有一定電場強(qiáng)度的表面波在其傳輸?shù)姆秶鷥?nèi)可生成和維持高密度的等離子
2010-07-29 11:00:011037 
離子注八材料表面陡性技術(shù)， 是材料科學(xué)發(fā)展的一個(gè)重要方面。文中概述7等離子體源離子注八技術(shù)的特點(diǎn) 基皋原理 應(yīng)用效果。取覆等離子體源離子注八技術(shù)的發(fā)展趨勢。例如， 除7在
2011-05-22 12:35:2948 中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（以下簡稱“中微”）于本周SEMICON West期間發(fā)布面向22納米及以下芯片生產(chǎn)的第二代300毫米甚高頻去耦合反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備 -- Primo AD-RIE。
2011-07-13 07:59:251098 中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司(以下簡稱“中微”)于 SEMICON China 展會(huì)期間宣布，中微第二代等離子體刻蝕設(shè)備 Primo AD-RIE? 正式裝配國內(nèi)技術(shù)最先進(jìn)的集成電路芯片代工企業(yè)中芯國際
2012-03-22 11:26:421066 等離子體模塊是用于模擬低溫等離子源或系統(tǒng)的專業(yè)工具。借助模塊中預(yù)置的物理場接口，工程師或科學(xué)家可以探究物理放電機(jī)理或用于評(píng)估現(xiàn)有或未來設(shè)計(jì)的性能，例如直流放電、感應(yīng)耦合等離子體、容性耦合等離子體、微波等離子體、表面氣相沉積等。
2015-12-31 10:30:1557 電感耦合等離子體質(zhì)樸分析的應(yīng)用
2017-02-07 16:15:389 放電等離子體有著非常廣泛的實(shí)際工程應(yīng)用價(jià)值，其內(nèi)部溫度特性是表征等離子體性質(zhì)的一個(gè)重要參數(shù)。為了探明大氣壓下放電等離子體的氣體溫度空間分布特性參數(shù)，搭建了一套基于莫爾偏折原理的光學(xué)測試系統(tǒng)，對銅電極
2018-01-02 16:37:196 Robinson和Karl Floersch開發(fā)。等離子體本身是區(qū)塊鏈的鏈結(jié)式解決方案，由Buterin和閃電網(wǎng)絡(luò)的創(chuàng)造者Joseph Poon于2017年8月推出。等離子體的工作是通過優(yōu)化傳遞到根區(qū)塊鏈的數(shù)據(jù)，減少智能合同和分散應(yīng)用程序(dapp)的交易費(fèi)用。
2018-03-13 07:31:00739 低溫等離子體廢氣處理技術(shù)正越來越引起人們的重視，它是未來環(huán)保產(chǎn)業(yè)的重要發(fā)展方向。由于強(qiáng)溫室氣體SF6本身的理化特性，等離子體處理SF6面臨著更多的挑戰(zhàn)，目前該方面的研究綜述鮮見。本文嘗試根據(jù)國內(nèi)外
2018-03-16 10:20:234 本文詳細(xì)介紹了八大存儲(chǔ)芯片廠商排名。存儲(chǔ)芯片是嵌入式系統(tǒng)芯片的概念在存儲(chǔ)行業(yè)的具體應(yīng)用，目前存儲(chǔ)芯片在我們的生活中也已經(jīng)得到普遍的運(yùn)用。
2018-04-08 11:52:00110236 在臺(tái)積電宣布明年將進(jìn)行5納米制程試產(chǎn)、預(yù)計(jì)2020年量產(chǎn)的同時(shí)，國產(chǎn)設(shè)備亦傳來好消息。日前上觀新聞報(bào)道，中微半導(dǎo)體自主研制的5納米等離子體刻蝕機(jī)經(jīng)臺(tái)積電驗(yàn)證，性能優(yōu)良，將用于全球首條5納米制程生產(chǎn)線。
2018-12-18 15:10:2910326 5納米，相當(dāng)于頭發(fā)絲直徑的二萬分之一，將成為集成電路芯片上的最小線寬。臺(tái)積電計(jì)劃明年進(jìn)行5納米制程試產(chǎn)，預(yù)計(jì)2020年量產(chǎn)。最近，中微半導(dǎo)體公司收到一個(gè)好消息：其自主研制的5納米等離子體刻蝕
2019-01-01 10:44:003862 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司自主研制的5納米等離子體刻蝕機(jī)經(jīng)臺(tái)積電驗(yàn)證，性能優(yōu)良，將用于全球首條5納米制程生產(chǎn)線。
2018-12-29 08:48:144742 今天為大家介紹一項(xiàng)國家發(fā)明授權(quán)專利——一種電感耦合等離子體質(zhì)譜真空閥門。該專利由江蘇天瑞儀器股份有限公司申請，并于2017年9月12日獲得授權(quán)公告。
2019-01-14 09:12:451230 
然而，自從我開始自己閱讀關(guān)于等離子體的在線資源以來，我身邊來自cryptoeconomics Lab的專業(yè)等離子體研究人員為我提供了一種非常接近的方式，讓完全的初學(xué)者可以從頭開始學(xué)習(xí)等離子體。他們給我提供了一大堆文章的參考資料，我們可以按照正確的順序閱讀。
2019-01-16 11:19:46673 近來有網(wǎng)絡(luò)媒體稱，“中微半導(dǎo)體自主研制的5納米等離子體刻蝕機(jī)，性能優(yōu)良，將用于全球首條5納米芯片制程生產(chǎn)線”，并評(píng)論說“中國芯片生產(chǎn)技術(shù)終于突破歐美封鎖，第一次占領(lǐng)世界制高點(diǎn)”“中國彎道超車”等等。
2019-02-16 11:00:157749 等離子體可以通過多種方式來產(chǎn)生，常見的方法主要包括：熱電離法/射線輻照法/光電離法/激波等離子法/激光等離子法/氣體放電法等。氣體放電是指氣體在電場的作用下被擊穿引起的導(dǎo)電現(xiàn)象，而低溫等離子體的產(chǎn)生方式主要是通過氣體放電來實(shí)現(xiàn)的。下面主要介紹通過氣體放電來產(chǎn)生低溫等離子體的各種方式
2019-04-22 08:00:0035 中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)有限公司(以下簡稱“中微”)在本周舉辦的SEMICON China期間正式發(fā)布了第一代電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備Primo nanova?，用于大批量生產(chǎn)存儲(chǔ)芯片和邏輯芯片的前道工序。
2020-04-22 17:20:244109 高頻振蕩器發(fā)生的高頻電流，經(jīng)過耦合系統(tǒng)連接在位于等離子體發(fā)生管上端，銅制內(nèi)部用水冷卻的管狀線圈上。
2020-05-25 10:34:015183 中微半導(dǎo)體公司是我國集成電路設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)先企業(yè)。公司聚焦用于集成電路、LED芯片等微觀器件領(lǐng)域的等離子體刻蝕設(shè)備、深硅刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備等關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。
2020-09-25 16:58:552487 憑借這些優(yōu)異的性能和其他特性，與其他同類設(shè)備相比，Primo Twin-Star 以更小的占地面積、更低的生產(chǎn)成本和更高的輸出效率，進(jìn)行ICP適用的邏輯和存儲(chǔ)芯片的介質(zhì)和導(dǎo)體的各種刻蝕應(yīng)用，并用于功率器件和CMOS圖像傳感器（CIS）的刻蝕應(yīng)用。
2021-03-23 11:22:574898 尹志堯表示，公司的等離子體刻蝕設(shè)備已應(yīng)用在國際一線客戶從65納米到14納米、7納米和5納米及其他先進(jìn)的集成電路加工制造生產(chǎn)線和先進(jìn)封裝生產(chǎn)線。
2021-04-09 14:28:432052 近日，微公司董事長、總經(jīng)理尹志堯透露，公司研發(fā)的等離子刻蝕設(shè)備已經(jīng)進(jìn)入客戶的5nm生產(chǎn)線。 尹志堯表示，公司的等離子體刻蝕設(shè)備已應(yīng)用在國際一線客戶從65納米到14納米、7納米和5納米及其他先進(jìn)
2021-04-11 11:27:422572 ICP：電感耦合等離子體?？捎谩癐CP”來代替“ICP-OES，和ICP-AES”。兩者都是指電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜，是一樣的。因?yàn)槎硇娮幽茏V的縮寫也是AES，所以后來ICP-AES通常都被叫做ICP-OES。
2021-09-23 09:16:003977 等離子體位移快控電源設(shè)計(jì)(現(xiàn)代電源技術(shù)基礎(chǔ)下載)-等離子體位移快控電源設(shè)計(jì)等離子體位移快控電源設(shè)計(jì)
2021-09-29 17:45:395 ICP（即電感耦合等離子體）是由高頻電流經(jīng)感應(yīng)線圈產(chǎn)生高頻電磁場，使工作氣體（Ar）電離形成火焰狀放電高溫等離子體，等離子體的最高溫度10000K。試樣溶液通過進(jìn)樣毛細(xì)管經(jīng)蠕動(dòng)泵作用進(jìn)入霧化器霧化
2022-11-14 10:54:004576 
建立電感耦合等離子體質(zhì)譜法測定生活飲用水中16種元素的方法。以Sc、Ge、In、Bi做內(nèi)標(biāo)，采用電感耦合等離子體質(zhì)譜法(ICP-MS)測定水中16元素，即鉀、鈉、鈣、鎂、鐵、錳、銅、鋅、鉻、鉛、鎘、鋇、鉬、鎳、鋁、砷。對檢出限線性范圍、精密度、加標(biāo)回收率有關(guān)的方法學(xué)進(jìn)行了研究。
2022-11-18 09:38:44489 
與濕式刻蝕比較，等離子體刻蝕較少使用化學(xué)試劑，因此也減少了化學(xué)藥品的成本和處理費(fèi)用。
2022-12-29 17:28:541462 鋁刻蝕可以使用多種不同的酸，其中最普遍的混合液是以磷酸(H3P04,80%)、醋酸(CH3COOH,5%)、硝酸(HN03,5%)和水(H20,10%)所組成的混合物。
2023-02-17 09:44:481057 氮化鎵作為一種寬帶隙半導(dǎo)體，已被用于制造發(fā)光二極管和激光二極管等光電器件。最近已經(jīng)開發(fā)了幾種用于氮化鎵基材料的
不同干蝕刻技術(shù)。電感耦合等離子體刻蝕因其優(yōu)越的等離子體均勻性和強(qiáng)可控性而備受關(guān)注
2023-02-22 15:45:410 從下圖中可以看出結(jié)合使用XeF2氣流和氯離子轟擊的刻蝕速率最高，明顯高于這兩種工藝單獨(dú)使用時(shí)的刻蝕速率總和。
2023-02-23 17:17:202706 近年來，等離子體技術(shù)的使用范圍正在不斷擴(kuò)大。在半導(dǎo)體制造、殺菌消毒、醫(yī)療前線等諸多領(lǐng)域，利用等離子體特性的應(yīng)用不斷壯大。CeraPlas? 是TDK 開發(fā)的等離子體發(fā)生器，與傳統(tǒng)產(chǎn)品相比，它可以在緊湊的封裝中產(chǎn)生低溫等離子體*1，并具有更低的功耗。它有望促進(jìn)各種設(shè)備的開發(fā)，使離子體技術(shù)更容易使用。
2023-02-27 17:54:38746 
等離子體最初用來刻蝕含碳物質(zhì)，例如用氧等離子體剝除光刻膠，這就是所謂的等離子體剝除或等離子體灰化。等離子體中因高速電子分解碰撞產(chǎn)生的氧原子自由基會(huì)很快與含碳物質(zhì)中的碳和氫反應(yīng)，形成易揮發(fā)的co,co2和h2o并且將含碳物質(zhì)有效地從表面移除。這個(gè)過程是在帶有刻蝕隧道的桶狀系統(tǒng)中進(jìn)行的（見下圖）。
2023-03-06 13:50:481074 氧等離子體和氫等離子體都可用于蝕刻石墨烯。兩種石墨烯氣體等離子刻蝕的基本原理是通過化學(xué)反應(yīng)沿石墨烯的晶面進(jìn)行刻蝕。不同的是，氧等離子體攻擊碳碳鍵后形成一氧化碳、二氧化碳等揮發(fā)性氣體，而氫等離子體則形成甲烷氣體并與之形成碳?xì)滏I。
2022-06-21 14:32:25391 
等離子體清洗技術(shù)自問世以來，隨著電子等行業(yè)的快速發(fā)展，其應(yīng)用范圍逐漸擴(kuò)大，用于活化蝕刻和等離子體清洗，以提高膠粘劑的粘接性能。
2022-07-04 16:09:18433 
等離子體工藝是干法清洗應(yīng)用中的重要部分，隨著微電子技術(shù)的發(fā)展，等離子體清洗的優(yōu)勢越來越明顯。文章介紹了等離子體清洗的特點(diǎn)和應(yīng)用，討論了它的清洗原理和優(yōu)化設(shè)計(jì)方法。最后分析了等離子體清洗工藝的關(guān)鍵技術(shù)及解決方法。
2023-10-18 17:42:36448 
? 一種使用等離子體激元的新型成像技術(shù)能夠以增強(qiáng)的靈敏度觀察納米顆粒。休斯頓大學(xué)納米生物光子學(xué)實(shí)驗(yàn)室的石偉川教授和他的同事正在研究納米材料和設(shè)備在生物醫(yī)學(xué)、能源和環(huán)境方面的應(yīng)用。該小組利用等離子體
2023-11-27 06:35:23121 眾所周知，化合物半導(dǎo)體中不同的原子比對材料的蝕刻特性有很大的影響。為了對蝕刻速率和表面形態(tài)的精確控制，通過使用低至25nm的薄器件阻擋層的，從而增加了制造的復(fù)雜性。本研究對比了三氯化硼與氯氣的偏置功率，以及氣體比對等離子體腐蝕高鋁含量AlGaN與AlN在蝕刻速率、選擇性和表面形貌方面的影響。
2023-12-15 14:28:30227 
01、重點(diǎn)和難點(diǎn) 等離子體通常被認(rèn)為是物質(zhì)的第四態(tài)，除了固體、液體和氣體之外的狀態(tài)。等離子體是一種高能量狀態(tài)的物質(zhì)，其中原子或分子中的電子被從它們的原子核中解離，并且在整個(gè)系統(tǒng)中自由移動(dòng)。這種狀態(tài)
2023-12-26 08:26:29209 
邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片是計(jì)算機(jī)系統(tǒng)中兩種不同類型的芯片，它們在功能和用途上有著明顯的區(qū)別。
2024-01-17 18:26:26485 存儲(chǔ)芯片是一種用于存儲(chǔ)數(shù)據(jù)的集成電路芯片，也被稱為存儲(chǔ)器芯片。
2024-02-29 09:09:22401 中微公司的電感耦合等離子體（ICP）刻蝕設(shè)備Primo nanova系列第500臺(tái)反應(yīng)腔順利付運(yùn)國內(nèi)一家先進(jìn)的半導(dǎo)體芯片制造商。
2024-03-21 15:12:43101 
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