熱式質(zhì)量流量計(jì)是根據(jù)介質(zhì)熱傳遞原理制成的，通常是對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行測(cè)量。根據(jù)不同的被測(cè)物理量可以分為下面幾種關(guān)系：

（1）根據(jù)流體流過加熱探頭帶走熱量和流體質(zhì)量流量之間的關(guān)系。

（2）根據(jù)流體加熱時(shí)溫度上升所需能量和流量之間的關(guān)系。

（3）根據(jù)流體流過加熱管產(chǎn)生的溫度場(chǎng)變化和流量之間的關(guān)系。

熱式氣體流量計(jì)有著高可靠性、高重復(fù)性、高精度、大范圍以及低壓損等優(yōu)點(diǎn)，根據(jù)上述三種關(guān)系分成兩種方法，一種是把發(fā)熱元件放置在流動(dòng)的流體中，其會(huì)隨著流速變化而發(fā)生溫度變化，以此對(duì)于流量可以通過檢測(cè)發(fā)熱元件冷卻程度來進(jìn)行測(cè)量。另外一種就是對(duì)流體加入熱量，熱能根據(jù)流體的流動(dòng)，對(duì)于流量可以通過相應(yīng)點(diǎn)熱量變化來進(jìn)行檢測(cè)。前者為熱導(dǎo)式、浸入型流量計(jì)，熱線風(fēng)速儀等都屬于這種測(cè)量方法。后者為熱量式、熱分布型流量計(jì)，邊界層流量計(jì)、托馬斯流量計(jì)都屬于這種測(cè)量方法。

對(duì)于流體的質(zhì)量通過加熱測(cè)量溫度變化這種流量計(jì)有著悠久的歷史，早期熱式流量計(jì)在流體中放置測(cè)溫元件與加熱線圈，直接接觸流體，這種接觸式流量計(jì)因?yàn)椴荒軐?duì)防爆，磨損以及腐蝕等問題進(jìn)行計(jì)算，使得在工業(yè)中限制比較大。而20世紀(jì)50年代，有學(xué)者提出不接觸流體的流量計(jì)，能夠?qū)佑|式流量計(jì)缺點(diǎn)進(jìn)行有效地避免，但是測(cè)量結(jié)果很容易會(huì)受到介質(zhì)的影響，一般在較大的液體流量中較為常用。到了70年代，測(cè)量流體溫度分布的熱分布型流量計(jì)得到了快速的發(fā)展，因其不和流體接觸的優(yōu)點(diǎn)，在微小流量中較為常用。隨著技術(shù)水平的不斷發(fā)展，重新對(duì)流量計(jì)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì)，以接觸式流量計(jì)為基礎(chǔ)提出浸入型熱式流量計(jì)，可以對(duì)管徑較大的氣體流量進(jìn)行測(cè)量。

總的來講，目前流量計(jì)能夠從原理上分為兩類，分別為熱分布型與浸入型。因?yàn)榻胄偷陌惭b方式、探頭結(jié)構(gòu)等得到了大力發(fā)展，應(yīng)用在測(cè)量氣體流量中也越來越廣泛。

審核編輯 黃宇