嘉興嘉善世博開(kāi)元名都酒店成功舉行嘉山復(fù)旦研究院開(kāi)園儀式。本次活動(dòng)由加山縣人民政府和復(fù)旦大學(xué)共同主辦，嘉善復(fù)旦研究院承辦。復(fù)旦大學(xué)黨委書(shū)記裘新，復(fù)旦大學(xué)校長(zhǎng)、中科院院士金力，復(fù)旦大學(xué)常務(wù)副校長(zhǎng)許征，浙江省科技廳二級(jí)巡視員曹華芬，嘉興市委書(shū)記陳偉，嘉興市副市長(zhǎng)倪滬平，嘉興市委常委、嘉善縣委書(shū)記江海洋，嘉善復(fù)旦研究院院長(zhǎng)張衛(wèi)等人參加的開(kāi)院儀式、活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)，近200人見(jiàn)證了佳善復(fù)旦研究院的正式開(kāi)院。在開(kāi)院儀式上，萬(wàn)基企業(yè)（600641）旗下的嘉芯半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱(chēng)“嘉芯半導(dǎo)體”）與資產(chǎn)復(fù)旦研究院達(dá)成了戰(zhàn)略合作。嘉善復(fù)旦研究院副院長(zhǎng)丁士進(jìn)先生、嘉芯半導(dǎo)體設(shè)備科技有限公司董事長(zhǎng)兼CEO周偉芳女士等領(lǐng)導(dǎo)參加戰(zhàn)略簽約儀式。

根據(jù)戰(zhàn)略合作協(xié)議的內(nèi)容，雙方將在公平自愿，平等互利共贏的開(kāi)放優(yōu)勢(shì)互補(bǔ)”的原則，建立戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系，共同集成電路領(lǐng)域的科學(xué)研究、產(chǎn)業(yè)合作、人才交流等方面長(zhǎng)期穩(wěn)定的合作關(guān)系，充分發(fā)揮各自的資源優(yōu)勢(shì)，共同發(fā)展戰(zhàn)略目標(biāo)的實(shí)現(xiàn)。合作，圍繞重點(diǎn)科技合作、產(chǎn)業(yè)合作、人員交流三個(gè)方面的技術(shù)突破，創(chuàng)新平臺(tái)項(xiàng)目申報(bào)，科技成果轉(zhuǎn)化推廣、研發(fā)及服務(wù)資源開(kāi)放共享、產(chǎn)-學(xué)-研深度融合等領(lǐng)域的全方位互利合作促進(jìn)儲(chǔ)存及資產(chǎn)集成電路發(fā)展高品質(zhì)“里”。

從整體實(shí)力看，戰(zhàn)略合作雙方在各自領(lǐng)域積累了長(zhǎng)期經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)，具有廣泛優(yōu)勢(shì)集成和合作互補(bǔ)的基礎(chǔ)。作為本半導(dǎo)體芯片半導(dǎo)體核心裝備的新銳本土企業(yè)之一，2021年4月，半導(dǎo)體裝備上市公司與企業(yè)攜手，世界著名產(chǎn)業(yè)專(zhuān)家共同投資成立，總投資規(guī)模20億元，用地109無(wú)公司開(kāi)發(fā)制造刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理等集成電路成熟工藝的關(guān)鍵設(shè)備，產(chǎn)品范圍包括芯片制造核心設(shè)備的多個(gè)重要品種。從2022年下半年開(kāi)始，嘉芯半導(dǎo)體多次中標(biāo)客戶(hù)特色工程生產(chǎn)線，包括氮化硅等離子刻蝕機(jī)、金屬等離子刻蝕機(jī)、深槽刻蝕機(jī)、側(cè)墻等離子刻蝕機(jī)；高密度等離子薄膜沉積設(shè)備（HDP-CVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備（SACVD）、鈦/氮化鈦沉積設(shè)備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設(shè)備（Metal Sputter（Al/Ti/TiN））；快速熱處理（RTP）設(shè)備以及雙燃燒+雙水洗尾氣處理等各種設(shè)備。

嘉善復(fù)旦研究院是為響應(yīng)和實(shí)行《長(zhǎng)三角一體化發(fā)展規(guī)劃綱要》國(guó)家戰(zhàn)略而建設(shè)的重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。依托復(fù)旦大學(xué)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈學(xué)科優(yōu)勢(shì)，研究院致力于高能創(chuàng)新載體建設(shè)，科研攻關(guān)和成果轉(zhuǎn)化，地區(qū)產(chǎn)業(yè)升級(jí)，協(xié)同創(chuàng)新生態(tài)構(gòu)建，數(shù)字化改革等。作為第一屆國(guó)家集成電路創(chuàng)新中心浙江分中心重點(diǎn)建設(shè)，研究院承擔(dān)起復(fù)旦大學(xué)人才資源，創(chuàng)新資源，產(chǎn)業(yè)資源與浙江地區(qū)特色經(jīng)濟(jì)相銜接的“橋頭堡”，推進(jìn)長(zhǎng)江三角洲一體化協(xié)同創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)。

在戰(zhàn)略合作象征著雙方深化合作、協(xié)同發(fā)展的路上新的里程碑作用充分發(fā)揮產(chǎn)業(yè)+學(xué)術(shù)研究輪子驅(qū)動(dòng)功能，提高技術(shù)創(chuàng)新能力，實(shí)現(xiàn)雙向優(yōu)勢(shì)賦予可以加快科研成果轉(zhuǎn)化，同時(shí)在線技術(shù)開(kāi)發(fā)、人才培養(yǎng)、學(xué)校開(kāi)拓市場(chǎng)等方面產(chǎn)生的強(qiáng)大協(xié)同效應(yīng)為我國(guó)集成電路行業(yè)的發(fā)展注入了芯片的活力。

展望未來(lái)，芯片半導(dǎo)體集成電路領(lǐng)域的發(fā)展方向，繼續(xù)聚焦在嘉善復(fù)旦研究院和持續(xù)有深度的合作，開(kāi)拓關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)鏈條、關(guān)鍵技術(shù)、關(guān)鍵產(chǎn)品的能量水平持續(xù)提高，中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展不斷貢獻(xiàn)智慧和力量，為實(shí)現(xiàn)的。