1 月 4 日消息,三星電子正在開發(fā)其“智能傳感系統(tǒng)”,旨在提高產(chǎn)量并改變半導(dǎo)體工廠的運(yùn)營方式。該系統(tǒng)主要用于實(shí)時(shí)監(jiān)控和分析生產(chǎn)過程。據(jù) ET News 報(bào)道,三星最終計(jì)劃到 2030 年,使其芯片工廠實(shí)現(xiàn)完全自動(dòng)化,無需人工操作。
三星的最終目標(biāo)是到 2030 年擁有完全無人值守的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施。實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)需要開發(fā)能夠管理大量數(shù)據(jù)并自動(dòng)優(yōu)化設(shè)備性能的系統(tǒng)。智能傳感系統(tǒng)是該計(jì)劃的重要組成部分,預(yù)計(jì)將在使這些智能、全自動(dòng)晶圓廠成為現(xiàn)實(shí)方面發(fā)揮至關(guān)重要的作用。三星目前正在向智能傳感器等項(xiàng)目投資數(shù)千萬韓元。
三星目前正在開發(fā)的智能傳感器旨在測量晶圓上等離子體的均勻性,報(bào)道稱這一點(diǎn)至關(guān)重要,因?yàn)?a href="http://www.www27dydycom.cn/v/tag/8112/" target="_blank">半導(dǎo)體制造中的蝕刻、沉積和清潔等工藝的結(jié)果,很大程度上受到等離子體均勻性的影響。
注意到,報(bào)道還提到這些傳感器是在韓國設(shè)計(jì)和制造的。三星等韓國芯片制造商目前嚴(yán)重依賴外國工具來實(shí)現(xiàn)此類先進(jìn)工藝,智能傳感器的本地制造標(biāo)志著一個(gè)重大變化,三星正在擺脫外國依賴。
審核編輯 黃宇
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