本文介紹了什么是原子層沉積（ALD, Atomic Layer Deposition）。

1.原理：基于分子層級的逐層沉積

ALD 是一種精確的薄膜沉積技術，其核心原理是利用化學反應的“自限性”，以原子或分子層為單位逐層生長薄膜。

具體過程包括：

前體吸附：將化學前體（Precursor）引入反應室，前體分子在襯底表面發(fā)生吸附，形成單分子層。

吹掃：用惰性氣體（如氮氣或氬氣）將未吸附的前體和副產(chǎn)物清除，確保僅?；瘜W吸附的分子。

反應：引入第二種前體，與已吸附分子發(fā)生化學反應，生成所需的薄膜層，同時釋放出氣相副產(chǎn)物。

循環(huán)重復：每次循環(huán)僅沉積一個原子層，通過重復循環(huán)，逐漸形成所需厚度的均勻薄膜。

這種“自限性反應”確保每個循環(huán)的沉積厚度恒定，無論基材表面是平坦還是復雜的三維結(jié)構(gòu)。

2. 優(yōu)勢分析

2.1 無針孔薄膜

特點：ALD 沉積薄膜致密，無微小孔洞，確保膜層具備優(yōu)異的密封性和隔離性。

原因：由于每個周期只沉積一個原子層，沉積過程可以填補薄膜中的微小缺陷，保證膜層完整性。

應用：這種無缺陷薄膜廣泛應用于高性能電子器件（如柵氧化層）、防腐涂層和氣體屏障等場景。

2.2 階梯覆蓋能力

特點：ALD 在高深寬比結(jié)構(gòu)中實現(xiàn) 100% 階梯覆蓋，無論是復雜凹槽、孔隙還是微納結(jié)構(gòu)。

原因：由于 ALD 依賴于化學吸附，每個層面都能均勻吸附前體，并逐層沉積，無厚薄不均現(xiàn)象。

應用：適用于半導體器件、納米線、光學傳感器等復雜三維結(jié)構(gòu)的涂覆。

2.3 低溫沉積

特點：適合溫度敏感的基材，常見溫度范圍為 50-350°C。

原因：ALD 的前體吸附和化學反應是熱驅(qū)動過程，但在適當溫度內(nèi)不需要高溫，因此可避免高溫對材料的破壞。

應用：對熱敏基材（如柔性電子、聚合物基材）的涂覆。

3. ALD 與傳統(tǒng)沉積技術的對比

薄膜均勻性：傳統(tǒng)方法如 PECVD（等離子體增強化學氣相沉積）或 PVD（物理氣相沉積）在高深寬比結(jié)構(gòu)中沉積不均勻，ALD 能在微納米尺度結(jié)構(gòu)中實現(xiàn)均勻沉積。

刻蝕精度：ALD 的對標工藝 ALE（原子層刻蝕）同樣依賴自限性反應，具備更高的刻蝕均勻性和精度。

成本與效率：雖然 ALD 的循環(huán)沉積速度較慢，但其薄膜質(zhì)量和均勻性使其成為高精度領域的首選。

4. 材料與應用

ALD 可沉積多種無機和有機材料：

金屬氧化物：如 TiO?（高折射率薄膜）、ZrO?（電介質(zhì)層）。 氮化物：如 TiN（導電屏蔽層）。 碳化物：用于高溫穩(wěn)定性涂層。

無機材料：

有機涂層：如聚酰胺（納米級防腐薄膜）。

典型應用領域

半導體制造：制備柵極氧化層、導電屏蔽層、鈍化層。

光學與光子學：制備抗反射涂層、高折射率鏡片。

MEMS：增強微機電器件表面性能。

綠色能源：用于太陽能電池的鈍化和催化劑涂層。

5. ALD 的未來趨勢

與 ALE 的聯(lián)動：結(jié)合原子層沉積和刻蝕技術，推動極高深寬比結(jié)構(gòu)制造。

前體開發(fā)：開發(fā)更高反應活性、環(huán)保型前體，擴展可沉積材料種類。

大面積制造：研究提高 ALD 沉積速率的方案（如 Spatial ALD），實現(xiàn)高效量產(chǎn)。

通過逐層沉積和精確控制，ALD技術已成為微納米制造的基石之一，在半導體、光學、能源等多個領域發(fā)揮著不可替代的作用。 END 轉(zhuǎn)載內(nèi)容僅代表作者觀點 不代表中國科學院半導體所立場