除了邁克爾遜干涉和Linnik型干涉外，常見的干涉設(shè)計(jì)還有多種，以下是一些主要的類型：

馬赫-增德爾（Mach-Zehnder）干涉：

原理：通過分束器將一束光分成兩束，這兩束光分別在不同的路徑中傳播，然后再通過另一個(gè)分束器重新組合。由于兩束光在傳播過程中可能經(jīng)歷不同的光程，因此會產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。

應(yīng)用：馬赫-增德爾干涉儀常用于透射樣本的測量，如生物樣本、全息術(shù)等。

法布里-珀羅（Fabry-Perot）干涉：

原理：當(dāng)一束光在兩個(gè)平行且部分透射的反射面之間多次反射和透射時(shí)，會形成多束相干光波的疊加，從而產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。

應(yīng)用：法布里-珀羅干涉儀常用于測量光波長、光學(xué)元件的厚度和折射率等。

薩格納克（Sagnac）干涉：

原理：當(dāng)一束光在環(huán)形路徑上反射后，會形成兩個(gè)相反方向的干涉。干涉光強(qiáng)取決于光波的波長和環(huán)形路徑的長度。

應(yīng)用：薩格納克干涉儀常用于測量旋轉(zhuǎn)速率，是光纖陀螺儀的核心部件，廣泛應(yīng)用于民用、軍用飛機(jī)以及導(dǎo)彈導(dǎo)航等領(lǐng)域。

Mirau干涉：

特點(diǎn)：Mirau干涉儀通常具有一個(gè)物鏡和一個(gè)參考鏡，它們共同構(gòu)成一個(gè)干涉系統(tǒng)。物鏡用于聚焦被測物體表面的反射光，而參考鏡則提供一個(gè)穩(wěn)定的參考光波。

應(yīng)用：Mirau干涉儀常用于表面形貌的測量，如光學(xué)元件的表面質(zhì)量、薄膜的厚度和均勻性等。

外差干涉：

原理：外差干涉是一種利用多普勒移頻效應(yīng)使光的頻率發(fā)生輕微改變，再與原來頻率的光相干，從而得到的差頻干涉光拍信號的技術(shù)。

應(yīng)用：外差干涉技術(shù)具有測量精度高、抗干擾能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，常用于震動(dòng)測量、面型測量等高精度測量領(lǐng)域。

白光干涉：

原理：白光干涉是利用白光作為光源進(jìn)行干涉測量的技術(shù)。由于白光包含多種波長的光波，因此干涉條紋會呈現(xiàn)出彩色。通過分析干涉條紋的顏色和形狀，可以獲取被測物體的表面形貌和位移信息。

應(yīng)用：白光干涉技術(shù)具有非接觸式測量、測量范圍廣、測量精度高等優(yōu)點(diǎn)，常用于光學(xué)元件的檢測、表面粗糙度的測量以及三維形貌的重建等領(lǐng)域。

綜上所述，干涉技術(shù)具有廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域和重要的研究價(jià)值。不同類型的干涉設(shè)計(jì)具有不同的原理和特點(diǎn)，適用于不同的測量需求和場景。

TopMap Micro View白光干涉3D輪廓儀

一款可以“實(shí)時(shí)”動(dòng)態(tài)/靜態(tài) 微納級3D輪廓測量的白光干涉儀

1)一改傳統(tǒng)白光干涉操作復(fù)雜的問題，實(shí)現(xiàn)一鍵智能聚焦掃描，亞納米精度下實(shí)現(xiàn)卓越的重復(fù)性表現(xiàn)。

2)系統(tǒng)集成CST連續(xù)掃描技術(shù)，Z向測量范圍高達(dá)100mm，不受物鏡放大倍率的影響的高精度垂直分辨率，為復(fù)雜形貌測量提供全面解決方案。

3）可搭載多普勒激光測振系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)實(shí)現(xiàn)“動(dòng)態(tài)”3D輪廓測量。

實(shí)際案例

1，優(yōu)于1nm分辨率，輕松測量硅片表面粗糙度測量，Ra=0.7nm

2，毫米級視野，實(shí)現(xiàn)5nm-有機(jī)油膜厚度掃描

3，卓越的“高深寬比”測量能力，實(shí)現(xiàn)光刻圖形凹槽深度和開口寬度測量。