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扇出型晶圓級封裝工藝流程

環(huán)儀精密設備制造上海 ? 來源:未知 ? 作者:李倩 ? 2018-05-11 16:52 ? 次閱讀

由于輕薄短小已經成為電子消費品的發(fā)展方向,既能省掉材料及工序,又能縮少元器件尺寸的晶圓級封裝工藝,已經越來越普遍了。

晶圓級封裝可分為扇入型及扇出型,如果封裝后的芯片尺寸和產品尺寸在二維平面上是一樣大,芯片有足夠的面積把所有的 I/O 接口都放進去,就會采用扇入型。

如果芯片的尺寸不足以放下所有 I/O 接口時,就需要扇出型,當然一般的扇出型在面積擴展的同時也加了有源和/或無源器件以形成 SIP。

扇出型晶圓級封裝工藝流程:

晶圓的制備及切割– 將晶圓放入劃片膠帶中,切割成各個單元準備金屬載板– 清潔載板及清除一切污染物

層壓粘合– 通過壓力來激化粘合膜

重組晶圓– 將芯片從晶圓拾取及放置在金屬載板上

制模– 以制模復合物密封載板

移走載板– 從載板上移走已成型的重建芯片

排列及重新布線– 在再分布層上(RDL),提供金屬化工藝制造 I/O 接口

晶圓凸塊– 在I/O外連接口形成凸塊

切割成各個單元– 將已成型的塑封體切割

扇出型封裝“核心”市場,包括電源管理射頻收發(fā)器等單芯片應用,一直保持穩(wěn)定的增長趨勢。扇出型封裝“高密度”市場,包括處理器、存儲器等輸入輸出數(shù)據(jù)量更大的應用,市場潛力巨大。

環(huán)球儀器的FuzionSC貼片機,配合Innova直接晶圓送料器

具備以下優(yōu)勢:

高精度(±10微米)、最高速度、最大面積組裝

支持最大達610毫米 x813毫米的基板

支持由AOI精度返饋進行貼裝位置補償

軟件支持大量芯片的組裝

精準的物料處理及熱度階段選項

可采用SECS-GEM系統(tǒng)追蹤晶片

FuzionSC貼片機兩大系列

Innova優(yōu)點:

可直接導入倒裝芯片及晶圓級裸晶片來進行拾取及貼裝

可在同一平臺上進行倒裝芯片、裸晶片及表面貼裝工序

具備單一晶圓送料(Innova),或13個晶圓送料(Innova +)

無需上游晶圓分選

系統(tǒng)封裝應用的最佳方案

支持最大達300毫米的晶圓

支持墨水和無墨水晶圓片陣列測繪

支持最大達610毫米x813毫米的基板

晶圓擴張深度:可編程(Innova +),由夾圈固定(Innova)

可直接導入倒裝或不倒裝芯片

具備晶片追蹤功能

新品導入或量產的最佳方案

Innova直接晶圓送料器參數(shù)

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原文標題:原來FuzionSC貼片機是這樣實現(xiàn)扇出型晶圓級封裝的。

文章出處:【微信號:UIC_Asia,微信公眾號:環(huán)儀精密設備制造上?!繗g迎添加關注!文章轉載請注明出處。

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