動(dòng)態(tài)

• 發(fā)布了方案 2023-06-02 15:53

  氦質(zhì)譜檢漏儀 EUV ***檢漏

  

  上海伯東客戶日本某生產(chǎn)半導(dǎo)體用光刻機(jī)公司, 光刻機(jī)真空度需要達(dá)到 1x10-11 pa 的超高真空, 因?yàn)樵O(shè)備整體較大, 需要對(duì)構(gòu)成光刻機(jī)的真空相關(guān)部件進(jìn)行檢漏且要求清潔無油, 滿足無塵室使用要求, 為了方便進(jìn)行快速檢漏, 采購(gòu)伯東 Pfeiffer 便攜式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310.

  EUV EUV光刻機(jī)

  720瀏覽量

• 發(fā)布了方案 2023-06-02 15:49

  氦質(zhì)譜檢漏儀電子束***檢漏

  

  上海伯東客戶某光刻機(jī)生產(chǎn)商, 生產(chǎn)的電子束光刻機(jī) Electron Beam Lithography System 最大能容納 300mmφ 的晶圓片和 6英寸的掩模版, 適合納米壓印, 光子器件, 通信設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域的研發(fā)及生產(chǎn). 經(jīng)過伯東推薦采購(gòu)氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 310 用于電子束光刻機(jī)腔體檢漏.

  光刻機(jī) 檢漏

  778瀏覽量

• 發(fā)布了方案 2023-06-02 15:37

  高真空排氣臺(tái)密封性泄露檢測(cè)

  

  上海伯東某客戶生產(chǎn)研發(fā)多工位高真空和超高真空排氣臺(tái), 實(shí)現(xiàn)多工位同時(shí)抽真空的效果, 真空度需要穩(wěn)定在 -7 mbar, - 8 mbar, 包含真空系統(tǒng)在內(nèi)的多個(gè)組件, 均需要進(jìn)行密封性泄露測(cè)試, 以保證高真空性能. 經(jīng)過上海伯東推薦真空系統(tǒng)核心組件分子泵選用德國(guó) Pfeiffer HiPace 系列, 并使用無油干式氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340D 對(duì)整個(gè)排氣臺(tái)進(jìn)行密封性檢漏.

  檢測(cè)

  597瀏覽量

• 發(fā)布了方案 2023-06-02 15:13

  氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340W 真空鍍膜配氣面板檢漏

  

  上海伯東某客戶生產(chǎn)超高純度特種氣體不銹鋼減壓閥門, 接頭, 管件, 這些配件主要用于集成在真空鍍膜配氣面板, 實(shí)現(xiàn)工藝氣體的傳輸. 為了防止氣體外泄, 除了閥門, 接頭, 管件需要單獨(dú)檢漏外, 整個(gè)配氣面板也需要測(cè)試整體漏率, 使用上海伯東德國(guó) Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340, 真空模式下, 漏率設(shè)置為 5.5x10-10 Pa m3/s. 組裝后的真空鍍膜配氣面板廣泛應(yīng)用于 CV

  檢漏 檢漏儀

  792瀏覽量

• 發(fā)布了方案 2023-06-02 15:06

  氦質(zhì)譜檢漏儀高溫真空燒結(jié)爐氣密性泄露檢測(cè)

  

  某客戶生產(chǎn)汽車過濾網(wǎng), 因高溫真空燒結(jié)爐氣密性不佳, 導(dǎo)致生產(chǎn)出的過濾網(wǎng)材料出現(xiàn)氧化質(zhì)量問題, 經(jīng)過上海伯東推薦, 選用氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340W 對(duì)真空燒結(jié)爐進(jìn)行檢漏, 真空模式下, 漏率 5X10-10 mar l/s. 經(jīng)過檢漏后的真空爐, 生產(chǎn)出的過濾網(wǎng)材料無氧化, 達(dá)到客戶工藝要求.

  檢測(cè) 汽車

  800瀏覽量

• 發(fā)布了方案 2023-06-02 14:06

  應(yīng)用于氫氣工業(yè)氣體領(lǐng)域的高壓電磁閥檢漏案例

  

  對(duì)用于天然氣加油站或者氫氣等工業(yè)氣體管道傳輸中用到的高壓電磁閥產(chǎn)品進(jìn)行漏率檢測(cè)是一件非常具有挑戰(zhàn)性的任務(wù). 為了確保氫氣沒有溢出閥門, 其漏率一般需要不大于 1X10-6 mbar l/ s. 經(jīng)過對(duì)比測(cè)試: 這個(gè)漏率范圍比我們能從水中看到冒泡逃出的空氣的漏率 (在水中肉眼能見空氣泡沫的最大值約等于10 -3 mbar l/sec) 還要低很多.

  工業(yè) 電磁閥

  721瀏覽量

• 發(fā)布了方案 2023-06-02 13:30

  汽車零部件漏率標(biāo)準(zhǔn)和氦質(zhì)譜檢漏方法

  

  為了滿足環(huán)保要求, 安全性能和功能, 汽車的眾多零部件均需要進(jìn)行密封性泄漏測(cè)試, 上海伯東依據(jù)專業(yè)知識(shí)和技術(shù)支持, 提供從汽車零部件設(shè)計(jì)階段到最終實(shí)施檢漏解決方案的全程服務(wù), 針對(duì)不同零件和工況, 提供合適的泄露檢測(cè)設(shè)備, 滿足汽車零件生產(chǎn)和研發(fā)要求.

  汽車 測(cè)試

  2.2k瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2023-06-02 13:23

  Pfeiffer 渦輪分子泵創(chuàng)新專利 Laser Balancing™ 技術(shù)

  

  上海伯東德國(guó) Pfeiffer 的復(fù)合軸承轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡一直是其一項(xiàng)核心競(jìng)爭(zhēng)力, 憑借這種技術(shù), 我們可以提供振動(dòng)水平非常低的高尖端的渦輪分子泵. 現(xiàn)如今, 德國(guó) Pfeiffer 在真空技術(shù)領(lǐng)域又有了一項(xiàng)創(chuàng)新的技術(shù). 公司開發(fā)出了全新的 Laser Balancing 技術(shù)并獲得了專利.

  測(cè)試 激光

  776瀏覽量

• 發(fā)布了文章 2023-06-02 13:17

  X 射線應(yīng)用中的真空系統(tǒng)

  

  由于各種 X 射線應(yīng)用中都需要低真空壓力, 因此對(duì)組成真空系統(tǒng)的分子泵, 前級(jí)泵均需要滿足低振動(dòng), 低能耗和高可靠性的要求.上海伯東德國(guó) Pfeiffer 提供渦輪分子泵和各種干式前級(jí)泵, 如隔膜泵, 多級(jí)羅茨泵或渦旋泵,

  系統(tǒng) 自動(dòng)化

  1k瀏覽量

• 發(fā)布了產(chǎn)品 2023-05-26 15:04

  銷售維修電容真空計(jì) PCR 280

  

  產(chǎn)品型號(hào)：PCR 280 品牌：德國(guó) Pfeiffer

  142瀏覽量