在以前，對(duì)于人們來(lái)說(shuō)，分析儀器、醫(yī)療儀器等專(zhuān)業(yè)設(shè)備都是大型昂貴的，而且必須安置在固定專(zhuān)業(yè)的地方來(lái)進(jìn)行工作。但隨著分析測(cè)試、醫(yī)療診斷層出不窮的的新應(yīng)用需求，設(shè)備的“微型化”已經(jīng)成為了業(yè)內(nèi)最前沿的“時(shí)尚話(huà)題”。

　　光電元器件作為眾多分析儀器、醫(yī)療儀器的核心器件，推進(jìn)它的“微型化”在很大程度等同于推進(jìn)整個(gè)儀器設(shè)備朝著小型化，甚至是便攜化，以及低成本化的發(fā)展。濱松公憑借自己超前的研發(fā)理念和雄厚的研發(fā)實(shí)力，在保證，甚至是優(yōu)化產(chǎn)品性能的同時(shí)，不斷推進(jìn)著光電元器件產(chǎn)品的微型化，并獲得了廣泛的關(guān)注和認(rèn)可。

　　接下來(lái)，就讓我們?cè)俅巫哌M(jìn)會(huì)議中介紹到的濱松最新9大微型“星”品，更貼近地感受屬于端科技的“時(shí)尚風(fēng)潮”。

　　一、贏得2015“Prism Award”的世界最小光譜儀：C12666MA

　　2013年濱松公司推出了的世界最小尺寸的微型光譜儀C12666MA，該光譜儀只有指尖那么大（20.1 × 12.5 × 10.1 mm）。CMOS傳感器和可穿透的狹縫融為一體，與通過(guò)納米壓印而成的反射型凹面光柵一起被配置在了只有指尖大小的微型光譜儀中。這是濱松通過(guò)不斷的技術(shù)研磨，最后結(jié)合MEMS和自身特有的圖像傳感器技術(shù)鍛制而成的高科技結(jié)晶。

　　濱松微型光譜儀C12666MA

　　這個(gè)具有超小體積、低成本特點(diǎn)的C12666MA微型光譜儀，其測(cè)量范圍覆蓋可見(jiàn)光波段（340nm~780nm），可用于打印機(jī)中和LED照明的顏色傳感、連接智能手機(jī)進(jìn)行床邊及時(shí)檢測(cè)，以及其他多種輕便測(cè)量類(lèi)應(yīng)用。

　　濱松微型光譜儀C12666MA應(yīng)用示例

　　濱松微型光譜儀C12666MA一經(jīng)推出，其在世界范圍內(nèi)都得到了極高的認(rèn)可。并通過(guò)世界級(jí)的層層專(zhuān)業(yè)評(píng)估選拔，獲得了2015年年度“Prism Award”（光學(xué)棱鏡獎(jiǎng)，有“光學(xué)奧斯卡”之稱(chēng)）。

　　C12666MA與所獲的“Prism Award”獎(jiǎng)杯

　　二、具有更廣光譜響應(yīng)范圍和更高靈敏度的下一代產(chǎn)品：C12880MA

　　目前，濱松公司已經(jīng)宣布，將于2015年推出微型光譜儀C12666MA的下一代產(chǎn)品C12880MA，新產(chǎn)品擁有和上一代一樣的小巧身姿和外形，其內(nèi)部使用了新研發(fā)的APS CMOS圖像傳感器，靈敏度比我們普通的光譜儀產(chǎn)品要高出兩個(gè)量級(jí)，并可以滿(mǎn)足各種需要在暗環(huán)境下進(jìn)行光譜測(cè)量的應(yīng)用。

　　另外，濱松C12880MA也有著更高的像素和更廣的光譜響應(yīng)范圍，在和上一代一樣具有對(duì)可見(jiàn)光波段的測(cè)量能力的基礎(chǔ)上，進(jìn)而拓展到可對(duì)部分近紅外波段的光進(jìn)行測(cè)量（340nm~850nm）。產(chǎn)品將于近期正式推出，敬請(qǐng)關(guān)注。

　　濱松即將推出的2015最新微型光譜儀產(chǎn)品C12880MA

　　三、可滿(mǎn)足近紅外波段測(cè)量的濱松微型光譜儀

　　濱松C11708MA微型光譜儀

　　C11708MA是濱松微型光譜儀MS系列中的一款產(chǎn)品，它的體積稍大于之前介紹的兩款產(chǎn)品，但尺寸也只有一元硬幣那么大（27.6 x 16.8 x 13mm，9g），然而，它的光譜響應(yīng)范圍為640nm~1050nm，可滿(mǎn)足近紅外波段的測(cè)量需求。而在如今在食品分析、成分測(cè)試等應(yīng)用中，較多涉及近紅外光譜波段的測(cè)量，濱松該款光譜儀則能大顯身手。另外，濱松亦可提供各款MS系列光譜儀的全套測(cè)試板及軟件，供客戶(hù)進(jìn)行前期的產(chǎn)品測(cè)試。

　　濱松MS系列微型光譜儀測(cè)試版C11351鏈接示例

　　四、“掌上”MEMS-FTIR微型光譜儀

　　FTIR光譜儀具著有無(wú)需利用光柵分光以及圖像傳感器探測(cè)的優(yōu)點(diǎn)，是一種高度精準(zhǔn)的光學(xué)分光儀，但設(shè)備龐大和昂貴的價(jià)格往往令人頭疼，也很大程度上限制了設(shè)備的應(yīng)用。

　　濱松通過(guò)利用自身專(zhuān)有的MEMS技術(shù)在硅晶片上來(lái)制造光學(xué)元件，最終在只有指尖那么大MEMS-FTIR驅(qū)動(dòng)元件上，實(shí)現(xiàn)了昂貴的邁克遜干涉儀的功能，在這個(gè)超小型MEMS-FTIR核心驅(qū)動(dòng)原件基礎(chǔ)之上，濱松進(jìn)一步研制出了“掌上”MEMS-FTIR微型光譜儀C12606。

　　“掌上”MEMS-FTIR光譜儀C12606與濱松MEMS-FTIR驅(qū)動(dòng)元件

　　濱松MEMS-FTIR微型光譜儀C12606把一個(gè)邁克遜干涉儀以及一個(gè)控制移動(dòng)鏡面的觸動(dòng)器高度緊密地集成在了一個(gè)硅晶片級(jí)別的封裝中，一條接受入射光的光纖直接通過(guò)被動(dòng)對(duì)準(zhǔn)連接到MEMS芯片上，這樣大幅的降低了組裝成本。而通過(guò)DRIE（深反應(yīng)離子刻蝕），MEMS-FTIR驅(qū)動(dòng)元件的每個(gè)光學(xué)組件的相對(duì)位置十分精確，公差不大于1μm，組裝后無(wú)需進(jìn)行任何的光學(xué)調(diào)整。

　　所有原件都被精細(xì)地封裝在一個(gè)手掌大小、低成本的FTIR光譜儀模塊之中，使用時(shí)只用通過(guò)USB連接到電腦，在現(xiàn)場(chǎng)就能夠進(jìn)行光譜測(cè)量以及吸光度測(cè)量，同時(shí)也可安裝在相關(guān)的探測(cè)儀器之內(nèi)進(jìn)行工作。目前濱松已經(jīng)在進(jìn)行下一代更小尺寸的MEMS-FTIR產(chǎn)品的研制，將以更小的體積實(shí)現(xiàn)更高的性能。

　　濱松下一代MEMS-FITR產(chǎn)品

　　濱松MEMS-FTIR光譜儀能夠廣泛的應(yīng)用于環(huán)境分析、食品分析、醫(yī)療等領(lǐng)域，其開(kāi)創(chuàng)性的技術(shù)，能夠?yàn)镕TIR光譜儀開(kāi)拓新的更廣的應(yīng)用空間。

　　濱松MEMS-FTIR光譜儀應(yīng)用示例

　　五、基于MEMS技術(shù)的濱松法布里-珀羅干涉光譜傳感器

　　濱松MEMS-FPI，即法布里-珀羅干涉光譜傳感器C13272是款超緊湊傳感器產(chǎn)品，也是濱松MEMS技術(shù)的又一耀眼成果。它集成了一個(gè)單元素銦鎵砷PIN光電二極管和一個(gè)MEMS法布里-珀羅干涉可調(diào)濾波器，而其身形也只有一個(gè)筆頭那么大。

　　濱松MEMS法布里-珀羅干涉光譜傳感器C13272

　　C13272擁有較大的MEMS-FPI孔徑，因此有著較高的光接收率。其光譜波長(zhǎng)范圍在1550nm~1850nm，可用廣泛于環(huán)境測(cè)量、食品管理等領(lǐng)域的便攜式光譜分析儀器中。該產(chǎn)品預(yù)計(jì)在今年夏天完成樣品生產(chǎn)，敬請(qǐng)期待。

　　濱松法布里-珀羅干涉光譜傳感器C13272的應(yīng)用連接示例